一种基于单晶硅外延片生产输送推片机制造技术

本实用新型专利技术提供一种基于单晶硅外延片生产输送推片机。所述基于单晶硅外延片生产输送推片机，包括传送带和推片箱，所述推片箱内壁的正面和背面之间滑动连接有底板，所述底板的顶部通过固定架固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的一端固定连接有固定轴，所述底板的顶部且位于所述第一电机的背面固定连接有固定板。本实用新型专利技术提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机，通过第一电机带动固定轴，固定轴带动固定块转动，固定块带动连接杆转动，连接杆通过T型块带动连接块，连接块在竖杆上滑动并带动竖杆沿着固定杆的方向移动，竖杆带动L型板将外延片推出外延片承载盒送至传送带上，以此提高生产效率，降低人工工作强度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于单晶硅外延片生产输送推片机
本技术涉及单晶硅外延片领域，尤其涉及一种基于单晶硅外延片生产输送推片机。
技术介绍
外延是半导体工艺当中的一种，在bipolar工艺中，硅片最底层是P型衬底硅(有的加点埋层)；然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层；再后来在外延层上注入基区、发射区等等，最后基本形成纵向NPN管结构：外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区，外延片就是在衬底上做好外延层的硅片。单晶硅外延片在生产过程中，需要将安插在外延片承载盒中单晶硅外延片取出输送至下一工序，目前，大多安插在外延片承载盒中的单晶硅外延片取出需要依靠人工手动抽出，不仅耗费时间，同时在一定程度上降低了生产效率。因此，有必要提供一种基于单晶硅外延片生产输送推片机解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种基于单晶硅外延片生产输送推片机，解决了大多单晶硅外延片取出需要依靠人工手动抽出，不仅耗费时间，同时在一定程度上降低了生产效率的问题。为解决上述技术问题，本技术提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机包括传送带和推片箱，所述推片箱内壁的正面和背面之间滑动连接有底板，所述底板的顶部通过固定架固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴的一端固定连接有固定轴，所述底板的顶部且位于所述第一电机的背面固定连接有固定板，所述固定轴的一端贯穿所述固定板并延伸至所述固定板的背面，所述固定轴延伸至所述固定板背面的一端固定连接有固定块，所述固定块的底部设置有连接杆，所述连接杆的一端贯穿所述固定块并延伸至所述固定块的顶部，所述连接杆延伸至所述固定块顶部的一端固定连接有T型块，所述连接杆的外表面设置有弹簧，所述T型块的背面转动连接有连接块，所述连接块的背面固定连接有L型板，所述底板顶部的两侧均固定连接有竖板，两个所述竖板相对的一侧之间固定连接有固定杆，所述固定杆的外表面滑动连接有滑动套，所述滑动套的底部固定连接有竖杆，所述竖杆贯穿所述连接块并延伸至所述连接块的底部；第一电机通过现有技术与外部控制开关连接，固定轴与固定板的贯穿处为转动连接，连接杆与固定块的贯穿处为滑动连接，弹簧处于固定块和T型块之间，L型板的顶部固定连接有凸板，竖杆与连接块的贯穿处为滑动连接,传送带顶部的正面和背面的边缘处设置有挡板。优选的，所述推片箱内壁的底部固定连接有隔板，所述隔板的两侧均转动连接有转动板，两个所述转动板相离的一侧均转动连接有推杆，所述隔板的两侧均设置有第一滑槽，所述隔板的两侧均设置有第二滑槽,每个转动板上的两个推杆分别位于该转动板的两头，第一滑槽位于转动板的正面，第二滑槽位于转动板的背面。优选的，两个所述第一滑槽的内部均滑动连接有第一滑块，两个所述第二滑槽的内部均滑动连接有第二滑块，两个所述第一滑块相离的一侧与两个所述第二滑块相离的一侧均转动连接有顶杆，所述推片箱内壁的底部固定连接有第二电机,第二电机为伺服电机，第二电机通过现有技术与外部控制开关连接，四个顶杆的一端均转动连接在底板的底部。优选的，所述推片箱的左侧通过支撑架固定连接有液压缸，所述液压缸伸缩杆的一端固定连接有直齿板，所述推片箱的左侧通过两个支撑板转动连接有转动杆,所述转动杆的外表面固定连接有齿轮，所述转动杆的两端均固定连接有连接板,直齿板的齿牙面和齿轮啮合。优选的，所述推片箱的正面和背面均滑动连接有滑动杆，两个所述滑动杆的左侧均固定连接有横杆，两个所述横杆的一端均固定连接有方型板，两个所述方型板的内部均滑动连接有连接轴,两个连接板相离的一侧分别和同侧的连接轴转动连接。优选的，所述推片箱的正面和背面均滑动连接有直杆，两个所述直杆的一端均固定连接有橡胶块，两个所述直杆的底部均转动连接有转动轴,两个转动轴的一端分别和两个滑动杆的顶部转动连接。优选的，所述推片箱的顶部设置有通槽，所述推片箱的顶部设置有外延片承载盒，所述外延片承载盒的内部设置有外延片。与相关技术相比较，本技术提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机具有如下有益效果：(1)、本技术提供一种基于单晶硅外延片生产输送推片机，通过第一电机带动固定轴，固定轴带动固定块转动，固定块带动连接杆转动，连接杆通过T型块带动连接块，连接块在竖杆上滑动并带动竖杆沿着固定杆的方向移动，竖杆带动L型板将外延片推出外延片承载盒送至传送带上，以此提高生产效率，降低人工工作强度；(2)、本技术提供一种基于单晶硅外延片生产输送推片机，通过液压缸带动直齿板，直齿板通过齿轮带动转动杆，转动杆带动连接板转动，连接板通过连接轴带动横杆移动，横杆推动转动轴，转动轴推动直杆，从而带动橡胶块将外延片承载盒夹紧，防止推片时外延片承载盒移位阻碍推片效率。附图说明图1为本技术提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示推片箱右视的内部结构示意图；图3为图1所示推片箱俯视的结构示意图；图4为图1所示转动板和推杆的三维结构示意图。图中标号：1、传送带；2、推片箱；3、底板；4、第一电机；5、固定轴；6、固定板；7、固定块；8、连接杆；9、T型块；10、弹簧；11、连接块；12、L型板；13、竖板；14、固定杆；15、滑动套；16、竖杆；17、隔板；18、转动板；19、推杆；20、第一滑槽；21、第二滑槽；22、第一滑块；23、第二滑块；24、顶杆；25、第二电机；26、液压缸；27、直齿板；28、转动杆；29、齿轮；30、连接板；31、滑动杆；32、横杆；33、方型板；34、连接轴；35、直杆；36、橡胶块；37、转动轴；38、通槽；39、外延片承载盒；40、外延片。具体实施方式下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本技术提供的基于单晶硅外延片生产输送推片机的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示推片箱右视的内部结构示意图；图3为图1所示推片箱俯视的结构示意图；图4为图1所示转动板和推杆的三维结构示意图。基于单晶硅外延片生产输送推片机包括传送带1和推片箱2，所述推片箱2内壁的正面和背面之间滑动连接有底板3，所述底板3的顶部通过固定架固定连接有第一电机4，所述第一电机4输出轴的一端固定连接有固定轴5，所述底板3的顶部且位于所述第一电机4的背面固定连接有固定板6，所述固定轴5的一端贯穿所述固定板6并延伸至所述固定板6的背面，所述固定轴5延伸至所述固定板6背面的一端固定连接有固定块7，所述固定块7的底部设置有连接杆8，所述连接杆8的一端贯穿所述固定块7并延伸至所述固定块7的顶部，所述连接杆8延伸至所述固定块7顶部的一端固定连接有T型块9，所述连接杆8的外表面设置有弹簧10，所述T型块9的背面转动连接有连接块11，所述连接块11的背面固定连接有L型板12，所述底板3顶部的两侧均固定连接有竖板13，两个所述竖板13相对的一侧之间固定连接有固定杆14，所述固定杆14的外表面滑动连接有滑动套15，所述滑动套15的底部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于单晶硅外延片生产输送推片机，包括传送带(1)和推片箱(2)，其特征在于：所述推片箱(2)内壁的正面和背面之间滑动连接有底板(3)，所述底板(3)的顶部通过固定架固定连接有第一电机(4)，所述第一电机(4)输出轴的一端固定连接有固定轴(5)，所述底板(3)的顶部且位于所述第一电机(4)的背面固定连接有固定板(6)，所述固定轴(5)的一端贯穿所述固定板(6)并延伸至所述固定板(6)的背面，所述固定轴(5)延伸至所述固定板(6)背面的一端固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的底部设置有连接杆(8)，所述连接杆(8)的一端贯穿所述固定块(7)并延伸至所述固定块(7)的顶部，所述连接杆(8)延伸至所述固定块(7)顶部的一端固定连接有T型块(9)，所述连接杆(8)的外表面设置有弹簧(10)，所述T型块(9)的背面转动连接有连接块(11)，所述连接块(11)的背面固定连接有L型板(12)，所述底板(3)顶部的两侧均固定连接有竖板(13)，两个所述竖板(13)相对的一侧之间固定连接有固定杆(14)，所述固定杆(14)的外表面滑动连接有滑动套(15)，所述滑动套(15)的底部固定连接有竖杆(16)，所述竖杆(16)贯穿所述连接块(11)并延伸至所述连接块(11)的底部。/n...

