带有冷却装置的真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向，对真空腔体内部进行有效的降温，防止镀膜工艺中的加热过程导致真空腔体内部温度过高，防止真空腔体内部的机械结构发生形变，从而延长真空镀膜设备的使用寿命；同时该冷却装置的多个部件均为可拆卸式连接，方便了用户的安装、拆卸和维修操作，也便于对单个部件进行更换，能有效延长冷却装置的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
带有冷却装置的真空镀膜设备
本技术涉及真空镀膜设备
，具体涉及一种带有冷却装置的真空镀膜设备。
技术介绍
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术提供一种带有冷却装置的真空镀膜设备，以对真空腔体内部进行有效的降温，从而延长其使用寿命。一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向。优选地，所述风冷装置包括冷风机和安装板，所述安装板连接在安装架上，所述安装板上开设有用于容纳冷风机的空槽，所述冷风机用于向真空腔体内输送冷风。优选地，所述安装板与安装架之间为可拆卸式固定连接。优选地，所述冷风机与空槽之间为可拆卸式固定连接。优选地，所述循环装置包括依次连接并形成循环回路的进液口、冷却管、换热器及泵，所述冷却管内装有冷却液，所述换热器用于降低冷却液的温度。优选地，所述冷却管具体采用蛇形管。优选地，所述冷却管与安装架可拆卸式固定连接。r>优选地，所述真空腔体的两侧均设置有冷却装置。优选地，所述安装架与真空腔体内侧壁可拆卸式固定连接。本技术的有益效果体现在：本技术通过设置包括循环装置和风冷装置的冷却装置，对真空腔体内部进行有效的降温，防止镀膜工艺中的加热过程导致真空腔体内部温度过高，防止真空腔体内部的机械结构发生形变，从而延长真空镀膜设备的使用寿命；同时该冷却装置的多个部件均为可拆卸式连接，方便了用户的安装、拆卸和维修操作，也便于对单个部件进行更换，能有效延长冷却装置的使用寿命。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。图1为本技术实施例提供的带有冷却装置的真空镀膜设备的结构示意图；图2为图1所示真空镀膜设备的冷却装置的结构示意图；图3为图2所示冷却装置的风冷装置的结构示意图；图4为图2所示冷却装置的循环装置的结构示意图；附图中，1-真空腔体，2-冷却装置，21-安装架，22-风冷装置，221-冷风机，222-安装板，223-空槽，23-循环装置，231-进液口，232-泵，233-换热器，234-冷却管。具体实施方式下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。本实施例提供一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体1，真空腔体1的两侧均设置有冷却装置2，冷却装置2包括安装架21、风冷装置22和循环装置23，风冷装置22和循环装置23通过安装架21连接，风冷装置22的出风方向朝向循环冷装置的所在方向，安装架21与真空腔体1内侧壁可拆卸式固定连接，具体可以是通过螺栓固定，方便整个冷却装置2的安装、拆卸及维修。其中，风冷装置22包括冷风机221和安装板222，安装板222连接在安装架21上，安装板222上开设有用于容纳冷风机221的空槽223，冷风机221用于向真空腔体1内输送冷风；优选地，安装板222与安装架21之间为可拆卸式固定连接，可以是卡扣连接或是螺栓紧固连接；优选地，冷风机221与空槽223之间为可拆卸式固定连接，进一步优选为卡扣连接，便于冷风机221的安装，若冷风机221需要清洗或维修，也能快速将其拆卸下来。其中，循环装置23包括依次连接并形成循环回路的进液口231、冷却管234、换热器233及泵232，冷却管234内装有冷却液，换热器233用于降低冷却液的温度；优选地，冷却管234具体采用蛇形管，便于安装和固定，可以水平或垂直布置；冷却管234与安装架21可拆卸式固定连接，具体可采用抱箍连接。工作原理：启动循环装置23，在泵232的作用下，冷却液在冷却管234中行进流动，同时降低真空腔体1内的温度，冷却液温度升高，流至换热器233时与换热器233进行热交换从而恢复低温状态，再由进液口231进入冷却管234，循环往复，带走真空腔体1内的热量；启动风冷装置22，冷风机221工作，通过冷却管234的与安装架21之间的缝隙将冷风向真空腔体1内部输送；通过循环装置23和风冷装置22的配合，可以对真空腔体1内部起到良好的冷却效果，防止镀膜工艺中的加热过程导致真空腔体1内部温度过高，防止真空腔体1内部的机械结构发生形变，从而延长真空镀膜设备的使用寿命。最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本技术的权利要求和说明书的范围当中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，其特征在于：所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向。/n

【技术特征摘要】
1.一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，其特征在于：所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向。


2.根据权利要求1所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述风冷装置包括冷风机和安装板，所述安装板连接在安装架上，所述安装板上开设有用于容纳冷风机的空槽，所述冷风机用于向真空腔体内输送冷风。


3.根据权利要求2所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述安装板与安装架之间为可拆卸式固定连接。


4.根据权利要求2所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述冷风机与空槽之间为可拆卸式固定连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：王正云，刘贺威，
申请(专利权)人：苏州众智泽智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32