倾摆控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种倾摆控制装置，包括：倾摆单元，以第一旋转中心为基准以能够转动的方式配置于前方的安装位置和后方的等待位置；升降单元，结合于所述倾摆单元的下部，在所述倾摆单元朝向所述安装位置转动定位时，所述升降单元能够朝向所述安装位置和所述升降单元的下部的组装位置升降；以及保持单元，能够以锁定或解锁操作的方式结合于所述升降单元，并且所述保持单元的位于所述升降单元的下部的锁定部件以第二旋转中心为基准在径向方向上以能够联动的方式配置。够联动的方式配置。够联动的方式配置。

【技术实现步骤摘要】
倾摆控制装置


[0001]本专利技术涉及一种倾摆(tilting)控制装置，更为详细地，涉及不发生结合误差(歪斜等)，且能够减少因结合部位的损伤和冲击所产生的颗粒(Particle)的一种倾摆控制装置。

技术介绍

[0002]通常，在半导体工艺中，对晶圆(wafer)执行蚀刻和清洗工艺等，在蚀刻或清洗晶圆的工艺中使用卡盘工作台(Chuck Table)。在对晶圆进行清洗的卡盘工作台的上部安放有晶圆，并在旋转台的边缘区域结合有环形的密封环，并向安放于旋转台的晶圆供应处理液。卡盘工作台的边缘侧的上部安装有多个固定销，密封环的下部形成有固定槽，以使得固定销对应插入，卡盘工作台的上部结合密封环时，使得固定销垂直地插入固定槽。但是，在现有的卡盘工作台上结合密封环时，由于是真空吸附式，不存在固定销和固定槽，从而发生过大量的安装错误。
[0003]作为本专利技术相关的现有技术文献，有韩国公开专利第10
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2016
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0122067号(2016年10月21日)，所述现有技术文献公开了一种晶圆处理装置及用于晶圆处理装置的密封环。

