本实用新型专利技术公开了一种晶圆生产加工专用组装的固定装置，包括底座，所述底座的表面设有第一螺杆、固定板，所述固定板靠近底座表面的中间位置，所述第一螺杆的外侧套设有滑块，所述固定板上设有旋杆，所述旋杆的外侧设有转动环，所述旋杆的顶端设有固定块，所述固定块的顶部表面设有圆筒，所述圆筒的内部设有活塞，所述圆筒的顶部设有移动杆，所述移动杆的顶部侧面设有第二螺杆，所述固定块的侧面设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的另一端设有圆盘，所述圆盘的顶部表面设有筒柱；第一螺杆旋转适宜角度及滑块带动移动杆竖直移动，移动杆带动活塞移动及圆筒内部吸气，在压强作用下，晶圆稳定的吸附贴合在吸盘表面，便于固定晶圆。圆。圆。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆生产加工专用组装的固定装置
[0001]本技术属于晶圆加工固定装置
，具体涉及一种晶圆生产加工专用组装的固定装置。
技术介绍
[0002]晶圆是较为复杂、精密的器件，为确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，通常使用探针台测试晶圆，晶圆置于探针台上工作台的过程不够简便；
[0003]现有的使用探针台测试晶圆，晶圆置于探针台上工作台的过程不够方便的问题，为此我们提出一种晶圆生产加工专用组装的固定装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆生产加工专用组装的固定装置，以解决上述
技术介绍
中提出的使用探针台测试晶圆，晶圆置于探针台上工作台的过程不够方便的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆生产加工专用组装的固定装置，包括底座，所述底座的表面设有第一螺杆、固定板，所述固定板靠近底座表面的中间位置，所述第一螺杆的外侧套设有滑块，所述固定板上设有旋杆，所述旋杆的外侧设有转动环，所述旋杆的顶端设有固定块，所述固定块的顶部表面设有圆筒，所述圆筒的内部设有活塞，所述圆筒的顶部设有移动杆，所述移动杆的顶部侧面设有第二螺杆，所述固定块的侧面设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的另一端设有圆盘，所述圆盘的顶部表面设有筒柱，所述筒柱的顶部表面设有吸盘，所述圆筒的侧面设有第一通气口，所述筒柱面向第一通气口的侧面设有第二通气口，所述第一通气口与第二通气口之间设有通气管，所述筒柱的内部设有囊腔，所述吸盘的表面开设有气孔。
[0006]优选的，所述第一螺杆的底端与底座转动连接，所述滑块与第一螺杆通过螺纹旋合连接，所述第一螺杆的顶部设有手轮，所述第一螺杆靠近底座的边侧位置。
[0007]优选的，所述固定板上设有框槽与矩形槽，所述转动环位于框槽内及旋杆的端部位于矩形槽内，所述旋杆与固定板滑动连接，所述旋杆底端的外表面开设有外螺纹，所述转动环与旋杆通过螺纹旋合连接。
[0008]优选的，所述固定块与旋杆、固定块与电动伸缩杆、电动伸缩杆与圆盘均通过螺丝旋合连接，所述固定块与圆筒通过胶水粘接连接，所述滑块的侧面开设有螺孔，所述第二螺杆与螺孔配合。
[0009]优选的，所述圆筒的内部设有活动腔，所述移动杆包括方块端与柱端，所述柱端位于圆筒内部的端部为“T”型结构，所述移动杆柱端位于圆筒内的端部嵌入活塞内部，所述活塞外表面与圆筒内表面贴合，所述活塞由硅橡胶材料制造，所述第一通气口与圆筒内部连通。
[0010]优选的，所述圆盘底部设有海绵圈，所述第二通气口与囊腔连通，所述气孔与囊腔
连通。
[0011]优选的，所述吸盘由硅橡胶材料制造，所述通气管的两端分别套设在第一通气口、第二通气口的外侧，所述通气管由PVC材料制造。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1.通过设置的第一螺杆、滑块、圆筒、移动杆、第二螺杆、通气管、筒柱、吸盘，第一螺杆旋转适宜角度及滑块带动移动杆竖直移动，移动杆带动活塞移动及圆筒内部吸气，在压强作用下，晶圆稳定的吸附贴合在吸盘表面，便于固定晶圆。
[0014]2.通过设置的电动伸缩杆、圆盘，电动伸缩杆运行，电动伸缩杆水平延伸伸长或缩短，便于调节圆盘的位置，利于放置、收回吸盘上的晶圆。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图；
[0016]图2为本技术的圆筒剖视结构示意图；
[0017]图3为本技术的圆筒剖视结构示意图；
[0018]图4为本技术的吸盘俯视结构示意图；
