【技术实现步骤摘要】
制备三维手性U型结构的方法
本专利技术涉及手性结构领域,具体而言,涉及一种制备三维手性U型结构的方法。
技术介绍
手性结构一词指一个物体不能与其镜像相重合。如我们的双手,左手与互成镜像的右手不重合的结构,其中具有手性的三维微纳结构在光学中的应用广泛。一般的大面积制备具有手性的三维微纳结构的步骤是:旋涂PMMA-铺小球-镀Au膜-粘走PS小球-氧等离子刻蚀-垂直蒸镀金属微纳结构-除胶,共7步完成制备。但是由于现有技术中,步骤较多,且其中氧等离子刻蚀的成本高,技术难度较大,使得制备具有手性的三维微纳结构的成本提高不利于生产。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,针对上述现有技术中的不足,提供一种制备三维手性U型结构的方法,以解决现有技术中步骤较多,且其中氧等离子刻蚀的成本高,技术难度较大,使得制备具有手性的三维微纳结构的成本提高不利于生产的问题。为实现上述目的,本专利技术实施例采用的技术方案如下:第一方面,本专利技术实施例提供了一种制备三维手性U型结构的方法,方法包括: ...
【技术保护点】
1.一种制备三维手性U型结构的方法,其特征在于,方法包括:/n在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板;/n使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板;/n使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高;/n使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构。/n
【技术特征摘要】
1.一种制备三维手性U型结构的方法,其特征在于,方法包括:
在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板;
使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板;
使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高;
使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板的步骤包括:
在器皿中注入去离子水;
将聚苯乙烯小球悬浮液与酒精进行混合加入到所述去离子水中;
将所述玻璃片放置所述器皿中,且处于所述去离子水液面之下的位置,使得所述聚苯乙烯小球悬浮液与所述酒精保留在所述玻璃片上;
烘干所述玻璃片,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板步骤包括:
使用反应离子束刻蚀装置对准所述聚乙烯小球模板;
在预设位置对所述聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高的步骤之后还包括:
将聚苯...
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