一种化学气相淀积反应室用气体注入环制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学气相淀积反应室用气体注入环，包括气体注入环本体、进气旋钮和反应室本体，所述气体注入环本体的内环设置有调节结构，所述调节结构包括喷气管、翻转轴、锁紧螺母、翻转固定座、进气口和波纹管，所述气体注入环本体的内环均匀连通有喷气管，所述喷气管与气体注入环本体之间设置有翻转固定座，本实用新型专利技术通过在喷气管的顶端设置有翻转轴，喷气管与翻转轴固定，利用翻转轴可在翻转固定座上进行伸缩，伸缩完成后并利用两侧锁紧螺母进行锁紧，在翻转的同时，由于采用波纹管连接喷气管和气体注入环本体，因此可将喷气管随意翻转，不会造成气体测出的情况，继而改变喷气角度，提升喷气均匀性。提升喷气均匀性。提升喷气均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相淀积反应室用气体注入环


[0001]本技术涉及气体注入环
，具体为一种化学气相淀积反应室用气体注入环。

技术介绍

[0002]高密度等离子体主要是以气体的形式与沉积反应室内部接触反应，主要通过气体注入环进行高密度等离子体的注入，此过程用于半导体制造领域，目前气体注入环在市面上的种类较多，且基本满足日常使用需求：
[0003]但该种气体注入环在使用时也仍旧会存在一些缺陷，如在使用气体注入环进行等离子体气体注入过程时会出现注入不够均匀的情况，从而影响反应的效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种化学气相淀积反应室用气体注入环，以解决上述
技术介绍
中提出的注入不均匀的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种化学气相淀积反应室用气体注入环，包括气体注入环本体、进气旋钮和反应室本体，所述气体注入环本体的内环设置有调节结构，所述调节结构包括喷气管、翻转轴、锁紧螺母、翻转固定座、进气口和波纹管，所述气体注入环本体的内环均匀连通有喷气管，所述喷气管与气体注入环本体之间设置有翻转固定座，所述翻转固定座的中间位置处设置有翻转轴，所述翻转轴的两端连接有锁紧螺母，所述翻转轴的顶端设置有波纹管，所述波纹管顶端贯穿并延伸至气体注入环本体的内部设置有进气口，所述气体注入环本体的底部设置有反应室本体。
[0006]优选的，所述气体注入环本体与反应室本体之间的两侧设置有安装结构，所述安装结构包括卡槽、预留槽、预留块、弹簧槽、伸缩卡块和卡合弹簧，所述反应室本体顶端的两侧设置有预留块，所述气体注入环本体底端的两侧开设有预留槽，所述预留块插设到预留槽的内部，所述预留槽内部的一侧设置有弹簧槽，所述弹簧槽的内部设置有卡合弹簧，所述卡合弹簧的一侧固定有伸缩卡块，所述伸缩卡块的一侧贯穿并延伸至预留槽的内部。
[0007]优选的，所述喷气管贯穿至翻转轴的顶端，所述波纹管与喷气管相连通，所述喷气管利用翻转轴设计为翻转结构。
[0008]优选的，所述波纹管设计成表面为褶皱状的管状结构，所述波纹管设计为可伸缩结构。
[0009]优选的，所述预留块的表面开设有卡槽，所述伸缩卡块插设到卡槽的内部，所述预留块通过卡槽与伸缩卡块之间构成卡合结构。
[0010]优选的，所述伸缩卡块的宽度小于弹簧槽的内部宽度，所述伸缩卡块利用卡合弹簧在弹簧槽的内部设计为伸缩结构。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、通过在喷气管的顶端设置有翻转轴，喷气管与翻转轴固定，利用翻转轴可在翻
转固定座上进行伸缩，伸缩完成后并利用两侧锁紧螺母进行锁紧，在翻转的同时，由于采用波纹管连接喷气管和气体注入环本体，因此可将喷气管随意翻转，不会造成气体侧出的情况，继而改变喷气角度，提升喷气均匀性；
[0013]2、通过将该气体注入环本体放置到反应室本体上，并进行固定，为提高固定的便携性，反应室本体顶端的两侧固定有预留块，而气体注入环本体底部的两侧开设有预留槽，预留块插设到预留槽的内部后被预留槽内一侧伸缩卡块进行卡合，伸缩卡块利用一侧卡合弹簧卡合到预留块的卡槽内，实现快速安装，拆卸时则拉出反应室本体，伸缩卡块收缩进一侧弹簧槽的内部完成拆卸。
附图说明
[0014]图1为本技术的正视外观结构示意图；
[0015]图2为本技术的侧视结构示意图；
[0016]图3为本技术的图1中A处放大结构示意图。
