一种外延片加工用尾气处理器制造技术

本发明专利技术涉及外延片加工领域，公开了一种外延片加工用尾气处理器，包括供气装置、吸气装置和过滤系统，供气装置与吸气装置相对安装在外延片切割机外壳的侧壁上，供气装置包括支撑板和多个万向喷气嘴，多个万向喷气嘴安装在靠近吸气装置一侧的支撑板上，吸气装置包括集气罩，集气罩呈U型，U型的集气罩开口朝向支撑板，并延伸至支撑板的侧壁上，集气罩与过滤系统连接。本发明专利技术通过设置供气装置和吸气装置，可利用供气装置吹出的空气和由吸气装置吸走，从而实现气体的循环，用于将外延片加工时产生的尾气吸出，并通过过滤系统对尾气进行过滤，同时过滤后的气体可再次传入供气装置，以实现尾气的连续处理。的连续处理。的连续处理。

【技术实现步骤摘要】
一种外延片加工用尾气处理器


[0001]本专利技术涉及外延片加工领域，特别是涉及一种外延片加工用尾气处理器。

技术介绍

[0002]外延片是半导体工艺当中的一种，外延片是以硅片作为衬底，然后在称帝上生长一层单晶硅，这层单晶硅称之为外延层，即外延片。现有外延片在生产时，需要用到激光进行切割，激光切割会产生大量的尾气，尾气中的含有大量的悬浮颗粒物，而外延片加工时对环境的要求极高，尾气会严重影响外延片的生产，因此需要将尾气及灰尘进行去除，现有的去除尾气的方法是利用排气管将尾气和悬浮颗粒物吸出，但这样的清理效果有限，会造成外延片的不良率增加。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种外延片加工用尾气处理器，该尾气处理器能方便的将外延片加工过程中产生的尾气吸附，并且能防止尾气中的颗粒物滞留，能保证外延片的加工环境。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：
[0005]一种外延片加工用尾气处理器，包括供气装置、吸气装置和过滤系统，所述供气装置与吸气装置相对安装在外延片切割机外壳的侧壁上，所述供气装置包括支撑板和多个万向喷气嘴，所述支撑板中空，多个万向喷气嘴安装在靠近吸气装置一侧的支撑板上，所述支撑板上的万向喷气嘴沿支撑板的横向中线和纵向中线分隔成四个区域，每个区域的支撑板上均设有调节万向喷气嘴出口方向的角度调节装置，所述吸气装置包括集气罩，所述集气罩呈U型，U型的集气罩开口朝向支撑板，并延伸至支撑板的侧壁上，所述集气罩外壁底部设有与过滤系统连接的排气管，所述过滤系统包括集尘罐、多级过滤器和储气罐，所述储气罐通过供气管与支撑板连通。
[0006]所述万向喷气嘴包括支撑座和安装在支撑座上的导流嘴，所述支撑座呈中空的球形，所述支撑座可转动的安装在支撑板上，支撑座远离导流嘴一端加工有与支撑板连通的通口，支撑座内壁上安装有与导流嘴中线对齐的支撑轴，且支撑轴从通口伸入中空的支撑板内。
[0007]所述角度调节装置安装在支撑板四角，每个角度调节装置包括横向连接杆、纵向连接杆和气缸，多根横向连接杆和纵向连接杆交错设置，且与对应区域内的支撑轴连接，多根横向连接杆靠近支撑板的一端和多根纵向连接杆靠近支撑板的一端分别安装有传动杆，所述气缸有两个，并分别安装在支撑板转角处的外侧壁上，气缸的活塞杆穿过支撑板与传动杆连接。
[0008]所述集气罩的内侧安装有三块滞尘挡板，三块滞尘挡板拼接呈与集气罩轮廓适配的U型，且滞尘挡板与集气罩之间留有间隙，三块滞尘挡板上均加工有多个供尾气穿过的通孔，集气罩内顶部和内底部的滞尘挡板上的通孔孔径沿排气管之间的间距逐渐缩小，集气
罩内底部的滞尘挡板上的通孔上方加工斜角。
[0009]所述集尘罐内设有多块竖直设置的减速板，减速板下方的集尘罐内安装有水平设置的滤网板，所述排气管与集尘罐一端连接，集成管另一端通过管道与多级过滤器连接。
[0010]所述多级过滤器包括过滤箱，过滤箱一侧顶部设有与所述过滤箱内底部竖直安装有多块分隔板，分隔板靠近管道一端的上方的过滤箱内连接有滤尘网，相邻分隔板之间设有纯水或稀硫酸溶液，相邻分隔板上方的过滤箱内设有伸入隔板下部的导流板，所述导流板内安装有供液管，供液管底部连接有置于分隔板一侧的液泵，供液管两侧的导流板上安装有喷淋头，所述液泵一侧的过滤箱上安装有补充纯水或稀硫酸溶液的进液管和排液管。
[0011]所述供气管、排气管和管道内均安装有气泵。
[0012]本专利技术提供的外延片加工用尾气处理器具有的有益效果是：
[0013](1)通过设置供气装置和吸气装置，可利用供气装置吹出的空气和由吸气装置吸走，从而实现气体的循环，用于将外延片加工时产生的尾气吸出，并通过过滤系统对尾气进行过滤，同时过滤后的气体可再次传入供气装置，以实现尾气的连续处理；
