一种晶圆贴膜治具制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆贴膜治具，其结构包设有底板、基础板、固柱、贴附台、气缸动力机，基础板位于底板顶端，贴附台活动于基础板上方，气缸动力机连接在固柱的一侧，固柱嵌固安装在底板上，贴附台与气缸动力机相配合，由转卡环转动，会逐渐摩擦防尘装置并抵触产生卡位，使得侧摆架铰接着实底块向侧端摆向，扯接杆连着其内侧端并为其提供伸缩连接力，撑簧的撑力便于顶挡板可以灵活触压于口端道顶端两侧，起到防尘效果，侧摆架向两侧摆动时，带动气流变化，而有向两侧流通的气流力，利于尘质随气流向两侧活动，继而进入集口中。继而进入集口中。继而进入集口中。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆贴膜治具


[0001]本专利技术属于晶圆涂膜领域，更具体地说，尤其是涉及到一种晶圆贴膜治具。

技术介绍

[0002]贴膜治具作为贴膜时的重要辅助器具，在晶圆贴膜作业中，其协助控制贴膜的准确性，并循环做重制工作，重复多次不同晶圆的贴膜，代替了传统的手工操作，提高晶圆准确贴膜效率。
[0003]基于上述本专利技术人发现，现有的晶圆贴膜治具存在以下不足：
[0004]由于晶圆生产工艺中，表面带有尘质，在贴附装置重复升降进行贴膜作业中，需由承载晶圆的定位板块与其配合转动，使不同晶圆进行贴膜，而贴附压头随气缸动力机驱动升降过程中，会将晶圆表面的尘质向定位板块的转卡口吹，使尘质落入，造成定位板块在转动时，出现卡顿现象，影响晶圆贴膜作业的位置准确度。
[0005]因此需要提出一种晶圆贴膜治具。

