一种涡轮泵清洗装置及清洗方法、真空处理装置制造方法及图纸

本申请提供一种涡轮泵清洗装置及清洗方法、真空处理装置，所述涡轮泵清洗装置包括隔绝装置、通气管路和吸尘装置，通过对涡轮泵设置外部清洗设备，与涡轮泵进行连接，采用隔绝装置将涡轮泵与其所在工艺腔体之间进行气体隔绝，使得涡轮泵内形成封闭腔体，然后通过通气管路为封闭腔体通入气体，气体在涡轮泵内流动，对涡轮泵内部实施清扫，然后通过吸尘装置将清扫后的气体吸走，完成对涡轮泵的清洗。由于所述涡轮泵清洗装置使用时，仅需要与涡轮泵进行连接即可，从而能够在一定时间段内对涡轮泵进行清洗，无需通过拆卸涡轮泵实施清洗，而当清洗一段时间后，再采用拆卸方式进行涡轮泵的清洗，从而避免了多次拆卸，造成的人力、成本的浪费。的浪费。的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种涡轮泵清洗装置及清洗方法、真空处理装置


[0001]本专利技术涉及半导体器件制造设备
，尤其涉及一种涡轮泵清洗装置及清洗方法、真空处理装置。

技术介绍

[0002]现有技术中制作半导体器件过程中，涉及到多种半导体器件制作设备，尤其包括ICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer，电感耦合等离子光谱发生仪)，其内部包括涡轮泵。半导体器件制作过程中，包括晶圆的刻蚀步骤，采用ICP能够实现晶圆刻蚀，在一定的射频周期内，涡轮泵的正中心螺丝孔和叶片上会积累大量聚合物，对晶圆的生产，产生影响，容易造成晶圆内出现缺陷，因此，一段时间后需要对涡轮泵进行清洗。
[0003]现有的清洗方法是拆卸下来，返厂做清洗，这样费时费力，成本较高。如何提供一种涡轮泵快速清洗的装置成为亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术提供一种涡轮泵清洗装置及清洗方法，以解决现有技术中涡轮泵清洗时需要拆卸，费时费力，成本较高的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种涡轮泵清洗装置，包括：
[0007]隔绝装置、通气管路和吸尘装置；
[0008]所述隔绝装置用于将所述涡轮泵与所述涡轮泵所处的工艺反应腔体进行气体隔绝，使得所述涡轮泵内部形成封闭腔体；
[0009]所述通气管路的一端通过所述隔绝装置与所述涡轮泵内部相连，另一端与外界气体相连；
[0010]所述吸尘装置与所述涡轮泵内部的封闭腔体流体联通；
[0011]所述外界气体通过所述通气管路和所述隔绝装置，对所述涡轮泵内部进行充气，以清扫所述涡轮泵内部；
[0012]所述吸尘装置从所述涡轮泵内部向外抽气，以吸走所述涡轮泵内的沉积物。
[0013]优选地，所述隔绝装置包括：
[0014]夹具和隔板；
[0015]所述夹具包括环形侧壁；
[0016]所述隔板上设置有至少一个第一通气孔，所述第一通气孔用于与所述通气管路相连接；
[0017]其中，所述隔板内嵌在所述环形侧壁内壁上，且所述隔板与所述环形侧壁密封连接。
[0018]优选地，所述第一通气孔的个数为1个，所述第一通气孔位于所述隔板的中心位置。
[0019]优选地，所述第一通气孔的个数为至少两个，其中一个所述第一通气孔位于所述隔板的中心位置，其余所述第一通气孔位于所述隔板的边缘位置；
[0020]当其中一个所述第一通气孔与所述通气管路相连接时，其余所述第一通气孔处于密封状态。
[0021]优选地，所述隔板的材质为树脂。
[0022]优选地，所述涡轮泵为刻蚀机内的涡轮泵，所述隔绝装置安装在所述刻蚀机的钟摆阀上。
[0023]优选地，还包括连接盖，
[0024]所述连接盖与所述隔绝装置和所述涡轮泵之间的腔体密封连接；
[0025]所述连接盖的一侧开设有第二通气孔，所述第二通气孔用于与所述吸尘装置连接。
[0026]优选地，所述连接盖为刻蚀机上覆盖钟摆阀的盖。
[0027]优选地，所述连接盖的材质为树脂。
[0028]优选地，还包括气体压缩装置，所述气体压缩装置与所述通气管路与外界气体相连的一端相连；
[0029]所述气体压缩装置用于为所述通气管路提供压缩气流。
[0030]本专利技术还提供一种涡轮泵清洗方法，采用上面任意一项所述的涡轮泵清洗装置对涡轮泵进行清洗；
[0031]所述涡轮泵清洗方法包括：
[0032]接收隔绝气体指令，隔绝装置将涡轮泵与其所处的工艺反应腔体进行气体隔绝；
[0033]从通气管路中通入气体，以对所述涡轮泵内部进行清扫；
[0034]打开吸尘装置，对清扫后的涡轮泵内气体进行抽气。
[0035]本专利技术还提供一种真空处理装置，包括一真空反应腔，所述真空反应腔内设置一基片承载台，用于对待处理基片进行承载，还包括：
