一种用于单晶炉的废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于单晶炉的废气处理装置，包括底座，所述底座的内壁两侧均固定安装有滑轨，且滑轨的数量有两个，两个所述滑轨的外壁且位于底座的内部安装有收集盒。本实用新型专利技术提供的一种用于单晶炉的废气处理装置，本废气处理装置增设有过滤组件和循环机构，电机转动输出轴带动叶轮将水甩入连接管进入进水管输送到喷淋架中通过喷头对气体进行喷淋，将气体中的有害颗粒通过水击入外壳的内部，从而对气体进行净化，并且水和颗粒掉入外壳内部后通过多个滤芯过滤灰尘，同时沉淀的污水流入到收集盒的内部，这样的设计对水进行简单的过滤，对污水进行了处理，还对单晶炉气体水循环喷淋，同时净化了有害气体，还有效地节省水资源。源。源。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶炉的废气处理装置


[0001]本技术涉及废气处理
，尤其涉及一种用于单晶炉的废气处理装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉在工作中需要使用到废气处理装置对气体进行过滤排出，一般的废气处理都采用催化燃烧，但是当废气中含有灰尘时就需要使用到布水喷洒的方式来对废气进行预先处理。
[0003]目前市场上的大部分废气处理装置在工作中存在不具备水循环喷淋的功能和不具备污水过滤的功能，从而容易导致对废气使用水喷淋净化时造成水资源的大量浪费不能对污水进行简单的处理造成污水污染的问题。
[0004]因此，有必要提供一种用于单晶炉的废气处理装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种用于单晶炉的废气处理装置，解决了大部分废气处理装置在工作中存在不具备水循环喷淋的功能和不具备污水过滤的功能，从而容易导致对废气使用水喷淋净化时造成水资源的大量浪费不能对污水进行简单的处理造成污水污染的问题。<br/>[0006]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的废气处理装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的内壁两侧均固定安装有滑轨(2)，且滑轨(2)的数量有两个，两个所述滑轨(2)的外壁且位于底座(1)的内部安装有收集盒(3)，所述收集盒(3)的两侧外壁均开设有与两个所述滑轨(2)相适配的滑槽(4)，所述收集盒(3)通过两个所述滑轨(2)和滑槽(4)的配合与底座(1)滑动安装，所述收集盒(3)的一端外壁穿插连接有拉环(5)，所述底座(1)的上表面安装有过滤组件(6)，所述过滤组件(6)的一侧且位于底座(1)的上表面安装有循环机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的废气处理装置，其特征在于，所述过滤组件(6)包括固定连接于底座(1)上表面的底盘(61)，所述底盘(61)的上表面固定有外壳(62)，所述外壳(62)的内部放置有滤板(63)。3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉的废气处理装置，其特征在于，所述滤板(63)的上表面轴心处螺纹连接有连接杆(64)，所述连接杆(64)的顶端外壁固定有多个滤芯(65)，多个所述滤芯(65)的外壁同步固定连接有环型架(66)。4.根据权利要求3所述的一种用于单晶炉的废气处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄松云，
申请(专利权)人：四川雅吉芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：