【技术特征摘要】
1.一种基于单晶硅外延片生产输送推片机，包括传送带(1)和推片箱(2)，其特征在于：所述推片箱(2)内壁的正面和背面之间滑动连接有底板(3)，所述底板(3)的顶部通过固定架固定连接有第一电机(4)，所述第一电机(4)输出轴的一端固定连接有固定轴(5)，所述底板(3)的顶部且位于所述第一电机(4)的背面固定连接有固定板(6)，所述固定轴(5)的一端贯穿所述固定板(6)并延伸至所述固定板(6)的背面，所述固定轴(5)延伸至所述固定板(6)背面的一端固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的底部设置有连接杆(8)，所述连接杆(8)的一端贯穿所述固定块(7)并延伸至所述固定块(7)的顶部，所述连接杆(8)延伸至所述固定块(7)顶部的一端固定连接有T型块(9)，所述连接杆(8)的外表面设置有弹簧(10)，所述T型块(9)的背面转动连接有连接块(11)，所述连接块(11)的背面固定连接有L型板(12)，所述底板(3)顶部的两侧均固定连接有竖板(13)，两个所述竖板(13)相对的一侧之间固定连接有固定杆(14)，所述固定杆(14)的外表面滑动连接有滑动套(15)，所述滑动套(15)的底部固定连接有竖杆(16)，所述竖杆(16)贯穿所述连接块(11)并延伸至所述连接块(11)的底部。


2.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产输送推片机，其特征在于，所述推片箱(2)内壁的底部固定连接有隔板(17)，所述隔板(17)的两侧均转动连接有转动板(18)，两个所述转动板(18)相离的一侧均转动连接有推杆(19)，所述隔板(17)的两侧均设置有第一滑槽(20)，所述隔板(17)的两侧均设置有第二滑槽(21)。


3.根据权利要求2所述的基于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李亦宁，李治宇，
申请(专利权)人：四川雅吉芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51