一种卡塞包装一体化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种卡塞包装一体化装置，包括：机械手，机械手上设置有第一光感定位装置；卡塞内放置有晶圆，卡塞的顶端设置有第二光感定位装置，卡塞的底端设置有第三光感定位装置；盒底盖，盒底盖上设置有第四光感定位装置，当第一光感定位装置与第二光感定位装置定位后，机械手抓取卡塞，使得第三光感定位装置与第四光感定位装置定位后，将卡塞放置在盒底盖上；倾斜平台，倾斜平台上设置有固定位，机械手将放置有卡塞的盒底盖放置在固定位上，倾斜平台上设置有第五光感定位装置；盒顶盖，盒顶盖上设置有第六光感定位装置，机械手抓取盒顶盖，使得第五光感定位装置与第六光感定位装置定位后，将盒顶盖盖合完成卡塞包装，实现自动卡塞包装。

【技术实现步骤摘要】
一种卡塞包装一体化装置
本技术涉及晶圆封装装置
，尤其涉及一种卡塞包装一体化装置。
技术介绍
晶圆产品经过加工、清洗、测试，满足工业投入应用的要求。晶圆制造商需要将晶圆进行洁净封装，但手动封装过程中会造成晶圆污染、划伤等不良缺陷，降低晶圆品质。并且，在晶圆包装领域，成熟的卡塞包装一体化设备欠缺，这部分人为操作会增加晶圆被污染的风险，同时人为的不稳定性会造成晶圆划伤等风险。因此，如何提供一种卡塞包装一体化装置，以实现自动卡塞包装，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种卡塞包装一体化装置，以实现自动卡塞包装。为了达到上述目的，本技术提供如下技术方案：一种卡塞包装一体化装置，包括：机械手，所述机械手上设置有第一光感定位装置；卡塞，所述卡塞内放置有晶圆，所述卡塞的顶端设置有第二光感定位装置，所述卡塞的底端设置有第三光感定位装置；盒底盖，所述盒底盖上设置有第四光感定位装置，当所述第一光感定位装置与所述第二光感定位装置定位后，所述机械手抓取所述卡塞，使得所述第三光感定位装置与所述第四光感定位装置定位后，将所述卡塞放置在所述盒底盖上；倾斜平台，所述倾斜平台上设置有固定位，所述机械手将放置有所述卡塞的所述盒底盖放置在所述固定位上，所述倾斜平台上设置有第五光感定位装置；盒顶盖，所述盒顶盖上设置有第六光感定位装置，所述机械手抓取所述盒顶盖，使得所述第五光感定位装置与所述第六光感定位装置定位后，将所述盒顶盖盖合完成卡塞包装。优选的，上述的卡塞包装一体化装置，还包括：激光发射装置，所述激光发射装置朝向位于所述倾斜平台上的所述卡塞中的所述晶圆发射激光；信号接收装置，所述信号接收装置接收从所述晶圆中反射回来的激光并生成数据；信号处理装置和显示屏，所述信号处理装置接收从所述信号接收装置传输过来的数据并处理后生成图像传递到所述显示屏上。优选的，上述信号处理装置和显示屏为电脑。优选的，上述第一光感定位装置、所述第二光感定位装置、所述第三光感定位装置、所述第四光感定位装置、所述第五光感定位装置和所述第六光感定位装置均为红外定位装置。优选的，上述第五光感定位装置为红外传感接收器，所述第六光感定位装置为红外发射装置。优选的，上述倾斜平台的倾斜角度为5°或者10°或者15°。优选的，上述的卡塞包装一体化装置还包括无尘罩壳，所述机械手、所述盒底盖、所述盒顶盖和所述倾斜平台均内置于所述无尘罩壳中，所述卡塞放置在所述无尘罩壳的入料口，完成后卡塞包装被所述机械手抓取放置在所述无尘罩壳的出料口。优选的，上述无尘罩壳内设置有过滤装置。本技术提供的卡塞包装一体化装置，包括：机械手，所述机械手上设置有第一光感定位装置；卡塞，所述卡塞内放置有晶圆，所述卡塞的顶端设置有第二光感定位装置，所述卡塞的底端设置有第三光感定位装置；盒底盖，所述盒底盖上设置有第四光感定位装置，当所述第一光感定位装置与所述第二光感定位装置定位后，所述机械手抓取所述卡塞，使得所述第三光感定位装置与所述第四光感定位装置定位后，将所述卡塞放置在所述盒底盖上；倾斜平台，所述倾斜平台上设置有固定位，所述机械手将放置有所述卡塞的所述盒底盖放置在所述固定位上，所述倾斜平台上设置有第五光感定位装置；盒顶盖，所述盒顶盖上设置有第六光感定位装置，所述机械手抓取所述盒顶盖，使得所述第五光感定位装置与所述第六光感定位装置定位后，将所述盒顶盖盖合完成卡塞包装。使用时，卡塞承装目标晶圆后，卡塞、盒底盖、盒顶盖均放置在各自的指定位置，本技术提供的卡塞包装一体化装置开始自动执行操作，机械手抓取卡塞，使得第三光感定位装置与第四光感定位装置定位后，将卡塞放置在盒底盖上，然后机械手将放置有卡塞的盒底盖放置在倾斜平台的倾斜的固定位上，最后机械手抓取盒顶盖，使得第五光感定位装置与第六光感定位装置定位后，将盒顶盖盖合完成卡塞包装，完成卡塞扣合后，机械手夹取完成包装的卡塞至出口位置，人员在出口处将包装好的卡塞取下，卡塞完成包装。从而实现自动卡塞包装。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的盛放晶圆的卡塞放置在指定位置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的机械手抓取卡塞放置在盒底盖内的结构示意图；图3为本技术实施例提供的盒底盖及卡塞放置在倾斜平台上以及激光发射并接收操作的结构示意图；图4为本技术实施例提供的盒顶盖定位的结构示意图；图5为本技术实施例提供的机械手抓取盒顶盖并扣合的结构示意图；图6为本技术实施例提供的机械手完成扣合包装的结构示意图；图7为本技术实施例提供的完成包装的卡塞盒的结构示意图；图8为本技术实施例提供的入料口、卡塞、盒顶盖、盒底盖、出料口和倾斜平台的相对位置示意图。上图1-8中：机械手1、卡塞2、盒底盖3、盒顶盖4、倾斜平台5、激光发射装置6、信号接收装置7、电脑8、红外传感接收器9、入料口10、出料口11。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参考图1至图8，图1为本技术实施例提供的盛放晶圆的卡塞放置在指定位置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的机械手抓取卡塞放置在盒底盖内的结构示意图；图3为本技术实施例提供的盒底盖及卡塞放置在倾斜平台上以及激光发射并接收操作的结构示意图；图4为本技术实施例提供的盒顶盖定位的结构示意图；图5为本技术实施例提供的机械手抓取盒顶盖并扣合的结构示意图；图6为本技术实施例提供的机械手完成扣合包装的结构示意图；图7为本技术实施例提供的完成包装的卡塞盒的结构示意图；图8为本技术实施例提供的入料口、卡塞、盒顶盖、盒底盖、出料口和倾斜平台的相对位置示意图。本技术提供的卡塞包装一体化装置，包括：机械手1，机械手1上设置有第一光感定位装置；卡塞2，卡塞2内放置有晶圆，卡塞2的顶端设置有第二光感定位装置，卡塞2的底端设置有第三光感定位装置；盒底盖3，盒底盖3上设置有第四光感定位装置，当第一光感定位装置与第二光感定位装置定位后，机械手1抓取卡塞2，如图1所示，使得第三光感定位装置与第四光感定位装置定位后，将卡塞本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卡塞包装一体化装置，其特征在于，包括：/n机械手，所述机械手上设置有第一光感定位装置；/n卡塞，所述卡塞内放置有晶圆，所述卡塞的顶端设置有第二光感定位装置，所述卡塞的底端设置有第三光感定位装置；/n盒底盖，所述盒底盖上设置有第四光感定位装置，当所述第一光感定位装置与所述第二光感定位装置定位后，所述机械手抓取所述卡塞，使得所述第三光感定位装置与所述第四光感定位装置定位后，将所述卡塞放置在所述盒底盖上；/n倾斜平台，所述倾斜平台上设置有固定位，所述机械手将放置有所述卡塞的所述盒底盖放置在所述固定位上，所述倾斜平台上设置有第五光感定位装置；/n盒顶盖，所述盒顶盖上设置有第六光感定位装置，所述机械手抓取所述盒顶盖，使得所述第五光感定位装置与所述第六光感定位装置定位后，将所述盒顶盖盖合完成卡塞包装。/n