[0019]图中：1、底座；2、第一螺杆；3、滑块；4、固定板；5、旋杆；6、转动环；7、固定块；8、圆筒；9、移动杆；10、第二螺杆；11、第一通气口；12、电动伸缩杆；13、圆盘；14、筒柱；15、吸盘；16、第二通气口；17、通气管；18、活塞；19、囊腔；20、气孔。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆生产加工专用组装的固定装置，包括底座1，底座1的表面设有第一螺杆2、固定板4，固定板4靠近底座1表面的中间位置，第一螺杆2的外侧套设有滑块3，固定板4上设有旋杆5，旋杆5的外侧设有转动环6，旋杆5的顶端设有固定块7，固定块7的顶部表面设有圆筒8，圆筒8的内部设有活塞18，圆筒8的顶部设有移动杆9，移动杆9的顶部侧面设有第二螺杆10，固定块7的侧面设有电动伸缩杆12，电动伸缩杆12的另一端设有圆盘13，圆盘13的顶部表面设有筒柱14，筒柱14的顶部表面设有吸盘15，圆筒8的侧面设有第一通气口11，筒柱14面向第一通气口11的侧面设有第二通气口16，第一通气口11与第二通气口16之间设有通气管17，筒柱14的内部设有囊腔19，吸盘15的表面开设有气孔20，把晶圆置于吸盘15上，将第一螺杆2旋转适宜角度，滑块3带动移动杆9竖直移动，移动杆9带动活塞18移动，圆筒8内部吸气，在压强作用下，晶圆稳定的吸附贴合在吸盘15表面，便于固定晶圆。
[0022]本实施例中，第一螺杆2的底端与底座1转动连接，滑块3与第一螺杆2通过螺纹旋合连接，第一螺杆2的顶部设有手轮，第一螺杆2靠近底座1的边侧位置，便于调节滑块3的高度位置。
[0023]本实施例中，固定板4上设有框槽与矩形槽，转动环6位于框槽内及旋杆5的端部位
于矩形槽内，旋杆5与固定板4滑动连接，旋杆5底端的外表面开设有外螺纹，转动环6与旋杆5通过螺纹旋合连接，固定块7与旋杆5、固定块7与电动伸缩杆12、电动伸缩杆12与圆盘13均通过螺丝旋合连接，固定块7与圆筒8通过胶水粘接连接，滑块3的侧面开设有螺孔，第二螺杆10与螺孔配合，便于调节固定块7的高度位置。
[0024]本实施例中，圆筒8的内部设有活动腔，移动杆9包括方块端与柱端，柱端位于圆筒8内部的端部为“T”型结构，移动杆9柱端位于圆筒8内的端部嵌入活塞18内部，活塞18外表面与圆筒8内表面贴合，活塞18由硅橡胶材料制造，第一通气口11与圆筒8内部连通，圆盘13底部设有海绵圈，第二通气口16与囊腔19连通，气孔20与囊腔19连通，吸盘15由硅橡胶材料制造，通气管17的两端分别套设在第一通气口11、第二通气口16的外侧，通气管17由PVC材料制造，将晶圆置于吸盘15上，旋转第一螺杆2适宜角度，滑块3带动移动杆9竖直移动，圆筒8内部吸气，在压强作用下，晶圆稳定的吸附贴合在吸盘15表面。
[0025]本技术的工作原理及使用流程：
[0026]在对生产加工的晶圆进行质量测试时，将第一螺杆2旋转至适宜角度，滑块3竖直移动，拨动转动环本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆生产加工专用组装的固定装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的表面设有第一螺杆（2）、固定板（4），所述固定板（4）靠近底座（1）表面的中间位置，所述第一螺杆（2）的外侧套设有滑块（3），所述固定板（4）上设有旋杆（5），所述旋杆（5）的外侧设有转动环（6），所述旋杆（5）的顶端设有固定块（7），所述固定块（7）的顶部表面设有圆筒（8），所述圆筒（8）的内部设有活塞（18），所述圆筒（8）的顶部设有移动杆（9），所述移动杆（9）的顶部侧面设有第二螺杆（10），所述固定块（7）的侧面设有电动伸缩杆（12），所述电动伸缩杆（12）的另一端设有圆盘（13），所述圆盘（13）的顶部表面设有筒柱（14），所述筒柱（14）的顶部表面设有吸盘（15），所述圆筒（8）的侧面设有第一通气口（11），所述筒柱（14）面向第一通气口（11）的侧面设有第二通气口（16），所述第一通气口（11）与第二通气口（16）之间设有通气管（17），所述筒柱（14）的内部设有囊腔（19），所述吸盘（15）的表面开设有气孔（20）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用组装的固定装置，其特征在于：所述第一螺杆（2）的底端与底座（1）转动连接，所述滑块（3）与第一螺杆（2）通过螺纹旋合连接，所述第一螺杆（2）的顶部设有手轮，所述第一螺杆（2）靠近底座（1）的边侧位置。3.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用组装的固定装置，其特征在于：所述固定板（4）上设有框槽与矩形...
【专利技术属性】
技术研发人员：李传银，
申请(专利权)人：苏州市永辰芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。