一种制备硅单晶用石墨加热器制造技术

本实用新型专利技术涉及石墨加热器的技术领域，特别是涉及一种制备硅单晶用石墨加热器，其能够使加热装置拆装更加方便，便于进行检修维护，使加热材料制作成本减少，降低使用局限性；包括加热箱、电控器、石墨加热筒、两组固定螺栓和密封盖，加热箱的内部设置有腔室，加热箱的顶端设置有取放口，取放口与腔室相通，电控器固定安装在加热箱的前端，腔室的底端固定设置有底座，底座的顶端左右对称的设置有两组插槽和两组螺纹孔，石墨加热筒通过两组插块与插槽的配合固定插接在底座上，石墨加热筒的圆周外壁上环形等距的设置有多组省料槽，加热箱上对应的设置有四组锁扣，密封盖通过锁套与锁扣的配合的固定盖装在取放口上。

【技术实现步骤摘要】
一种制备硅单晶用石墨加热器
本技术涉及石墨加热器的
，特别是涉及一种制备硅单晶用石墨加热器。
技术介绍
硅单晶又称单晶硅，是硅的一种单晶体，具有基本完整的点阵结构，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池、芯片等，硅单晶在生产过程中，需要通过石墨加热器进行高温加热，然后再在单晶炉内经拉制而成，但是目前的石墨加热器，在使用过程中发现，加热装置拆装不方便，不便于进行维护，加热材料制作成本较高，导致使用局限性较高。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种能够使加热装置拆装更加方便，便于进行检修维护，使加热材料制作成本减少，降低使用局限性的一种制备硅单晶用石墨加热器。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，包括加热箱、电控器、石墨加热筒、两组固定螺栓和密封盖，加热箱的内部设置有腔室，加热箱的顶端设置有取放口，取放口与腔室相通，电控器固定安装在加热箱的前端，腔室的底端固定设置有底座，底座的顶端左右对称的设置有两组插槽和两组螺纹孔，石墨加热筒的底端设置有两组插块，石墨加热筒通过两组插块与插槽的配合固定插接在底座上，并且石墨加热筒与电控器通过电连接，石墨加热筒的左右两端均设置有固定座，两组固定螺栓通过与固定座和螺纹孔的配合分别可转动的固定安装在两组固定座上，石墨加热筒的圆周外壁上环形等距的设置有多组省料槽，密封盖上环形等距的设置有四组锁套，加热箱上对应的设置有四组锁扣，密封盖通过锁套与锁扣的配合的固定盖装在取放口上。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括两组手提把，两组手提把分别对称的固定安装在石墨加热筒圆周外壁的左右两端。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括四组万向架和四组脚轮，四组万向架均固定安装在加热箱的底端，四组脚轮分别转动安装在四组万向架上，四组万向架上均设置有锁片。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括手推把，手推把固定安装在加热箱的左端。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括防滑把套，防滑把套固定套装在手推把的圆周外壁上。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括把手，把手固定安装在密封盖的顶端。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，所述加热箱的内壁中设置有夹层，夹层内填充设置有保温材料。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括密封垫，密封垫固定安装在取放口顶端的边沿上。与现有技术相比本技术的有益效果为：首先在进行安装时，先将石墨加热筒通过插块固定插接到底座上，再通过固定螺栓将石墨加热筒进行固定，完成组装，然后将加热的材料放入到腔室内，通过电控器控制启动设备，以石墨加热筒作为电阻发热体，通电后迅速升温，对材料进行加热，通过采用插接和螺栓固定的方式进行安装，能够使加热装置拆装更加方便，便于进行检修维护，通过在石墨加热筒上设置省料槽，能够在保证加热效率的情况下，减少石墨加热筒的生产用料，使加热材料制作成本减少，降低使用局限性。附图说明图1是本技术的前侧示意图；图2是本技术的剖面结构示意图；图3是本技术中石墨加热筒的横向剖面结构示意图；图4是本技术中石墨加热筒的下侧示意图；附图中标记：1、加热箱；2、电控器；3、底座；4、石墨加热筒；5、插块；6、固定座；7、固定螺栓；8、省料槽；9、密封盖；10、锁套；11、锁扣；12、手提把；13、万向架；14、脚轮；15、锁片；16、手推把；17、防滑把套；18、把手；19、保温材料；20、密封垫。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。如图1至图4所示，本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，包括加热箱1、电控器2、石墨加热筒4、两组固定螺栓7和密封盖9，加热箱1的内部设置有腔室，加热箱1的顶端设置有取放口，取放口与腔室相通，电控器2固定安装在加热箱1的前端，腔室的底端固定设置有底座3，底座3的顶端左右对称的设置有两组插槽和两组螺纹孔，石墨加热筒4的底端设置有两组插块5，石墨加热筒4通过两组插块5与插槽的配合固定插接在底座3上，并且石墨加热筒4与电控器2通过电连接，石墨加热筒4的左右两端均设置有固定座6，两组固定螺栓7通过与固定座6和螺纹孔的配合分别可转动的固定安装在两组固定座6上，石墨加热筒4的圆周外壁上环形等距的设置有多组省料槽8，密封盖9上环形等距的设置有四组锁套10，加热箱1上对应的设置有四组锁扣11，密封盖9通过锁套10与锁扣11的配合的固定盖装在取放口上；首先在进行安装时，先将石墨加热筒4通过插块5固定插接到底座3上，再通过固定螺栓7将石墨加热筒4进行固定，完成组装，然后将加热的材料放入到腔室内，通过电控器2控制启动设备，以石墨加热筒4作为电阻发热体，通电后迅速升温，对材料进行加热，通过采用插接和螺栓固定的方式进行安装，能够使加热装置拆装更加方便，便于进行检修维护，通过在石墨加热筒4上设置省料槽8，能够在保证加热效率的情况下，减少石墨加热筒4的生产用料，使加热材料制作成本减少，降低使用局限性。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括两组手提把12，两组手提把12分别对称的固定安装在石墨加热筒4圆周外壁的左右两端；通过设置手提把12，能够使石墨加热筒4的取放更加的便捷，降低使用局限性。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括四组万向架13和四组脚轮14，四组万向架13均固定安装在加热箱1的底端，四组脚轮14分别转动安装在四组万向架13上，四组万向架13上均设置有锁片15；通过设置万向架13和脚轮14，能够使设备的移动和调整更加的省力便捷，降低使用局限性。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括手推把16，手推把16固定安装在加热箱1的左端；通过设置手推把16，能够便于推动设备进行移动和调整，降低使用局限性。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括防滑把套17，防滑把套17固定套装在手推把16的圆周外壁上；通过设置防滑把套17，能够有效防止在推动过程中出现打滑脱手的情况，提高使用可靠性。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括把手18，把手18固定安装在密封盖9的顶端；通过设置把手18，能够使密封盖9的取放更加的方便，降低使用局限性。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，所述加热箱1的内壁中设置有夹层，夹层内填充设置有保温材料19；通过设置保温材料19，能够增强加热箱1的保温性能，减少热量的散失，提高使用可靠性。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，还包括密封垫20，密封垫20固定安装在取放口顶端的边沿上；通过设置密封垫20，能够使密封盖9盖装的更加严密，增强密封盖9的密封性，进一步减少热量的损失，提高使用可靠性。本技术的一种制备硅单晶用石墨加热器，其在工作时，首先在进行安装时，先将石墨加热筒4通过插块本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备硅单晶用石墨加热器，其特征在于，包括加热箱(1)、电控器(2)、石墨加热筒(4)、两组固定螺栓(7)和密封盖(9)，加热箱(1)的内部设置有腔室，加热箱(1)的顶端设置有取放口，取放口与腔室相通，电控器(2)固定安装在加热箱(1)的前端，腔室的底端固定设置有底座(3)，底座(3)的顶端左右对称的设置有两组插槽和两组螺纹孔，石墨加热筒(4)的底端设置有两组插块(5)，石墨加热筒(4)通过两组插块(5)与插槽的配合固定插接在底座(3)上，并且石墨加热筒(4)与电控器(2)通过电连接，石墨加热筒(4)的左右两端均设置有固定座(6)，两组固定螺栓(7)通过与固定座(6)和螺纹孔的配合分别可转动的固定安装在两组固定座(6)上，石墨加热筒(4)的圆周外壁上环形等距的设置有多组省料槽(8)，密封盖(9)上环形等距的设置有四组锁套(10)，加热箱(1)上对应的设置有四组锁扣(11)，密封盖(9)通过锁套(10)与锁扣(11)的配合的固定盖装在取放口上。/n

