本实用新型专利技术公开了一种晶圆生产加工专用蚀刻装置，包括蚀刻机体，所述蚀刻机体的顶部固定装设有蚀刻箱体，所述蚀刻箱体的顶部固定装设有集线箱，所述集线箱上装设有工作按键，所述蚀刻机体的顶部另一侧前表面固定装设有蚀刻管道，所述蚀刻管道上连接装设有监测表，所述蚀刻机体的顶部另一侧后表面固定装设有电机；在该装置的集线箱表面装设有滑盖，通过滑盖对工作按键进行防护，防止该设备工作时误触碰到工作按键，改变该装置的工作状态，导致装置停止工作，在该装置的箱盖一侧连接装设有连杆，当该装置在生产加工时，箱盖可通过连杆保持水平状态，防止箱盖放下时与蚀刻机体产生磕碰，保证箱盖连接的稳定性，提高了该装置的实用性。实用性。实用性。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆生产加工专用蚀刻装置
[0001]本技术属于蚀刻机
，具体涉及一种晶圆生产加工专用蚀刻装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。也可对各种金属如：铁、铜、铝、钛金、不锈钢、锌版、等金属和金属制品的表面蚀刻图纹、花纹、几何形状，并能精确镂空，如今广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。
[0003]现有的晶圆生产加工专用蚀刻装置，通常在晶圆加工过程中会使用到蚀刻机，使用该装置进行精细的蚀刻，当使用该装置蚀刻晶圆时，由于该装置上装设有集线箱，且在集线箱上装设有按键，当使用该装置工作时，若不小心触碰到按键，容易改变该装置的工作状态，导致装置停止工作，影响该装置的实用性的问题，为此我们提出一种晶圆生产加工专用蚀刻装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆生产加工专用蚀刻装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的晶圆生产加工专用蚀刻装置，通常在晶圆加工过程中会使用到蚀刻机，使用该装置进行精细的蚀刻，当使用该装置蚀刻晶圆时，由于该装置上装设有集线箱，且在集线箱上装设有按键，当使用该装置工作时，若不小心触碰到按键，容易改变该装置的工作状态，导致装置停止工作，影响该装置的实用性的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆生产加工专用蚀刻装置，包括蚀刻机体，所述蚀刻机体的顶部固定装设有蚀刻箱体，所述蚀刻箱体的顶部固定装设有集线箱，所述集线箱上装设有工作按键，所述蚀刻机体的顶部另一侧前表面固定装设有蚀刻管道，所述蚀刻管道上连接装设有监测表，所述蚀刻机体的顶部另一侧后表面固定装设有电机，所述集线箱的前表面连接装设有滑盖，所述滑盖的两侧边缘处开设有一体式的限位凸起，所述集线箱的内侧边缘处开设有滑槽，所述滑槽的一端转动装设有转轮，所述滑盖通过滑槽滑动装设在集线箱上。
[0006]优选的，所述蚀刻箱体的前表面转动装设有箱盖，所述箱盖的内侧连接装设有连杆，所述连杆上开设有导槽，所述蚀刻箱体的内表面两侧开设有一体式的限位杆，所述箱盖通过连杆安装在限位杆。
[0007]优选的，所述连杆为弧形结构。
[0008]优选的，所述箱盖的内侧两端对称装设有两个所述连杆，所述箱盖通过两个连杆进行连接装设。
[0009]优选的，所述滑盖与集线箱通过转轮与限位凸起进行卡设安装。
[0010]优选的，所述蚀刻箱体的内侧装设有蚀刻喷头，所述蚀刻管道的一端与蚀刻箱体内侧的蚀刻喷头连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]（1）该装置在使用时，在该装置的集线箱表面装设有滑盖，且滑盖通过滑动装设，当使用该装置工作时，当设备启动后可将滑盖盖设在集线箱的表面，通过滑盖对工作按键进行防护，防止该设备工作时误触碰到工作按键，改变该装置的工作状态，导致装置停止工作，提高了该装置的实用性；
[0013]（2）在该装置的箱盖一侧连接装设有连杆，当该装置在生产加工时，若打开箱盖，箱盖可通过连杆保持水平状态，防止箱盖放下时与蚀刻机体产生磕碰，保证箱盖连接的稳定性，提高了该装置的实用性。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术滑盖与按键箱连接处的放大结构示意图；
