下载一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法的技术资料

文档序号:29126890

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本发明公开一种真空直拉炉生产机构,生产机构包括第一底板,所述第一底板上设有第一支架,第一支架上设有单晶炉,单晶炉包括炉体,炉体下方设有坩埚升降转动组件,炉体上设有旋阀,旋阀上设有副室,炉体上端设有导向组件,副室上端设有转动盘,第一底板一侧设...
该专利属于浙江晶阳机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶阳机电股份有限公司授权不得商用。

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