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本实用新型提供一种用于单晶炉的废气处理装置，包括底座，所述底座的内壁两侧均固定安装有滑轨，且滑轨的数量有两个，两个所述滑轨的外壁且位于底座的内部安装有收集盒。本实用新型提供的一种用于单晶炉的废气处理装置，本废气处理装置增设有过滤组件和循环机...
该专利属于四川雅吉芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川雅吉芯电子科技有限公司授权不得商用。

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