[0017]图中：1、气体注入环本体；2、调节结构；201、喷气管；202、翻转轴；203、锁紧螺母；204、翻转固定座；206、波纹管；3、进气旋钮；4、反应室本体；5、安装结构；501、卡槽；502、预留槽；503、预留块；504、弹簧槽；505、伸缩卡块；506、卡合弹簧。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
‑
3，本技术提供的一种实施例：一种化学气相淀积反应室用气体注入环，包括气体注入环本体1、进气旋钮3和反应室本体4，气体注入环本体1的内环设置有调节结构2，调节结构2包括喷气管201、翻转轴202、锁紧螺母203、翻转固定座204、进气口和波纹管206，气体注入环本体1的内环均匀连通有喷气管201，喷气管201与气体注入环本体1之间设置有翻转固定座204，翻转固定座204的中间位置处设置有翻转轴202，翻转轴202的两端连接有锁紧螺母203，翻转轴202的顶端设置有波纹管206，波纹管206顶端贯穿并延伸至气体注入环本体1的内部设置有进气口，所述气体注入环本体1的底部设置有反应室本体4；
[0020]气体注入环本体1与反应室本体4之间的两侧设置有安装结构5，安装结构5包括卡槽501、预留槽502、预留块503、弹簧槽504、伸缩卡块505和卡合弹簧506，反应室本体4顶端的两侧设置有预留块503，气体注入环本体1底端的两侧开设有预留槽502，预留块503插设到预留槽502的内部，预留槽502内部的一侧设置有弹簧槽504，弹簧槽504的内部设置有卡合弹簧506，卡合弹簧506的一侧固定有伸缩卡块505，伸缩卡块505的一侧贯穿并延伸至预留槽502的内部，预留块503的表面开设有卡槽501，伸缩卡块505插设到卡槽501的内部，预留块503通过卡槽501与伸缩卡块505之间构成卡合结构，伸缩卡块505的宽度小于弹簧槽504的内部宽度，伸缩卡块505利用卡合弹簧506在弹簧槽504的内部设计为伸缩结构；
[0021]具体地如图3所示，将该气体注入环本体1放置到反应室本体4上，并进行固定，为提高固定的便携性，反应室本体4顶端的两侧固定有预留块503，而气体注入环本体1底部的
两侧开设有预留槽502，预留块503插设到预留槽502的内部后被预留槽502内一侧伸缩卡块505进行卡合，伸缩卡块505利用一侧卡合弹簧506卡合到预留块503的卡槽501内，实现快速安装，拆卸时则拉出反应室本体4，伸缩卡块505收缩进一侧弹簧槽504的内部完成拆卸；
[0022]喷气管201贯穿至翻转轴202的顶端，波纹管206与喷气管201相连通，喷气管201利用翻转轴202设计为翻转结构，波纹管206设计成表面为褶皱状的管状结构，波纹管206设计为可伸缩结构；
[0023]具体地如图1、图2和图3所示，在喷气管201的顶端设置有翻转轴202，喷气管201与翻转轴202固定，利用翻转轴202可在翻转固定座204上进行伸缩，伸缩完成后并利用两侧锁紧螺母203进行锁紧，在翻转的同时，由于采用波纹管206连接喷气管201和气体注入环本体1，因此可将喷气管20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相淀积反应室用气体注入环，其特征在于：包括气体注入环本体（1）、进气旋钮（3）和反应室本体（4），所述气体注入环本体（1）的内环设置有调节结构（2），所述调节结构（2）包括喷气管（201）、翻转轴（202）、锁紧螺母（203）、翻转固定座（204）、进气口和波纹管（206），所述气体注入环本体（1）的内环均匀连通有喷气管（201），所述喷气管（201）与气体注入环本体（1）之间设置有翻转固定座（204），所述翻转固定座（204）的中间位置处设置有翻转轴（202），所述翻转轴（202）的两端连接有锁紧螺母（203），所述翻转轴（202）的顶端设置有波纹管（206），所述波纹管（206）顶端贯穿并延伸至气体注入环本体（1）的内部设置有进气口，所述气体注入环本体（1）的底部设置有反应室本体（4）。2.根据权利要求1所述的一种化学气相淀积反应室用气体注入环，其特征在于：所述气体注入环本体（1）与反应室本体（4）之间的两侧设置有安装结构（5），所述安装结构（5）包括卡槽（501）、预留槽（502）、预留块（503）、弹簧槽（504）、伸缩卡块（505）和卡合弹簧（506），所述反应室本体（4）顶端的两侧设置有预留块（503），所述气体注入环本体（1）底端的两侧开设有预留槽（502），所述预留块（5...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹峰峰，李得平，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：