本发明专利技术公开了一种太阳能光伏晶片蚀刻装置，包括防护机构、循环机构和喷淋机构，所述防护机构包括防护箱、防腐板、限位槽和防护门，所述循环机构包括集水箱、液位传感器、控制器、排水管、阀门、循环管道、过滤罩、设备箱、循环泵和盖板，所述集水箱的上方设置有储物机构，所述集水箱的右侧底部连接有排水管，所述集水箱的左侧内壁上设置有液位传感器，所述设备箱设置在防护箱的左侧，所述循环泵的底端与循环管道连接。该太阳能光伏晶片蚀刻装置，设置有电动伸缩杆，两侧的电动伸缩杆可通过限位卡环带动多孔蚀刻箱在集水箱内的蚀刻液中进行左右摆动，从而便于可有效提高多孔蚀刻箱内的加工件的蚀刻效率，进而便于提高装置的加工效率。进而便于提高装置的加工效率。进而便于提高装置的加工效率。
【技术实现步骤摘要】
一种太阳能光伏晶片蚀刻装置
[0001]本专利技术涉及蚀刻装置
，具体为一种太阳能光伏晶片蚀刻装置。
技术介绍
[0002]蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，经过不断改良和工艺设备发展，可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片、晶片以及零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。在太阳能光伏晶片的加工过程中需要使用到蚀刻装置，现有的蚀刻装置大多是将加工件静置在蚀刻液中使其自然蚀刻，加工效率较低，且容易出现反应不充分的现象，针对上述问题，需要对现有设备进行改进。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种太阳能光伏晶片蚀刻装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的蚀刻装置大多是将加工件静置在蚀刻液中使其自然蚀刻，加工效率较低，且容易出现反应不充分的现象的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种太阳能光伏晶片蚀刻装置，包括防护机构、循环机构和喷淋机构，
[0005]防护机构，所述防护机构包括防护箱、防腐板、限位槽和防护门，且防护箱内底部开设有限位槽，所述防护箱前侧设置有防护门，且防护门与防护箱转动连接；
[0006]循环机构，所述循环机构包括集水箱、液位传感器、控制器、排水管、阀门、循环管道、过滤罩、设备箱、循环泵和盖板，且集水箱底部卡合在限位槽内，所述集水箱的上方设置有储物机构，且储物机构通过调节机构与防护箱的内壁连接，所述集水箱的右侧底部连接有排水管，且排水管上设置有阀门，所述集水箱的左侧内壁上设置有液位传感器，且集水箱的左侧外壁上设置有控制器，所述设备箱设置在防护箱的左侧，且设备箱内设置有循环泵，所述循环泵的底端与循环管道连接，且循环管道远离循环泵的一端与过滤罩连接，同时过滤罩设置在集水箱的内部；
[0007]喷淋机构，所述喷淋机构包括储液箱、连接管道、储液箱盖、液泵、进水管道、第二电动伸缩杆、喷淋盒和喷淋头，且储液箱设置在防护箱的顶部，同时储液箱通过连接管道与循环泵的顶端连接，所述储液箱顶部卡合连接有储液箱盖，且储液箱内部设置有液泵，所述第二电动伸缩杆设置在防护箱的顶部，且第二电动伸缩杆的底端贯穿防护箱的顶部与喷淋盒连接，所述喷淋盒通过进水管道与液泵连接，且喷淋盒的底部设置有喷淋头。
[0008]优选的，所述防护箱的内侧壁上设置有防腐板。
[0009]优选的，所述液位传感器、控制器以及循环泵之间为电性连接。
[0010]优选的，所述过滤罩与循环管道螺纹连接。
[0011]优选的，所述设备箱前侧设置有盖板，且盖板通过螺丝与设备箱连接，同时盖板上开设有散热窗。
[0012]优选的，所述调节机构包括电动滑轨、电动滑块、连接板、第一电动伸缩杆和限位卡环，且电动滑轨对称设置在防护箱的左右内侧壁上，同时电动滑轨上连接有电动滑块，所述电动滑块远离电动滑轨的一端通过连接板与电动伸缩杆连接，且电动伸缩杆远离连接板的一端与限位卡环连接。
[0013]优选的，所述储物机构包括多孔蚀刻箱和限位板，且多孔蚀刻箱与限位卡环卡合连接，同时多孔蚀刻箱内部设置有限位板。
[0014]优选的，所述限位板等间距分布在多孔蚀刻箱前后内壁上。
[0015]优选的，所述喷淋头呈矩形阵列状分布在喷淋盒的底部，且喷淋头对应设置在多孔蚀刻箱的上方。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该太阳能光伏晶片蚀刻装置，
[0017](1)设置有限位板，限位板可将加工件卡合在多孔蚀刻箱内，从而可有效防止加工件在蚀刻的过程中相互摩擦碰撞，进而便于对加工件进行保护，同时设置有防腐板，防腐板便于提高防护箱的防腐系数，从而可有效防止防护箱的内壁被迸溅的蚀刻液损坏；
[0018](2)设置有电动伸缩杆，两侧的电动伸缩杆可通过限位卡环带动多孔蚀刻箱在集水箱内的蚀刻液中进行左右摆动，从而便于可有效提高多孔蚀刻箱内的加工件的蚀刻效率，进而便于提高装置的加工效率；
[0019](3)设置有电动滑块，电动滑块将通过第一电动伸缩杆带动多孔蚀刻箱进行上下移动，从而便于将蚀刻之后的多孔蚀刻箱从集水箱内捞起，进而便于丰富装置的内部结构，且使用起来较为便捷；
