【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备
本公开涉及显示
,尤其涉及一种蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备。
技术介绍
近年随着移动消费电子产品的不断更新换代,带动了显示器行业的迅速发展。在显示器制造工艺中,材料蒸镀是较为核心的一段工艺。蒸镀是指在高真空环境下对镀膜材料进行加热,使其升华并在基板上成膜。目前,在显示产品的蒸镀工艺中,所使用的蒸镀坩埚均为容纳腔体深度固定的结构。随着坩埚容纳腔体内蒸镀材料的减少,蒸镀材料与腔体顶部的距离逐渐增加,从而影响蒸镀均一性及稳定性。所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种蒸镀坩埚及具有该蒸镀坩埚的蒸镀设备,该蒸镀坩埚坩埚本体包括可伸缩本体,驱动组件通过驱动可伸缩本体伸缩,进而改变可变容纳腔的大小,并进一步改变容纳腔内蒸镀材料与排出口之间的距离,维持蒸镀材料与排出口之间的距离基本不变,从而确保蒸镀的均一性和稳定性。为实现上述专利技术 ...
【技术保护点】
1.一种蒸镀坩埚,其特征在于,包括:/n坩埚支架,所述坩埚支架包括底座、固定架和连接于所述底座和所述固定架之间的支撑件;/n坩埚本体,所述坩埚本体包括固定本体和可伸缩本体,所述固定本体固定于所述固定架,所述固定本体具有固定容纳腔,所述固定本体的一端设置有排出口,所述固定本体的另一端与所述可伸缩本体的一端连通,所述可伸缩本体的另一端为封闭端,所述可伸缩本体沿所述固定本体和所述可伸缩本体的叠加方向伸缩,所述可伸缩本体具有可变容纳腔,所述排出口、所述固定容纳腔和所述可变容纳腔相互连通,所述固定容纳腔和所述可变容纳腔构成容纳腔,用于容纳蒸镀材料;/n驱动组件,所述驱动组件包括固定部 ...
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚,其特征在于,包括:
坩埚支架,所述坩埚支架包括底座、固定架和连接于所述底座和所述固定架之间的支撑件;
坩埚本体,所述坩埚本体包括固定本体和可伸缩本体,所述固定本体固定于所述固定架,所述固定本体具有固定容纳腔,所述固定本体的一端设置有排出口,所述固定本体的另一端与所述可伸缩本体的一端连通,所述可伸缩本体的另一端为封闭端,所述可伸缩本体沿所述固定本体和所述可伸缩本体的叠加方向伸缩,所述可伸缩本体具有可变容纳腔,所述排出口、所述固定容纳腔和所述可变容纳腔相互连通,所述固定容纳腔和所述可变容纳腔构成容纳腔,用于容纳蒸镀材料;
驱动组件,所述驱动组件包括固定部和移动部,所述固定部固定于所述底座,所述移动部连接于所述可伸缩本体远离所述排出口的一侧,所述移动部沿所述可伸缩本体的伸缩方向往复移动。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述驱动组件还包括驱动电路,所述移动部为第一磁力件,所述固定部为第二磁力件,所述第一磁力件和所述第二磁力件中的至少一者与所述驱动电路电连接。
3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚,其特征在于,所述蒸镀坩埚还包括:
导轨,所述导轨连接于所述底座和所述固定架之间,所述移动部与所述导轨滑动连接。
4....
【专利技术属性】
技术研发人员:徐海,
申请(专利权)人:合肥京东方卓印科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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