下载带有冷却装置的真空镀膜设备的技术资料

文档序号:28682945

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本实用新型公开了一种带有冷却装置的真空镀膜设备,包括真空腔体,所述真空腔体内设置有冷却装置,所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置,所述风冷装置和循环装置通过安装架连接,所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向,对真空腔体内部进行...
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