[0020](4)设置有液泵，在液泵的作用下喷淋盒上的喷淋头将持续向多孔蚀刻箱内的加工件喷洒蚀刻液，从而可在一定程度上促进蚀刻液与加工件之间的蚀刻反应，进而便于提高装置的加工质量和加工效率，同时设置有集水箱，集水箱可对喷淋头喷淋蚀刻液进行收集，从而便于防止蚀刻液肆流污染工作环境；
[0021](5)设置有液位传感器，液位传感器可对集水箱内部的液位进行检测，当液位传感器检测到集水箱内蚀刻液的液位达到设定值时，液位传感器将会把这一信息传递给控制器，控制器将启动循环泵将集水箱内蚀刻液抽入储液箱内，从而便于对刻蚀液进行循环利用，进而便于节约资源。
附图说明
[0022]图1为本专利技术主视剖面结构示意图；
[0023]图2为本专利技术主视结构示意图；
[0024]图3为本专利技术限位板在多孔蚀刻箱内的位置分布俯视结构示意图；
[0025]图4为本专利技术喷淋头在喷淋盒底部的位置分布仰视结构示意图；
[0026]图5为本专利技术图1中A处放大结构示意图；
[0027]图6为本专利技术工作流程示意图。
[0028]图中：1、防护机构，101、防护箱，102、防腐板，103、限位槽，104、防护门，2、循环机构，201、集水箱，202、液位传感器，203、控制器，204、排水管，205、阀门，206、循环管道，207、过滤罩，208、设备箱，209、循环泵，2010、盖板，3、调节机构，301、电动滑轨，302、电动滑块，303、连接板，304、第一电动伸缩杆，305、套筒，4、储物机构，401、多孔蚀刻箱，402、限位板，
5、喷淋机构，501、储液箱，502、连接管道，503、储液箱盖，504、液泵，505、进水管道，506、第二电动伸缩杆，507、喷淋盒，508、喷淋头。
具体实施方式
[0029]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0030]请参阅图1
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6，本专利技术提供一种技术方案：一种太阳能光伏晶片蚀刻装置，如图1、图2和图3所示，防护机构1包括防护箱101、防腐板102、限位槽103和防护门104，且防护箱101内底部开设有限位槽103，防护箱101前侧设置有防护门104，且防护门104与防护箱101转动连接，防护门104与防护箱101便于防止蚀刻液迸溅到外界污染工作环境，防护箱101的内侧壁上设置有防腐板102，防腐板102防止防护箱101的内壁被加工过程中迸溅的蚀刻液损坏，循环机构2包括集水本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种太阳能光伏晶片蚀刻装置，包括防护机构(1)、循环机构(2)和喷淋机构(5)，其特征在于：防护机构(1)，所述防护机构(1)包括防护箱(101)、防腐板(102)、限位槽(103)和防护门(104)，且防护箱(101)内底部开设有限位槽(103)，所述防护箱(101)前侧设置有防护门(104)，且防护门(104)与防护箱(101)转动连接；循环机构(2)，所述循环机构(2)包括集水箱(201)、液位传感器(202)、控制器(203)、排水管(204)、阀门(205)、循环管道(206)、过滤罩(207)、设备箱(208)、循环泵(209)和盖板(2010)，且集水箱(201)底部卡合在限位槽(103)内，所述集水箱(201)的上方设置有储物机构(4)，且储物机构(4)通过调节机构(3)与防护箱(101)的内壁连接，所述集水箱(201)的右侧底部连接有排水管(204)，且排水管(204)上设置有阀门(205)，所述集水箱(201)的左侧内壁上设置有液位传感器(202)，且集水箱(201)的左侧外壁上设置有控制器(203)，所述设备箱(208)设置在防护箱(101)的左侧，且设备箱(208)内设置有循环泵(209)，所述循环泵(209)的底端与循环管道(206)连接，且循环管道(206)远离循环泵(209)的一端与过滤罩(207)连接，同时过滤罩(207)设置在集水箱(201)的内部；喷淋机构(5)，所述喷淋机构(5)包括储液箱(501)、连接管道(502)、储液箱盖(503)、液泵(504)、进水管道(505)、第二电动伸缩杆(506)、喷淋盒(507)和喷淋头(508)，且储液箱(501)设置在防护箱(101)的顶部，同时储液箱(501)通过连接管道(502)与循环泵(209)的顶端连接，所述储液箱(501)顶部卡合连接有储液箱盖(503)，且储液箱(501)内部设置有液泵(504)，所述第二电动伸缩杆(506)设置在防护箱(101)的顶部，且第二电动伸缩杆(506)的底端贯穿防护箱(101)的顶部与喷淋盒...
【专利技术属性】
技术研发人员：王泉龙，
申请(专利权)人：徐州中辉光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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