【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置
本技术属于机械
,涉及一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有技术中,在单晶硅拉制的过程中,如若高温硅液有泄漏,则高温的硅液会流入设备内,直接导致石英坩埚的破损、设备的损坏,更甚者会引起安全事故,提升拉晶的成本和风险。综上所述,为解决现有的仓库在自动化管理上的不足,本技术设计了一种安全性高、方便使用的晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置。
技术实现思路
本技术为解决现有技术存在的问题,提供了一种安全性高、方便使用的晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置。本技术的目的可通过以下技术方案来实现:一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置,包括:防漏盘,包括溢流槽和溢流孔,溢流孔成对设置且对称设于溢流槽内, ...
【技术保护点】
1.一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置,其特征在于,包括:/n防漏盘(10),包括溢流槽(11)和溢流孔(12),溢流孔(12)成对设置且对称设于溢流槽(11)内,防漏盘(10)设于石英坩埚的下方且石英坩埚侧壁的投影落入在溢流槽(11)内;/n接料桶(20),接料桶(20)通过导流管(30)与溢流孔(12)连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置,其特征在于,包括:
防漏盘(10),包括溢流槽(11)和溢流孔(12),溢流孔(12)成对设置且对称设于溢流槽(11)内,防漏盘(10)设于石英坩埚的下方且石英坩埚侧壁的投影落入在溢流槽(11)内;
接料桶(20),接料桶(20)通过导流管(30)与溢流孔(12)连通。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置,其特征在于,防漏盘(10)的中心处设有轴孔(13),轴孔(13)的周围均匀设置电极贯穿孔(14)。
3.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置,其特征在于,导流管(30)包括导管(31)和输出管(32),输出管(32)的上部与导管(31)相连,输出管(32)的下部与接料桶(20)相连,且输出管(32)的下部延伸至接料桶(20)的内腔。
4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨金海,
申请(专利权)人:浙江晶阳机电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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