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制备三维手性U型结构的方法技术

技术编号:28661610 阅读:11 留言:0更新日期:2021-06-02 02:34
本发明专利技术涉及一种制备三维手性U型结构的方法,具体而言,涉及手性结构领域,本申请通过利用聚苯乙烯小球模板中小球之间的对角的间隙做模板,并利用倾斜蒸镀玻璃板的方法加高聚苯乙烯小球模板中小球的高度,使得小球之间的间距大阴影效应不明显,可操作空间变大,作为模板蒸镀金属结构,并且在现有技术的制作方法的基础上减少了涂覆聚甲基丙烯酸甲酯材料、氧刻蚀和除胶的步骤,使得步骤更加简化,进一步的减少了操作难度,也节约了制作成本。

【技术实现步骤摘要】
制备三维手性U型结构的方法
本专利技术涉及手性结构领域,具体而言,涉及一种制备三维手性U型结构的方法。
技术介绍
手性结构一词指一个物体不能与其镜像相重合。如我们的双手,左手与互成镜像的右手不重合的结构,其中具有手性的三维微纳结构在光学中的应用广泛。一般的大面积制备具有手性的三维微纳结构的步骤是:旋涂PMMA-铺小球-镀Au膜-粘走PS小球-氧等离子刻蚀-垂直蒸镀金属微纳结构-除胶,共7步完成制备。但是由于现有技术中,步骤较多,且其中氧等离子刻蚀的成本高,技术难度较大,使得制备具有手性的三维微纳结构的成本提高不利于生产。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,针对上述现有技术中的不足,提供一种制备三维手性U型结构的方法,以解决现有技术中步骤较多,且其中氧等离子刻蚀的成本高,技术难度较大,使得制备具有手性的三维微纳结构的成本提高不利于生产的问题。为实现上述目的,本专利技术实施例采用的技术方案如下:第一方面,本专利技术实施例提供了一种制备三维手性U型结构的方法,方法包括:在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在玻璃片上的聚苯乙烯小球模板;使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板;使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高;使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构。可选地,在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在玻璃片上的聚苯乙烯小球模板的步骤包括:在器皿中注入去离子水;将聚苯乙烯小球悬浮液与酒精进行混合加入到去离子水中;将玻璃片放置器皿中,且处于去离子水液面之下的位置,使得聚苯乙烯小球悬浮液与酒精保留在玻璃片上;烘干玻璃片,得到贴合在玻璃片上的聚苯乙烯小球模板。可选地,该使用反应离子束刻蚀技术将聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板步骤包括:使用反应离子束刻蚀装置对准聚乙烯小球模板;在预设位置对聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板。可选地,使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高的步骤之后还包括:将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,进行蒸镀,其中,倾斜角为θ。可选地,将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,进行蒸镀,其中,倾斜角为θ的步骤包括:将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,使用二氧化硅进行第一次蒸镀;将聚苯乙烯小球模板旋转120度,使用二氧化硅进行第二次蒸镀;将聚苯乙烯小球模板旋转120度,使用二氧化硅进行第三次蒸镀。可选地,使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构的步骤包括:沿聚苯乙烯小球模板对角线方向,将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,其中,倾斜角为α。可选地,沿聚苯乙烯小球模板对角线方向,将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,其中,倾斜角为α的步骤包括:使用金属对聚苯乙烯小球模板进行第四次蒸镀,得到三维手性U型结构的第一条边;将聚苯乙烯小球模板旋转180度,使用金属在第一条边的一端进行第五次蒸镀,得到三维手性U型结构的第二条边;将聚苯乙烯小球模板旋转90度,使用金属在第二条边远离第一条边的位置进行第六次蒸镀,得到三维手性U型结构的第三条边。可选地,使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构步骤之后还包括:将三维手性U型结构从聚苯乙烯小球模板取下。本专利技术的有益效果是:本申请通过利用聚苯乙烯小球模板中小球之间的对角的间隙做模板,并利用倾斜蒸镀玻璃板的方法加高聚苯乙烯小球模板中小球的高度,使得小球之间的间距大阴影效应不明显,可操作空间变大,作为模板蒸镀金属结构,并且在现有技术的制作方法的基础上减少了涂覆聚甲基丙烯酸甲酯材料、氧刻蚀和除胶的步骤,使得步骤更加简化,进一步的减少了操作难度,也节约了制作成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术一实施例提供的一种制备三维手性U型结构的方法的流程图;图2为本专利技术一实施例提供的另一种制备三维手性U型结构的方法的流程图;图3为本专利技术一实施例提供的另一种制备三维手性U型结构的方法的流程图;图4为本专利技术一实施例提供的另一种制备三维手性U型结构的方法的流程图;图5为本专利技术一实施例提供的另一种制备三维手性U型结构的方法的流程图;图6为本专利技术一实施例提供的另一种制备三维手性U型结构的方法制备的结构图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本专利技术一金属板实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围,而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外,术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。在本专利技术的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。图1为本专利技术一实施例提供的一种制备三维手性U型结构的方法的流程图,如图1所示,本申请实施例提供了一种制备三维手性U型结构的方法,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备三维手性U型结构的方法,其特征在于,方法包括:/n在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板;/n使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板;/n使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高;/n使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种制备三维手性U型结构的方法,其特征在于,方法包括:
在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板;
使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板;
使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高;
使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构。


2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板的步骤包括:
在器皿中注入去离子水;
将聚苯乙烯小球悬浮液与酒精进行混合加入到所述去离子水中;
将所述玻璃片放置所述器皿中,且处于所述去离子水液面之下的位置,使得所述聚苯乙烯小球悬浮液与所述酒精保留在所述玻璃片上;
烘干所述玻璃片,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板。


3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板步骤包括:
使用反应离子束刻蚀装置对准所述聚乙烯小球模板;
在预设位置对所述聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板。


4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高的步骤之后还包括:
将聚苯...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:吕岩
类型:发明
国别省市:陕西;61

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