技术实现思路

[0004]要解决的技术问题
[0005]本专利技术的目的在于提供一种与密封环不发生结合误差(歪斜等)的倾摆控制装置。
[0006]此外，本专利技术的目的在于提供一种即使在密封环和工作台之间发生结合误差，也能够实现机械偏差补偿的倾摆控制装置。
[0007]解决技术问题的手段
[0008]根据本专利技术的倾摆控制装置包括：包括：倾摆单元，以能够将第一旋转中心作为基准转动的方式配置于前方的安装位置和后方的等待位置；升降单元，结合于所述倾摆单元的下部，在所述倾摆单元朝向所述安装位置转动定位时，所述升降单元能够朝向所述安装位置和所述安装位置的下部的组装位置升降；以及保持单元，能够以锁定或解锁操作的方式结合于所述升降单元，并且所述保持单元的位于所述升降单元的下部的锁定部件以第二旋转中心为基准在径向方向上以能够联动的方式配置。
[0009]在进行锁定操作时，所述保持单元在使密封环位于所述升降单元的下部的状态下使得所述锁定部件朝向锁定位置移动，从而对所述密封环的侧面进行加压支承，并且在进行解锁操作时，所述保持单元使得所述锁定部件朝向解锁位置移动，从而与所述密封环分离而定位。
[0010]所述倾摆单元包括：支承台，固定结合于设置面；转动架，所述转动架的后端以能够将所述支承台的第一旋转中心作为基准朝向所述安装位置和所述等待位置转动的方式结合，所述升降单元以能够升降的方式结合于所述转动架的下部有；第一转动驱动部，设置于所述支承台，使得所述转动架朝向所述安装位置和所述等待位置转动。
[0011]所述升降单元包括：上部升降架，配置于所述转动架的下部，所述上部升降架的向上部凸出的导梁以能够升降的方式贯通结合于形成于所述转动架的升降孔；升降驱动部，竖直地结合于所述转动架，并且朝向所述升降驱动部的下部出入的连杆结合于所述上部升降架；以及下部升降架，结合于所述上部升降架的下部，并且所述下部升降架设置为所述锁定部件能够沿着所述下部升降架的下部边缘移动。
[0012]所述转动架的下部可以包括旋转轴，所述旋转轴以固定方式贯通结合于所述上部升降架和所述下部升降架，从而形成第二旋转中心。在此，在所述下部升降架的内部还可以包括：轴插入槽，供所述旋转轴的下端竖直插入；以及环形的轴承，结合于所述轴插入槽的内部，将所述旋转轴的下端支承为能够水平旋转。此外，所述轴承的内周面可以具有比所述旋转轴的直径更大的直径，以便所述下部升降架能够按照设定距离向侧方移动。此外，所述升降单元还包括位置调节单元，在所述升降单元朝向所述组装位置下降而定位的过程中，当密封环发生组装位置偏差时，所述位置调节单元使得所述下部升降架向侧方移动，从而补偿偏差，并且在所述升降单元朝向所述安装位置上升时，使得所述下部升降架恢复至原来的位置。
[0013]所述位置调节单元包括：设置槽，形成于所述下部升降架的内部；弹性部件，插入于所述设置槽的内部，从而在上下方向上作用压缩弹力；球形的球部件，被所述弹性部件的上端弹性支承为能够升降；位置调节槽，凹陷形成于所述上部升降架的下表面，所述球部件的上端与所述位置调节槽的内部弹性接触，并且随着朝向所述位置调节槽的上端的最小直径部去直径逐渐变小。
[0014]所述保持单元包括：凸轮盘，被配置为能够在所述上部升降架和所述下部升降架之间以第二旋转中心为基准向锁定方向或解锁方向转动，并且所述凸轮盘在径向方向上下贯通形成有导孔；以及第二转动驱动部，设置于所述下部升降架，使得所述凸轮盘向锁定位置或解锁位置转动。
[0015]此外，所述锁定部件包括：导向轴，所述导向轴的上端以能够滑动的方式插入于所述导孔，并且所述导向轴的下端通过贯通孔向所述下部升降架的下部暴露，所述贯通孔形成于所述下部升降架的边缘；锁定销，以连接于所述导向轴的下端的状态从所述下部升降架的下部向锁定位置或解锁位置移动；以及导辊，以能够水平旋转的方式结合于所述下部升降架的下表面，在与所述锁定销的移动方向成直角的方向上进行支承。
[0016]此外，本专利技术包括：包括：第一流路，以连接流体供应部的方式形成于所述下部升降架的内部；第二流路，以朝向上部贯通的方式形成于密封环的内部；以及多个喷射孔，从所述第二流路的下部延伸并朝向下部贯通。从所述流体供应部所供应的用于去除药液的流体在通过所述第一流路和所述第二流路后可以通过所述喷射孔向下喷射，并且在所述密封环安装于所述升降架时，所述第一流路和所述第二流路可以构成为相互连接。
[0017]专利技术的效果
[0018]本专利技术在密封环安装时，在凸轮盘(cam plate)旋转的同时，使得多个锁定销同时驱动至与密封环的结合位置，因此可以降低密封环的结合误差(歪斜等)。
[0019]此外，本专利技术在使得安装完成的密封环与基板处理装置的固定销结合时，补偿通过位置调节单元组装时所产生的偏差，从而能够精密地排列密封环的固定槽和卡盘工作台的固定销。
[0020]此外，本专利技术因为补偿密封环的固定槽与卡盘工作台的固定销间的偏差，所以即使密封环和工作台之间发生结合误差，也能够实现机械偏差补偿。
附图说明
[0021]图1是表示根据本专利技术的一个实施例的倾摆控制装置的主视图。
[0022]图2是表示根据本专利技术的一个实施例的倾摆控制装置的侧视图。
[0023]图3是表示根据本专利技术的一个实施例的倾摆控制装置的俯视图。
[0024]图4是表示根据本专利技术的一个实施例的倾摆控制装置的仰视图。
[0025]图5是详细表示根据本专利技术的一个实施例的倾摆控制装置的升降单元和保持单元的俯视图。
[0026]图6是详细表示根据本专利技术的一个实施例的倾摆控制装置的升降单元和保持单元的仰视图。
[0027]图7是详细表示根据本专利技术的一个实施例的倾摆控制装置的锁定部件的仰视图。
[0028]图8是表示根据本专利技术的一个实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种倾摆控制装置，其特征在于，包括：倾摆单元，以能够将第一旋转中心作为基准转动的方式配置于前方的安装位置和后方的等待位置；升降单元，结合于所述倾摆单元的下部，在所述倾摆单元朝向所述安装位置转动定位时，所述升降单元能够朝向所述安装位置和所述安装位置的下部的组装位置升降；以及保持单元，能够以锁定或解锁操作的方式结合于所述升降单元，并且所述保持单元的位于所述升降单元的下部的锁定部件以第二旋转中心为基准在径向方向上以能够联动的方式配置。2.根据权利要求1所述的倾摆控制装置，其特征在于，在进行锁定操作时，所述保持单元在使密封环位于所述升降单元的下部的状态下使得所述锁定部件朝向锁定位置移动，从而对所述密封环的侧面进行加压支承，并且在进行解锁操作时，所述保持单元使得所述锁定部件朝向解锁位置移动，从而与所述密封环分离而定位。3.根据权利要求1所述的倾摆控制装置，其特征在于，所述倾摆单元包括：支承台，固定结合于设置面；转动架，所述转动架的后端以能够将所述支承台的第一旋转中心作为基准朝向所述安装位置和所述等待位置转动的方式结合，所述升降单元以能够升降的方式结合于所述转动架的下部；以及第一转动驱动部，设置于所述支承台，使得所述转动架朝向所述安装位置和所述等待位置转动。4.根据权利要求3所述的倾摆控制装置，其特征在于，所述升降单元包括：上部升降架，配置于所述转动架的下部，所述上部升降架的向上部凸出的导梁以能够升降的方式贯通结合于形成于所述转动架的升降孔；升降驱动部，竖直地结合于所述转动架，并且朝向所述升降驱动部的下部出入的连杆结合于所述上部升降架；以及下部升降架，结合于所述上部升降架的下部，并且所述下部升降架设置为所述锁定部件能够沿着所述下部升降架的下部边缘移动。5.根据权利要求4所述的倾摆控制装置，其特征在于，所述转动架的下部包括旋转轴，所述旋转轴以固定方式贯通结合于所述上部升降架和所述下部升降架，从而形成第二旋转中心。6.根据权利要求5所述的倾摆控制装置，其特征在于，在所述下部升降架的内部还包括：轴插入槽，供所述旋转轴的下端竖直插入；以及环形的轴承，结合于所述轴插入槽的内部，将所述旋转轴的下端支承为能够水平旋转。7.根据权利要求6所述的倾摆控制装置，其特征在于，所述轴承的内周面具有比所述旋转轴的直径更大的直径，以...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔云，宋智勋，
申请(专利权)人：杰宜斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：