一种与AGV对接的晶圆花篮输送机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种与AGV对接的晶圆花篮输送机，包括用于搬运外部花篮的AGV小车，以及与AGV小车顺序连接的AGV上料花篮流道、平移运动机构、上料提升机花篮缓存流道、上料提升机、上料机构、空花篮内循环流道、下料提升机、下料机构、下料提升机花篮缓存流道以及用于将下料提升机花篮缓存流道输送过来的花篮进行输送的AGV下料花篮流道，其中所述AGV下料花篮流道的另一端与AGV小车对接输送。因此通过上述结构实现空花篮通过内循环流道直接流到下料提升机，免除了AGV小车搬运空花篮的步骤。

【技术实现步骤摘要】
一种与AGV对接的晶圆花篮输送机
本技术涉及一种吸盘的
，特别涉及一种与AGV对接的晶圆花篮输送机。
技术介绍
近年来，随着科技的进步，二极管芯片晶圆的制程亦不断精进，为了有效保证晶圆产品的良率，业者往往会于后段制程中，以点测装置将电压准确地传送至晶圆上的每个二极管芯片，并藉由侦测该晶圆上的二极管芯片的漏电与耐压等电性能，以判断出晶圆上每一芯片的优劣，每片二极管晶圆平均有数千颗或更多的芯片，单针或者少针机台在晶圆测试过程中的机械位移步数多、耗时长，导致测试产率低下，因此有了二极管晶圆测试设备，但是在二极管晶圆测试设备中需要对晶圆花篮进行运输，但是目前的运输结构复杂，效率低，故此需要改进。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种与AGV对接的晶圆花篮输送机，以解决上述
技术介绍
中提出的结构复杂、效率低的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种与AGV对接的晶圆花篮输送机，包括相互连接的以下设备：一个用于搬运外部花篮的AGV小车；用于从AGV小车上获取上料花篮并进行传输的AGV上料花篮流道；用于与AGV上料花篮流道另一端连接并用于传输花篮的平移运动机构；用于将平移运动机构输送过来的花篮进行传输的上料提升机花篮缓存流道；用于将上料提升机花篮缓存流道输送过来的花篮进行提升的上料提升机；用于将上料提升机输送过来的花篮内的晶圆全部抽空的上料机构；用于将上料机构中输送过来的空花篮进行输送的空花篮内循环流道；用于将空花篮内循环流道中输送过来的空花篮进行输送并提升的下料提升机；用于将下料提升机传输过来的空花篮内装入晶圆的下料机构；用于将从下料机构中输出并装满晶圆的花篮进行输送的下料提升机花篮缓存流道；用于将下料提升机花篮缓存流道输送过来的花篮进行输送的AGV下料花篮流道，其中所述AGV下料花篮流道的另一端与AGV小车对接输送。进一步，还包括与外部搬运花篮的AGV小车对接的操作界面。进一步，所述的AGV上料花篮流道、平移运动机构、上料提升机花篮缓存流道、上料提升机、上料机构、空花篮内循环流道、下料提升机、下料机构、下料提升机花篮缓存流道、AGV下料花篮流道均置于一个安装架内。进一步，所述安装架外设置有安全门。进一步，所述的安全门的上方设置有透气孔。本技术得到的一种与AGV对接的晶圆花篮输送机的具有以下技术效果：实现空花篮通过内循环流道直接流到下料提升机，免除了AGV小车搬运空花篮的步骤，AGV小车的利用率提高了50%，最终结构简单、效率高。附图说明图1是本实施例1中一种与AGV对接的晶圆花篮输送机的立体图；图2是本实施例1中一种与AGV对接的晶圆花篮输送机的俯视图；图3是图2中的A-A的剖视图；图4是本实施例1中安装架内部各个设备的流程工序示意图。图中：AGV小车1、AGV上料花篮流道2、平移运动机构3、上料提升机花篮缓存流道4、上料提升机5、上料机构6、空花篮内循环流道7、下料提升机8、下料机构9、下料提升机花篮缓存流道10、AGV下料花篮流道11、操作界面12、安装架13、安全门14、透气孔15。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例1：如图1-4所示，本实施例提供了一种与AGV对接的晶圆花篮输送机，包括相互连接的以下设备：一个用于搬运外部花篮的AGV小车1；用于从AGV小车1上获取上料花篮并进行传输的AGV上料花篮流道2；用于与AGV上料花篮流道2另一端连接并用于传输花篮的平移运动机构3；用于将平移运动机构3输送过来的花篮进行传输的上料提升机花篮缓存流道4；用于将上料提升机花篮缓存流道4输送过来的花篮进行提升的上料提升机5；用于将上料提升机5输送过来的花篮内的晶圆全部抽空的上料机构6；用于将上料机构6中输送过来的空花篮进行输送的空花篮内循环流道7；用于将空花篮内循环流道7中输送过来的空花篮进行输送并提升的下料提升机8；用于将下料提升机8传输过来的空花篮内装入晶圆的下料机构9；用于将从下料机构9中输出并装满晶圆的花篮进行输送的下料提升机花篮缓存流道10；用于将下料提升机花篮缓存流道10输送过来的花篮进行输送的AGV下料花篮流道11，其中所述AGV下料花篮流道11的另一端与AGV小车1对接输送。