一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉制造方法及图纸

技术编号:29124981 阅读:58 留言:0更新日期:2021-07-02 22:19
本实用新型专利技术提供了一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉,包括:上炉体或隔离阀;防晶棒掉落夹持装置,若干防晶棒掉落夹持装置均匀设于上炉体或隔离阀上,防晶棒掉落夹持装置包括驱动机构、夹紧块,驱动机构的输出轴通过连接杆与夹紧块相连,在驱动机构的驱动下,夹紧块沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。本实用新型专利技术具有机构简单、维护方便、可靠性高的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉
本技术属于机械
,涉及一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有技术中,在单晶硅拉制过程中,硅棒重量也在不断增加,会存在籽晶绳断裂,硅棒掉落的安全事故。硅棒掉入石英坩埚内会到最后漏硅事故的发生,更甚者会造成重大财产损失和人员安全事故。综上所述,为解决现有的单晶炉结构上的不足,本技术设计了一种机构简单、维护方便、可靠性高的带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。
技术实现思路
本技术为解决现有技术存在的问题,提供了一种机构简单、维护方便、可靠性高的带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。本技术的目的可通过以下技术方案来实现:一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉,包括:上炉体或隔离阀;防晶棒掉落本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉,其特征在于,包括:/n上炉体(10)或隔离阀;/n防晶棒掉落夹持装置(20),若干防晶棒掉落夹持装置(20)均匀设于上炉体(10)或隔离阀上,防晶棒掉落夹持装置(20)包括驱动机构(21)、夹紧块(22),驱动机构(21)的输出轴通过连接杆(23)与夹紧块(22)相连,在驱动机构(21)的驱动下,夹紧块(22)沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。/n

【技术特征摘要】
1.一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉,其特征在于,包括:
上炉体(10)或隔离阀;
防晶棒掉落夹持装置(20),若干防晶棒掉落夹持装置(20)均匀设于上炉体(10)或隔离阀上,防晶棒掉落夹持装置(20)包括驱动机构(21)、夹紧块(22),驱动机构(21)的输出轴通过连接杆(23)与夹紧块(22)相连,在驱动机构(21)的驱动下,夹紧块(22)沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。


2.根据权利要求1所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉,其特征在于,夹紧块(22)为弧形。


3.根据权利要求1所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉,其特征在于,夹紧块(22)的接触面上设有耐高温护垫。


4.根据权利要求3所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉,其特征在于,耐高温护垫的材质为聚四氟乙烯。

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【专利技术属性】
技术研发人员:杨金海
申请(专利权)人:浙江晶阳机电股份有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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