带有冷却装置的真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向，对真空腔体内部进行有效的降温，防止镀膜工艺中的加热过程导致真空腔体内部温度过高，防止真空腔体内部的机械结构发生形变，从而延长真空镀膜设备的使用寿命；同时该冷却装置的多个部件均为可拆卸式连接，方便了用户的安装、拆卸和维修操作，也便于对单个部件进行更换，能有效延长冷却装置的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
带有冷却装置的真空镀膜设备
本技术涉及真空镀膜设备
，具体涉及一种带有冷却装置的真空镀膜设备。
技术介绍
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术提供一种带有冷却装置的真空镀膜设备，以对真空腔体内部进行有效的降温，从而延长其使用寿命。一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向。优选地，所述风冷装置包括冷风机和安装板，所述安装板连接在安装架上，所述安装板上开设有用于容纳冷风机的空槽，所述冷风本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，其特征在于：所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向。/n

【技术特征摘要】
1.一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，其特征在于：所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向。


2.根据权利要求1所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述风冷装置包括冷风机和安装板，所述安装板连接在安装架上，所述安装板上开设有用于容纳冷风机的空槽，所述冷风机用于向真空腔体内输送冷风。


3.根据权利要求2所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述安装板与安装架之间为可拆卸式固定连接。


4.根据权利要求2所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述冷风机与空槽之间为可拆卸式固定连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：王正云，刘贺威，
申请(专利权)人：苏州众智泽智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32