【技术特征摘要】
1.一种卡塞包装一体化装置，其特征在于，包括：
机械手，所述机械手上设置有第一光感定位装置；
卡塞，所述卡塞内放置有晶圆，所述卡塞的顶端设置有第二光感定位装置，所述卡塞的底端设置有第三光感定位装置；
盒底盖，所述盒底盖上设置有第四光感定位装置，当所述第一光感定位装置与所述第二光感定位装置定位后，所述机械手抓取所述卡塞，使得所述第三光感定位装置与所述第四光感定位装置定位后，将所述卡塞放置在所述盒底盖上；
倾斜平台，所述倾斜平台上设置有固定位，所述机械手将放置有所述卡塞的所述盒底盖放置在所述固定位上，所述倾斜平台上设置有第五光感定位装置；
盒顶盖，所述盒顶盖上设置有第六光感定位装置，所述机械手抓取所述盒顶盖，使得所述第五光感定位装置与所述第六光感定位装置定位后，将所述盒顶盖盖合完成卡塞包装。


2.根据权利要求1所述的卡塞包装一体化装置，其特征在于，还包括：
激光发射装置，所述激光发射装置朝向位于所述倾斜平台上的所述卡塞中的所述晶圆发射激光；
信号接收装置，所述信号接收装置接收从所述晶圆中反射回来的激光并生成数据；
信号处理装置和显示屏，所述信号处理装置接收从所述信号接收装置传输过来...

【专利技术属性】
技术研发人员：李秀丽，张平，邹宇，
申请(专利权)人：江苏天科合达半导体有限公司，北京天科合达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32