[0014](2)通过在供气装置上设置多个万向喷气嘴，多个万向喷气嘴通过角度调节装置可对喷出气体的方向进行控制，从而保证喷出的气体吹动尾气流动的同时，不会影响外延片的正常加工，以保证外延片正常切割；
[0015](3)通过在吸气装置的集气罩内安装滞尘挡板，利用滞尘挡板上的通孔可保证尾气能从多个方向吸入集气罩内，同时滞尘挡板上的通孔尺寸朝向排气管逐渐减小，可保证每个通孔内的吸力一致，从而保证尾气的吸附效率；
[0016](4)通过设置多级过滤器，可保证尾气能顺利的进行多次净化，以保证过滤效果，使过滤后的气体可再次循环使用。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1为本专利技术实施例提供的结构示意图。
[0019]图2为本专利技术实施例提供的支撑板的内部结构示意图。
[0020]图3为本专利技术实施例提供的万向喷气嘴的内部结构示意图。
[0021]图4为本专利技术实施例提供的供气装置与吸气装置的安装示意图。
[0022]图5为本专利技术实施例提供的过滤系统的结构示意图。
[0023]附图标记：1、供气装置；11、支撑板；12、万向喷气嘴；121、支撑座；122、导流嘴；123、通口；124、支撑轴；13、角度调节装置；131、横向连接杆；132、纵向连接杆；133、气缸；134、传动杆；2、吸气装置；21、集气罩；22、排气管；23、滞尘挡板；231、通孔；232、斜角；3、过滤系统；31、集尘罐；311、减速板；312、滤网板；313、管道；32、多级过滤器；321、过滤箱；322、分隔板；323、滤尘网；324、导流板；325、供液管；326、液泵；327、喷淋头；328、进液管；329、排液管；33、储气罐；34、供气管；35、气泵。
具体实施方式
[0024]实施例
[0025]如图1～图5所示，本实施例提供的外延片加工用尾气处理器包括供气装置1、吸气装置2和过滤系统3，所述供气装置1与吸气装置2相对安装在外延片切割机外壳的侧壁上，外延片生产是在充满保护气的环境中进行切割，保护气通常为氮气，同时会产生含氨废气，供气装置1提供的氮气，供气装置1与吸气装置2循环送料和出料利用流动的氮气将含氨废气吹出外延片的加工空间进入过滤系统3进行过滤，从而防止尾气影响外延片的切割，过滤系统3对含氨废气进行过滤，滤出的氮气再次循环进入供气装置1，以减少氮气的用量，节省生产成本。所述供气装置1包括支撑板11和多个万向喷气嘴12，所述支撑板11中空，中空的支撑板11构成保护气的中转，保护气在支撑板11内从多个万向喷气嘴12喷出，多个万向喷气嘴12安装在靠近吸气装置2一侧的支撑板11上，所述万向喷气嘴12包括支撑座121和安装在支撑座121上的导流嘴122，所述支撑座121呈中空的球形，所述支撑座121可转动的安装在支撑板11上，由于支撑座121为球形结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外延片加工用尾气处理器，其特征在于：包括供气装置、吸气装置和过滤系统，所述供气装置与吸气装置相对安装在外延片切割机外壳的侧壁上，所述供气装置包括支撑板和多个万向喷气嘴，所述支撑板中空，多个万向喷气嘴安装在靠近吸气装置一侧的支撑板上，所述支撑板上的万向喷气嘴沿支撑板的横向中线和纵向中线分隔成四个区域，每个区域的支撑板上均设有调节万向喷气嘴出口方向的角度调节装置，所述吸气装置包括集气罩，所述集气罩呈U型，U型的集气罩开口朝向支撑板，并延伸至支撑板的侧壁上，所述集气罩外壁底部设有与过滤系统连接的排气管，所述过滤系统包括集尘罐、多级过滤器和储气罐，所述储气罐通过供气管与支撑板连通。2.根据权利要求1所述的外延片加工用尾气处理器，其特征在于：所述万向喷气嘴包括支撑座和安装在支撑座上的导流嘴，所述支撑座呈中空的球形，所述支撑座可转动的安装在支撑板上，支撑座远离导流嘴一端加工有与支撑板连通的通口，支撑座内壁上安装有与导流嘴中线对齐的支撑轴，且支撑轴从通口伸入中空的支撑板内。3.根据权利要求2所述的外延片加工用尾气处理器，其特征在于：所述角度调节装置安装在支撑板四角，每个角度调节装置包括横向连接杆、纵向连接杆和气缸，多根横向连接杆和纵向连接杆交错设置，且与对应区域内的支撑轴连接，多根横向连接杆靠近支撑板的一端和多根纵向连接杆靠近支撑板的一端分别安装有传动杆，所述气...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴勇，
申请(专利权)人：四川雅吉芯电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：