本实用新型专利技术公开了一种高压真空镀膜装置，包括：冷却室、设于所述冷却室内的镀膜室以及设于所述冷却室上的循环冷却机构；其中，所述循环冷却机构包括设于所述冷却室上端的出风口、与所述出风口通过管道连通的抽气泵以及水冷箱，所述水冷箱内设置有盘管和冷却液，所述抽气泵的出气端与所述盘管的第一端连通，所述盘管的第二端通过管道与所述冷却室下端连通。本申请解决了相关技术中的真空镀膜设备散热困难的问题。困难的问题。困难的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种高压真空镀膜装置
[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种高压真空镀膜装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。
[0003]真空镀膜过程中，将铝离子镀膜完成后，需要将镀膜腔内进行降温，因为镀膜腔内需要保持真空状态，导致散热较为困难。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中的缺陷，本技术提供一种高压真空镀膜装置，以解决相关技术中的真空镀膜设备散热困难的问题。
[0005]一种高压真空镀膜装置，包括：冷却室、设于所述冷却室内的镀膜室以及设于所述冷却室上的循环冷却机构；其中，所述循环冷却机构包括设于所述冷却室上端的出风口、与所述出风口通过管道连通的抽气泵以及水冷箱，所述水冷箱内设置有盘管和冷却液，所述抽气泵的出气端与所述盘管的第一端连通，所述盘管的第二端通过管道与所述冷却室下端连通。
[0006]优选地，镀膜室的外表面从下至上设置有多组散热翅片组，每组所述散热翅片组均包括多个等距设置的散热翅片。
[0007]优选地，相邻所述散热翅片组的散热翅片呈错位设置。
[0008]优选地，冷却室下端设置有进风口，所述进风口通过管道与所述盘管的第二端连通，所述进风口位于最下端散热翅片组的下方。
[0009]优选地，盘管的第二端通过管道连通有鼓风机，所述鼓风机通过管道与所述进风口连通。
[0010]优选地，进风口和出风口均设置有两组并分布在镀膜室的两侧。
[0011]优选地，冷却室的下端设置有安装室，水冷箱设于所述冷却室的一侧，所述鼓风机设于所述安装室内。
[0012]优选地，安装室的两端开设有透气孔，所述透气孔上设置有防尘网。
[0013]优选地，水冷箱内设置有安装座，所述盘管纵向设于所述安装座上，水冷箱上设置有冷却液进口和冷却液出口。
[0014]优选地，水冷箱内还设置有制冷机构。
[0015]本技术的有益效果体现在：通过抽气泵将冷却室内的高温气体抽入位于水冷箱中的盘管中，利用水冷箱内的冷却液与高温气体进行换热，将高温气体变成低温气体后进入冷却室下端，从而将镀膜室进行冷却。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0017]图1为本技术一实施例的结构示意图；
[0018]图2为为本实施例中镀膜室的侧视结构示意图；
[0019]附图中，1出风口，2散热翅片，3冷却室，4镀膜室，5散热空腔，6进风口，7防尘网，8安装室，9鼓风机，10冷却液进口，11制冷机构，12冷却液出口，13盘管，14抽气泵，15水冷箱。
具体实施方式
[0020]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0021]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0022]如图1至图2所示，本实施例提供一种高压真空镀膜装置，包括：冷却室3、设于冷却室3内的镀膜室4以及设于冷却室3上的循环冷却机构；其中，循环冷却机构包括设于冷却室3上端的出风口1、与出风口1通过管道连通的抽气泵14以及水冷箱15，水冷箱15内设置有盘管13和冷却液，抽气泵14的出气端与盘管13的第一端连通，盘管13的第二端通过管道与冷却室3下端连通。
[0023]本实施例中，冷却室3上设置有可打开的密封门，该密封门在关闭时可将冷却室3和镀膜室4一起封闭，工件在密闭的镀膜室4内进行镀膜工序，冷却室3和镀膜室4之间具有间隙，该间隙作为散热空腔5，进风口6与散热空腔5连通，镀膜工序完成后，冷却室3内的空气温度较高，此时通过抽气泵14将冷却室3内的空气抽离并随管道进入盘管13内，而盘管13位于水冷箱15内，水冷箱15内充斥有冷却液，通过冷却液与盘管13内的高温气体进行换热，使得从盘管13内流出的气体变为低温气体，该低温气体在气流的引导作用下进入冷却室3下端，即进入该散热空腔5内，实现对镀膜室4的循环冷却，避免了热气外泄造成热污染的同时解决了相关技术中的真空镀膜设备散热困难的问题。
[0024]如图1至图2所示，镀膜室4的外表面从下至上设置有多组散热翅片组，每组散热翅片组均包括多个等距设置的散热翅片2。通过散热翅片组可将镀膜室4的热量快速的导出，通过多个等距的散热翅片2可增加与流动空气的接触面积，从而进一步提高散热效率。为增加流动空气在冷却室3内的流动时间，使得相邻散热翅片组的散热翅片2呈错位设置。
[0025]如图1至图2所示，冷却室3下端设置有进风口6，进风口6通过管道与盘管13的第二端连通，进风口6位于最下端散热翅片2组的下方，盘管13的第二端通过管道连通有鼓风机9，鼓风机9通过管道与进风口6连通。鼓风机9和抽风机配合加快管道内和冷却室3内的气体流动，从而进一步提高镀膜室4的散热效率，冷却室3的进风口6和出风口1分别位于下端和上端，利用热空气上升的原理，使得空气流动速度更快。进风口6和出风口1均设置有两组并分布在镀膜室4的两侧，每组进风口6和出风口1均可设置为多个，也可设置为一个，此处不
做限定，可视装置的散热需求而定。
[0026]如图1至图2所示，冷却室3的下端设置有安装室8，水冷箱15设于冷却室3的一侧，鼓风机9设于安装室8内。通过安装室8便于安装鼓风机9和与盘管13、进风口6连接的管道，安装室8的两端开设有透气孔，透气孔上设置有防尘网7。
[0027]如图1至图2所示，水冷箱15内设置有安装座，盘管13纵向设于安装座上，水冷箱15上设置有冷却液进口10和冷却液出口12，水冷箱15内还设置有制冷机构11，水冷箱15可通过冷却液进口10和冷却液出口12对箱内的冷却液进行循环更换，通过制冷机构11可直接对冷却液进行制冷。
[0028]最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本技术的权利要求和说明书的范围当中。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高压真空镀膜装置，其特征在于，包括：冷却室、设于所述冷却室内的镀膜室以及设于所述冷却室上的循环冷却机构；其中，所述循环冷却机构包括设于所述冷却室上端的出风口、与所述出风口通过管道连通的抽气泵以及水冷箱，所述水冷箱内设置有盘管和冷却液，所述抽气泵的出气端与所述盘管的第一端连通，所述盘管的第二端通过管道与所述冷却室下端连通。2.根据权利要求1所述的高压真空镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的外表面从下至上设置有多组散热翅片组，每组所述散热翅片组均包括多个等距设置的散热翅片。3.根据权利要求2所述的高压真空镀膜装置，其特征在于，相邻所述散热翅片组的散热翅片呈错位设置。4.根据权利要求3所述的高压真空镀膜装置，其特征在于，所述冷却室下端设置有进风口，所述进风口通过管道与所述盘管的第二端连通，所述进风口位于最下端散热翅片组的下方。...
【专利技术属性】
技术研发人员：王正云，刘贺威，
申请(专利权)人：苏州众智泽智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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