温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种涡轮泵清洗装置及清洗方法、真空处理装置，所述涡轮泵清洗装置包括隔绝装置、通气管路和吸尘装置，通过对涡轮泵设置外部清洗设备，与涡轮泵进行连接，采用隔绝装置将涡轮泵与其所在工艺腔体之间进行气体隔绝，使得涡轮泵内形成封闭腔体，然后通...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。