进一步，还包括与外部搬运花篮的AGV小车1对接的操作界面12。进一步，所述的AGV上料花篮流道2、平移运动机构3、上料提升机花篮缓存流道4、上料提升机5、上料机构6、空花篮内循环流道7、下料提升机8、下料机构9、下料提升机花篮缓存流道10、AGV下料花篮流道11均置于一个安装架13内。进一步，所述安装架13外设置有安全门14。进一步，所述的安全门14的上方设置有透气孔15。本结构的工作原理：首先花篮输送机与外部搬运花篮的AGV小车1对接，上料花篮从AGV小车1流入到AGV上料花篮流道2；平移运动机构3把上料花篮平移至上料提升机5花篮缓存流道4；上料花篮载入上料提升机5，上料机构6把花篮中的晶圆全部抽空；空花篮从上料提升机5移动至空花篮内循环流道7；空花篮从内循环流道载入下料提升机8；下料机构9把晶圆填满花篮，填满的花篮从下料提升机8移动至下料提升机花篮缓存流道10；再移动至AGV下料花篮流道11；最终将花篮流入AGV小车1，因此通过上述结构实现空花篮通过内循环流道直接流到下料提升机8，免除了AGV小车1搬运空花篮的步骤，AGV小车1的利用率提高了50%，最终结构简单、效率高，同时花篮输送机与外部搬运花篮的AGV小车1对接后，分上下两层同步完成上料花篮流入与下料花篮留出输送机的传输工作，本结构实现了晶圆花篮的高效搬运，大大提升了工厂智能化生产AGV小车1的利用率。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种与AGV对接的晶圆花篮输送机，其特征在于：包括相互连接的以下设备：/n一个用于搬运外部花篮的AGV小车（1）；/n用于从AGV小车（1）上获取上料花篮并进行传输的AGV上料花篮流道（2）；/n用于与AGV上料花篮流道（2）另一端连接并用于传输花篮的平移运动机构（3）；/n用于将平移运动机构（3）输送过来的花篮进行传输的上料提升机花篮缓存流道（4）；/n用于将上料提升机花篮缓存流道（4）输送过来的花篮进行提升的上料提升机（5）；/n用于将上料提升机（5）输送过来的花篮内的晶圆全部抽空的上料机构（6）；/n用于将上料机构（6）中输送过来的空花篮进行输送的空花篮内循环流道（7）；/n用于将空花篮内循环流道（7）中输送过来的空花篮进行输送并提升的下料提升机（8）；/n用于将下料提升机（8）传输过来的空花篮内装入晶圆的下料机构（9）；/n用于将从下料机构（9）中输出并装满晶圆的花篮进行输送的下料提升机花篮缓存流道（10）；/n用于将下料提升机花篮缓存流道（10）输送过来的花篮进行输送的AGV下料花篮流道（11），其中所述AGV下料花篮流道（11）的另一端与AGV小车（1）对接输送。/n

【技术特征摘要】
1.一种与AGV对接的晶圆花篮输送机，其特征在于：包括相互连接的以下设备：
一个用于搬运外部花篮的AGV小车（1）；
用于从AGV小车（1）上获取上料花篮并进行传输的AGV上料花篮流道（2）；
用于与AGV上料花篮流道（2）另一端连接并用于传输花篮的平移运动机构（3）；
用于将平移运动机构（3）输送过来的花篮进行传输的上料提升机花篮缓存流道（4）；
用于将上料提升机花篮缓存流道（4）输送过来的花篮进行提升的上料提升机（5）；
用于将上料提升机（5）输送过来的花篮内的晶圆全部抽空的上料机构（6）；
用于将上料机构（6）中输送过来的空花篮进行输送的空花篮内循环流道（7）；
用于将空花篮内循环流道（7）中输送过来的空花篮进行输送并提升的下料提升机（8）；
用于将下料提升机（8）传输过来的空花篮内装入晶圆的下料机构（9）；
用于将从下料机构（9）中输出并装满晶圆的花篮进行输送的下料提升机花篮缓存流道（10）；
用于将下料提升机花篮缓存流道（10）...

【专利技术属性】
技术研发人员：王敏，
申请(专利权)人：常州雷射激光设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32