本实用新型专利技术公开了一种分体式防着板，包括至少两个防着单元，所述防着单元为方形，所述防着单元包括由上至下设置的防着层和增强层，所述防着层和增强层可拆卸式连接，每个增强层的长和/或宽边上设置有至少一组凸部和凹部，每组凸部和凹部位于同一水平高度上，相邻增强层之间的凸部与凹部可拆卸式连接，通过设置包括防着层和增强层的防着单元来增强防着板的力学、热学性能等，并延长防着板的使用寿命，降低使用成本；通过在增强层设置凸部和凹部，将相邻的防着单元连接成为一个可拆卸的整体，能够在防着板的局部防着效果不合格时，进行有针对性的局部更换，从而降低使用成本。
【技术实现步骤摘要】
一种分体式防着板及真空溅镀设备
本技术涉及真空溅镀设备
，具体涉及一种分体式防着板及真空溅镀设备。
技术介绍
真空溅镀是在真空环境下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积，使其具有某种特殊功能薄膜的技术；因溅镀过程中，溅镀源会随机方向溅射，除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在周围其他部位的表面，为保护其他结构件避免附着、沉积膜层，需要使用防着板进行覆盖防护；现有的防着板大多为一体式结构，导致当有其中一部分使用不合格时，只能进行整体更换，增加了使用成本，并且现有的防着板存在强度低、耐热性差的缺陷。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术提供一种分体式防着板及真空溅镀设备，以对防着板进行局部更换维护，并提高其强度性能和耐热性能。一种分体式防着板，包括至少两个防着单元，所述防着单元为方形，所述防着单元包括由上至下设置的防着层和增强层，所述防着层和增强层可拆卸式连接，每个增强层的长和/或宽边上设置有至少一组凸部和凹部，每组凸部和凹部位于同一水平高度上，相邻增强层之间的凸部与凹部可拆卸式连接。优选地，所述增强层的材料具体为石墨烯-环氧树脂复合材料。优选地，所述凸部的形状为圆柱形、棱柱形、圆锥形或棱锥形中的一种，所述凹部向内凹陷且形状与凸部一致。优选地，各防着单元呈直线排布，各所述增强层的长或宽边上设置有凸部和凹部，且相邻增强层之间通过凸部和凹部连接从而拼接成一个整体。优选地，各防着单元呈矩阵排布，各所述增强层的长和宽边上均设置有凸部和凹部，且相邻增强层之间通过凸部和凹部连接从而拼接成一个整体。优选地，所述凹部侧壁还设置有至少一个凹槽，所述凹槽内设置有弹簧和卡珠，所述弹簧的长度方向与凹部的长度方向垂直，所述弹簧的一端与凹槽固定连接，另一点与卡珠固定连接，所述凸部侧壁设置有与卡珠匹配的卡槽。优选地，相邻所述增强层之间的凸部与凹部的连接方式为磁性连接。优选地，所述凸部的外表面贴有磁片一，所述凹部内贴有磁片二，所述磁片一与磁片二磁性相吸。一种真空溅镀设备，具有上述的分体式防着板。本技术的有益效果体现在：本技术通过设置包括防着层和增强层的防着单元来增强防着板的力学、热学性能等，并延长防着板的使用寿命，降低使用成本；通过在增强层设置凸部和凹部，将相邻的防着单元连接成为一个可拆卸的整体，能够在防着板的局部防着效果不合格时，进行有针对性的局部更换，从而降低使用成本。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。图1为本技术一实施例提供的分体式防着板的结构示意图；图2为图1所示的分体式防着板的右视图；图3为本技术另一实施例提供的分体式防着板的结构示意图；附图中，1-防着单元，2-防着层，3-增强层，4-凸部，5-凹部，6-卡槽，7-凹槽，8-卡珠，9-弹簧，10-磁片一，11-磁片二。具体实施方式下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。实施例1本实施例提供一种分体式防着板，如图1所示，包括三个防着单元1，防着单元1为方形，防着单元1包括由上至下设置的防着层2和增强层3，增强层3的材料具体为石墨烯-环氧树脂复合材料，防着层2和增强层3可拆卸式连接，具体可以是粘接，当防着层2表面被附着满后，可以将防着层2从石墨烯-环氧树脂复合层分离开来以更换，石墨烯-环氧树脂复合材料具有良好的力学性能、热性能及防腐性能，能够增强防着单元1的结构强度，能够适应真空溅镀的温度环境，以及其良好的防腐性能，因此使用寿命相对较长，结合可拆卸更换的防着层2，即能对防着层2起到很好的支撑作用，又能够显著的提高防着单元1的使用寿命。