[0016]图3为本技术蚀刻箱体的左视截面结构示意图；
[0017]图中：1、蚀刻机体；2、蚀刻箱体；3、箱盖；4、滑盖；5、集线箱；6、工作按键；7、监测表；8、蚀刻管道；9、电机；10、滑槽；11、转轮；12、限位凸起；13、连杆；14、导槽；15、限位杆。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1、图2和图3，本技术提供一种技术方案：一种晶圆生产加工专用蚀刻装置，包括蚀刻机体1，蚀刻机体1的顶部固定装设有蚀刻箱体2，蚀刻箱体2的顶部固定装设有集线箱5，集线箱5上装设有工作按键6，蚀刻机体1的顶部另一侧前表面固定装设有蚀刻管道8，蚀刻管道8上连接装设有监测表7，蚀刻机体1的顶部另一侧后表面固定装设有电机9，集线箱5的前表面连接装设有滑盖4，滑盖4的两侧边缘处开设有一体式的限位凸起12，集线箱5的内侧边缘处开设有滑槽10，滑槽10的一端转动装设有转轮11，滑盖4通过滑槽10滑动装设在集线箱5上，设备启动后可将滑盖4盖设在集线箱5的表面，通过滑盖4对工作按键6进行防护，防止该设备工作时误触碰到工作按键6，改变该装置的工作状态，导致装置停止工作。
[0020]为了更好的进行使用，本实施例中，优选的，蚀刻箱体2的前表面转动装设有箱盖3，箱盖3的内侧连接装设有连杆13，连杆13上开设有导槽14，蚀刻箱体2的内表面两侧开设有一体式的限位杆15，箱盖3通过连杆13安装在限位杆15，保证安装的箱盖3的稳定性，为了
更好的连接，本实施例中，优选的，连杆13为弧形结构，方便箱盖3进行开合，为了更稳定的连接，本实施例中，优选的，箱盖3的内侧两端对称装设有两个连杆13，箱盖3通过两个连杆13进行连接装设，提高箱盖3的稳定性，为了更好的安装滑盖4，本实施例中，优选的，滑盖4与集线箱5通过转轮11与限位凸起12进行卡设安装，防止滑盖4自动开合，为了更好的进行蚀刻，本实施例中，优选的，蚀刻箱体2的内侧装设有蚀刻喷头，蚀刻管道8的一端与蚀刻箱体2内侧的蚀刻喷头连接。
[0021]本技术的工作原理及使用流程：该装置在使用时，在该装置的集线箱5表面装设有滑盖4，且滑盖4滑动装设集线箱5内侧开设的滑槽10内，当使用该装置工作时，设备启动后可将滑盖4移动盖设在集线箱5的表面，移动至一端时滑盖4上的限位凸起12挤压转轮11，转轮11转动将限位凸起12移动卡设在一端，使用时拉动滑盖4，限位凸起12从限位的转轮11上移开，通过滑盖4可对工作按键6进行防护，防止该设备工作时误触碰到工作按键6，改变该装置的工作状态，导致装置停止工作，在该装置的箱盖3的内侧转动连接有连杆13，连杆13上开设有导槽14，连杆13通过导槽14限位装设在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆生产加工专用蚀刻装置，包括蚀刻机体（1），所述蚀刻机体（1）的顶部固定装设有蚀刻箱体（2），所述蚀刻箱体（2）的顶部固定装设有集线箱（5），所述集线箱（5）上装设有工作按键（6），所述蚀刻机体（1）的顶部另一侧前表面固定装设有蚀刻管道（8），所述蚀刻管道（8）上连接装设有监测表（7），所述蚀刻机体（1）的顶部另一侧后表面固定装设有电机（9），其特征在于：所述集线箱（5）的前表面连接装设有滑盖（4），所述滑盖（4）的两侧边缘处开设有一体式的限位凸起（12），所述集线箱（5）的内侧边缘处开设有滑槽（10），所述滑槽（10）的一端转动装设有转轮（11），所述滑盖（4）通过滑槽（10）滑动装设在集线箱（5）上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻箱体（2）的前表面转动装设有箱盖（3），所述箱盖（3）的内侧连...
【专利技术属性】
技术研发人员：李传银，
申请(专利权)人：苏州市永辰芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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