【技术特征摘要】
1.一种制备硅单晶用石墨加热器，其特征在于，包括加热箱(1)、电控器(2)、石墨加热筒(4)、两组固定螺栓(7)和密封盖(9)，加热箱(1)的内部设置有腔室，加热箱(1)的顶端设置有取放口，取放口与腔室相通，电控器(2)固定安装在加热箱(1)的前端，腔室的底端固定设置有底座(3)，底座(3)的顶端左右对称的设置有两组插槽和两组螺纹孔，石墨加热筒(4)的底端设置有两组插块(5)，石墨加热筒(4)通过两组插块(5)与插槽的配合固定插接在底座(3)上，并且石墨加热筒(4)与电控器(2)通过电连接，石墨加热筒(4)的左右两端均设置有固定座(6)，两组固定螺栓(7)通过与固定座(6)和螺纹孔的配合分别可转动的固定安装在两组固定座(6)上，石墨加热筒(4)的圆周外壁上环形等距的设置有多组省料槽(8)，密封盖(9)上环形等距的设置有四组锁套(10)，加热箱(1)上对应的设置有四组锁扣(11)，密封盖(9)通过锁套(10)与锁扣(11)的配合的固定盖装在取放口上。


2.如权利要求1所述的一种制备硅单晶用石墨加热器，其特征在于，还包括两组手提把(12)，两组手提把(12)分别对称的固定安装在石墨加热筒(4)圆周外壁的左右两端。...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹朝洁，
申请(专利权)人：弘朗新材料上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31