技术实现思路

[0006]针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种晶圆贴膜治具，以解决现有技术的问题。
[0007]为了实现上述目的，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆贴膜治具，其结构包设有底板、基础板、固柱、贴附台、气缸动力机，所述基础板位于底板顶端，所述贴附台活动于基础板上方，所述气缸动力机连接在固柱的一侧，所述固柱嵌固安装在底板上，所述贴附台与气缸动力机相配合。
[0008]所述基础板设有撑台、定位卡块、转底、支撑脚，所述转底嵌入连接在撑台中端，所述定位卡块连接于转底上方且相配合，所述支撑脚嵌固连接在撑台下方。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，所述定位卡块设有整盘、卡口区、贴端面、转卡环、带转圈，所述卡口区嵌入安装在整盘内，所述贴端面与定位卡块为一体化结构，所述转卡环活动卡合于卡口区，所述带转圈连接在转卡环内侧且活动配合，所述转卡环在带转圈的带动下做有规律的转动，所述转卡环外侧与卡口区卡合的位置具有韧性。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，所述卡口区设有口端道、防尘装置，所述防尘装置活动安装在口端道下端且活动于其两侧端，所述防尘装置受下端力的作用，向两侧摆开。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，所述防尘装置设有中接块、实底块、扯接杆、顶防块、侧摆架，所述中接块安装在实底块之间，所述顶防块位于中接块前侧端，所述扯接杆铰接连接在中接块两侧，所述扯接杆一端与侧摆架相连接且活动配合，所述中接块具有伸缩性，所述顶防块呈弧状，且为橡胶材质，具有一定的柔韧性，所述扯接杆具有伸缩的弹性连接性质。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，所述侧摆架设有侧实板、前接板、集口、顶挡板、撑簧，所述前接板与侧实板为一体化结构且设在其前侧位置，所述集口嵌入安装在前接板的前侧端，所述顶挡板铰接连接在侧实板顶端，所述撑簧与侧实板、顶挡板内侧分别相连接且活动
配合，所述集口设有三个，所述撑簧的弹性力，对顶挡板起到撑弹效果。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，所述集口设有排腔径、侧限板、集尘腔，所述侧限板与排腔径为一体化结构且设在其上下端，所述集尘腔连接在排腔径后端且相贯通，所述排腔径口径由大到小，所述集尘腔呈圆球状。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，所述集尘腔设有球腔槽、导向门、粘带，所述球腔槽与集尘腔为一体化结构，所述导向门铰接连接在球腔槽前侧两端，所述粘带活动于球腔槽后侧，所述导向门进行单向摆动，所述粘带随气流力的作用而有所甩动。
[0015]与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：
[0016]1.由转卡环转动，会逐渐摩擦防尘装置并抵触产生卡位，使得侧摆架铰接着实底块向侧端摆向，扯接杆连着其内侧端并为其提供伸缩连接力，撑簧的撑力便于顶挡板可以灵活触压于口端道顶端两侧，起到防尘效果，侧摆架向两侧摆动时，带动气流变化，而有向两侧流通的气流力，利于尘质随气流向两侧活动，继而进入集口中。
[0017]2.通过排腔径的通透结构，且其外端口径大，便于尘质向集尘腔排入，由导向门的单向摆开方式，其受气压和尘质的压力，令球腔槽前端呈通口状态，方便尘质进入而被收集，不受气压力，导向门及时摆向而令球腔槽端口闭合，避免尘质反逸，由粘带具有粘性的特点，其向球腔槽内部甩，可将尘质粘带，从而更好的收集尘质。
附图说明
[0018]图1为本专利技术一种晶圆贴膜治具的结构示意图。
[0019]图2为本专利技术一种基础板的结构示意图。
[0020]图3为本专利技术一种定位卡块的结构示意图。
[0021]图4为本专利技术一种卡口区的结构示意图。
[0022]图5为本专利技术一种防尘装置的结构示意图。
[0023]图6为本专利技术一种侧摆架的结构示意图。
[0024]图7为本专利技术一种集口的结构示意图。
[0025]图8为本专利技术一种集尘腔的结构示意图。
[0026]图中：底板－1、基础板－2、固柱－3、贴附台－4、气缸动力机－5、撑台－21、定位卡块－22、转底－23、支撑脚－24、整盘－221、卡口区－222、贴端面－223、转卡环－224、带转圈－225、口端道－a1、防尘装置－a2、中接块－a21、实底块－a22、扯接杆－a23、顶防块－a24、侧摆架－a25、侧实板－b1，前接板－b2、集口－b3、顶挡板－b4、撑簧－b5、排腔径－b31、侧限板－b32、集尘腔－b33、球腔槽－c1、导向门－c2、粘带－c3。
具体实施方式
[0027]以下结合附图对本专利技术做进一步描述：
[0028]实施例1：
[0029]如附图1至附图6所示：
[0030]本专利技术提供一种晶圆贴膜治具，其结构包设有底板1、基础板2、固柱3、贴附台4、气缸动力机5，所述基础板2位于底板1顶端，所述贴附台4活动于基础板2上方，所述气缸动力机5连接在固柱3的一侧，所述固柱3嵌固安装在底板1上，所述贴附台4与气缸动力机5相配
合。
[0031]所述基础板2设有撑台21、定位卡块22、转底23、支撑脚24，所述转底23嵌入连接在撑台21中端，所述定位卡块22连接于转底23上方且相配合，所述支撑脚24嵌固连接在撑台21下方。
[0032]其中，所述定位卡块22设有整盘221、卡口区222、贴端面223、转卡环224、带转圈225，所述卡口区222嵌入安装在整盘221内，所述贴端面223与定位卡块22为一体化结构，所述转卡环224活动卡合于卡口区222，所述带转圈225连接在转卡环224内侧且活动配合，所述转卡环224在带转圈225的带动下做有规律的转动，所述转卡环224外侧与卡口区222卡合的位置具有韧性，便于与卡口区222相配合做定时定位，为贴端面223上的晶圆限定转动时间段。
[0033]其中，所述卡口区222设有口端道a1、防尘装置a2，所述防尘装置a2活动安装在口端道a1下端且活动于其两侧端，所述防尘装置a2受下端力的作用，向两侧摆开，为口端道a1起到防尘作用。
[0034]其中，所述防尘装置a2设有中接块a21、实底块a22、扯接杆a23、顶防块a24、侧摆架a25，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆贴膜治具，其结构包设有底板(1)、基础板(2)、固柱(3)、贴附台(4)、气缸动力机(5)，所述基础板(2)位于底板(1)顶端，所述贴附台(4)活动于基础板(2)上方，所述气缸动力机(5)连接在固柱(3)的一侧，所述固柱(3)嵌固安装在底板(1)上，所述贴附台(4)与气缸动力机(5)相配合，其特征在于：所述基础板(2)设有撑台(21)、定位卡块(22)、转底(23)、支撑脚(24)，所述转底(23)嵌入连接在撑台(21)中端，所述定位卡块(22)连接于转底(23)上方且相配合，所述支撑脚(24)嵌固连接在撑台(21)下方。2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜治具，其特征在于：所述定位卡块(22)设有整盘(221)、卡口区(222)、贴端面(223)、转卡环(224)、带转圈(225)，所述卡口区(222)嵌入安装在整盘(221)内，所述贴端面(223)与定位卡块(22)为一体化结构，所述转卡环(224)活动卡合于卡口区(222)，所述带转圈(225)连接在转卡环(224)内侧且活动配合。3.根据权利要求2所述的一种晶圆贴膜治具，其特征在于：所述卡口区(222)设有口端道(a1)、防尘装置(a2)，所述防尘装置(a2)活动安装在口端道(a1)下端且活动于其两侧端。4.根据权利要求3所述的一种晶圆贴膜治具，其特征在于：所述防尘装置(a2)设有中接块(a21)、实底块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁小明，
申请(专利权)人：梁小明，
类型：发明
国别省市：