每个增强层3的长边上设置有一组凸部4和凹部5，每组凸部4和凹部5位于同一水平高度上，凸部4的形状为圆柱形、棱柱形、圆锥形或棱锥形中的一种，凹部5向内凹陷且形状与凸部4一致，相邻增强层3之间的凸部4与凹部5可拆卸式连接；具体地，如图1所示，各防着单元1呈直线排布，各增强层3的宽边上设置有一组凸部4和凹部5，且相邻增强层3之间通过凸部4和凹部5连接从而拼接成一个整体。具体地，如图2所示，凹部5侧壁还设置有至少一个凹槽7，凹槽7内设置有弹簧9和卡珠8，弹簧9的长度方向与凹部5的长度方向垂直，弹簧9的一端与凹槽7固定连接，另一点与卡珠8固定连接，卡珠8部分延伸出凹槽7，凸部4侧壁设置有与卡珠8匹配的卡槽6，凸部4尖端呈圆弧形；进行防着单元1的拼接时，凸部4插入凹部5，凸部4触及卡珠8时，卡珠8压缩弹簧9并被推入凹槽7中，凸部4继续插入直至卡珠8卡入卡槽6中，完成凸部4与凹部5的连接；当需要拆卸分离时，手动向相反方向拉动相邻的防着单元1，卡珠8再次压缩弹簧9被推入凹槽7中，凸部4得以与凹部5分离。实施例2本实施例提供一种分体式防着板，如图3所示，包括四个防着单元1，防着单元1为方形，防着单元1包括由上至下设置的防着层2和增强层3，增强层3的材料具体为石墨烯-环氧树脂复合材料，防着层2和增强层3可拆卸式连接，具体可以是螺栓连接，当防着层2表面被附着满后，可以将防着层2从石墨烯-环氧树脂复合层分离开来以更换，石墨烯-环氧树脂复合材料具有良好的力学性能、热性能及防腐性能，能够增强防着单元1的结构强度，能够适应真空溅镀的温度环境，以及其良好的防腐性能，因此使用寿命相对较长，结合可拆卸更换的防着层2，即能对防着层2起到很好的支撑作用，又能够显著的提高防着单元1的使用寿命。每个增强层3的长边上设置有一组凸部4和凹部5，每组凸部4和凹部5位于同一水平高度上，凸部4的形状为圆柱形、棱柱形、圆锥形或棱锥形中的一种，凹部5向内凹陷且形状与凸部4一致，相邻增强层3之间的凸部4与凹部5可拆卸式连接；具体的，如图3所示，各防着单元1呈2×2矩阵排布，各增强层3的长和宽边上均设置有两组凸部4和凹部5，且相邻增强层3之间通过凸部4和凹部5连接从而拼接成一个整体，相邻增强层3之间的凸部4与凹部5的连接方式为磁性连接；具体地，如图3所示，凸部4的外表面贴有磁片一10，凹部5内贴有磁片二11，磁片一10与磁片二11磁性相吸，依靠磁吸效应实现凸部4与凹部5的拼接与拆卸分离。实施例3本实施例提供一种真空溅镀设备，具有如实施例1或实施例2中的分体式防着板。最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种分体式防着板，其特征在于：包括至少两个防着单元，所述防着单元为方形，所述防着单元包括由上至下设置的防着层和增强层，所述防着层和增强层可拆卸式连接，每个增强层的长和/或宽边上设置有至少一组凸部和凹部，每组凸部和凹部位于同一水平高度上，相邻增强层之间的凸部与凹部可拆卸式连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种分体式防着板，其特征在于：包括至少两个防着单元，所述防着单元为方形，所述防着单元包括由上至下设置的防着层和增强层，所述防着层和增强层可拆卸式连接，每个增强层的长和/或宽边上设置有至少一组凸部和凹部，每组凸部和凹部位于同一水平高度上，相邻增强层之间的凸部与凹部可拆卸式连接。
2.根据权利要求1所述的分体式防着板，其特征在于：所述增强层的材料具体为石墨烯-环氧树脂复合材料。
3.根据权利要求2所述的分体式防着板，其特征在于：所述凸部的形状为圆柱形、棱柱形、圆锥形或棱锥形中的一种，所述凹部向内凹陷且形状与凸部一致。
4.根据权利要求3所述的分体式防着板，其特征在于：各防着单元呈直线排布，各所述增强层的长或宽边上设置有凸部和凹部，且相邻增强层之间通过凸部和凹部连接从而拼接成一个整体。
5.根据权利要求3所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王正云，刘贺威，
申请(专利权)人：苏州众智泽智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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