下载一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置的技术资料

文档序号:29124979

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本实用新型提供了一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置,包括:防漏盘,包括溢流槽和溢流孔,溢流孔成对设置且对称设于溢流槽内,防漏盘设于石英坩埚的下方且石英坩埚侧壁的投影落入在溢流槽内;接料桶,接料桶通过导流管与溢流孔连通。本实用新型具有安全性高、...
该专利属于浙江晶阳机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶阳机电股份有限公司授权不得商用。

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