[0036]涡轮泵，所述涡轮泵设置在所述真空反应腔底部，用于将所述真空反应腔内的工艺气体及副产物排出所述真空反应腔；
[0037]和上面任意一项所述的涡轮泵清洗装置，用于对涡轮泵内部进行清洁处理。
[0038]优选地，所述真空反应腔上方设置有电感线圈，所述电感线圈接收射频信号，用于将所述真空反应腔内的工艺气体激发为等离子体。
[0039]经由上述的技术方案可知，本专利技术提供的涡轮泵清洗装置，包括隔绝装置、通气管路和吸尘装置，通过对涡轮泵设置外部清洗设备，与涡轮泵进行连接，采用隔绝装置将涡轮泵与其所在工艺腔体之间进行气体隔绝，使得涡轮泵内形成封闭腔体，然后通过通气管路为封闭腔体通入气体，气体在涡轮泵内流动，对涡轮泵内部实施清扫，然后通过吸尘装置将清扫后的气体吸走，完成对涡轮泵的清洗。由于所述涡轮泵清洗装置使用时，仅需要与涡轮泵进行连接即可，从而能够在一定时间段内对涡轮泵进行清洗，无需通过拆卸涡轮泵实施清洗，而当清洗一段时间后，再采用拆卸方式进行涡轮泵的清洗，从而避免了多次拆卸，造成的人力、成本的浪费。
附图说明
[0040]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0041]图1为本专利技术实施例提供的一种涡轮泵清洗装置切面结构示意图；
[0042]图2为本专利技术实施例提供的一种涡轮泵清洗装置立体结构示意图；
[0043]图3为本专利技术实施例提供的一种隔绝装置的结构示意图；
[0044]图4为本专利技术实施例提供的涡轮泵清洗方法流程图；
[0045]图5为清洗装置对涡轮泵进行清洗时的系统结构示意图。
具体实施方式
[0046]正如
技术介绍
部分所述，现有技术中对涡轮泵的清洗采用拆卸的方式，返厂进行清洗，存在涡轮泵清洗费时费力，成本较高的问题。
[0047]这是由于，涡轮泵结构复杂，拆卸和安装均需要较多时间，且返厂进行清洗，则还包括返厂的时间，这样就造成了涡轮泵清洗周期较长，工艺繁琐，且成本较高的问题。
[0048]基于此，本专利技术提供一种涡轮泵清洗装置，包括：
[0049]隔绝装置、通气管路和吸尘装置；
[0050]所述隔绝装置用于将所述涡轮泵与所述涡轮泵所处的工艺反应腔体进行气体隔绝，使得所述涡轮泵内部形成封闭腔体；
[0051]所述通气管路的一端通过所述隔绝装置与所述涡轮泵内部相连，另一端与外界气体相连；
[0052]所述吸尘装置与所述涡轮泵内部的封闭腔体流体联通；
[0053]所述外界气体通过所述通气管路和所述隔绝装置，对所述涡轮泵内部进行充气，以清扫所述涡轮泵内部；
[0054]所述吸尘装置从所述涡轮泵内部向外抽气，以吸走所述涡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涡轮泵清洗装置，其特征在于，包括：隔绝装置、通气管路和吸尘装置；所述隔绝装置用于将所述涡轮泵与所述涡轮泵所处的工艺反应腔体进行气体隔绝，使得所述涡轮泵内部形成封闭腔体；所述通气管路的一端通过所述隔绝装置与所述涡轮泵内部相连，另一端与外界气体相连；所述吸尘装置与所述涡轮泵内部的封闭腔体流体联通；所述外界气体通过所述通气管路和所述隔绝装置，对所述涡轮泵内部进行充气，以清扫所述涡轮泵内部；所述吸尘装置从所述涡轮泵内部向外抽气，以吸走所述涡轮泵内的沉积物。2.根据权利要求1所述的涡轮泵清洗装置，其特征在于，所述隔绝装置包括：夹具和隔板；所述夹具包括环形侧壁；所述隔板上设置有至少一个第一通气孔，所述第一通气孔用于与所述通气管路相连接；其中，所述隔板内嵌在所述环形侧壁内壁上，且所述隔板与所述环形侧壁密封连接。3.根据权利要求2所述的涡轮泵清洗装置，其特征在于，所述第一通气孔的个数为1个，所述第一通气孔位于所述隔板的中心位置。4.根据权利要求2所述的涡轮泵清洗装置，其特征在于，所述第一通气孔的个数为至少两个，其中一个所述第一通气孔位于所述隔板的中心位置，其余所述第一通气孔位于所述隔板的边缘位置；当其中一个所述第一通气孔与所述通气管路相连接时，其余所述第一通气孔处于密封状态。5.根据权利要求2所述的涡轮泵清洗装置，其特征在于，所述隔板的材质为树脂。6.根据权利要求1所述的涡轮泵清洗装置，其特征在于，所述涡轮泵为刻蚀机内的涡轮泵，所述隔绝装置安装在所述刻蚀机的钟摆阀上。7.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春松，范德宏，周旭升，陈煌琳，
申请(专利权)人：中微半导体设备上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：