【技术实现步骤摘要】
高质量氧化铝真空镀膜装置
本技术涉及电镀设备领域,具体是一种高质量氧化铝真空镀膜装置。
技术介绍
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。本申请中的真空镀膜根据之前的经验,存在镀膜不均匀,以及镀膜效率低,次品较多的情况,根据之前的不足进行相应的改进。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术公开了一种高质量氧化铝真空镀膜装置。本技术的技术方案为:高质量氧化铝真空镀膜装置,包括箱体,箱体内侧壁设有一层反射层,箱体内一侧设有支架,支架上从上到下依次设有置物台,支架底部通过转轴和电机相连,支架一侧设有加热装置,加热装置包括加热支架,加热支架上从上到下依次设有加热器,支架的另一侧设有抽气口。进一步地,电机位于固定架内,固定架和转轴接触的部分设有轴承。进一步地,加热支架两端位于箱体的顶部和底部,加热器在水平位置上位于置物台之间的位置。进一步地,抽气口呈喇叭状依次排列在箱体侧壁上,抽气口和箱体外侧的抽气泵相连接。进一步地,抽气口位于置物台的水平位置,对于置物台而言风向是水平的。进一步地,反射层由若干个凹面六面体组成。本技术的有益之处:本申请有效提高对工件的镀膜效率,提高工件上的镀膜的均匀度,提高镀膜的优化率,提高企业收益。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为本技术反射层的结构示意图;其中:1、箱体,2、反射层, ...
【技术保护点】
1.高质量氧化铝真空镀膜装置,包括箱体,其特征在于:所述箱体内侧壁设有一层反射层,所述箱体内一侧设有支架,所述支架上从上到下依次设有置物台,所述支架底部通过转轴和电机相连,所述支架一侧设有加热装置,所述加热装置包括加热支架,所述加热支架上从上到下依次设有加热器,所述支架的另一侧设有抽气口。/n
【技术特征摘要】
1.高质量氧化铝真空镀膜装置,包括箱体,其特征在于:所述箱体内侧壁设有一层反射层,所述箱体内一侧设有支架,所述支架上从上到下依次设有置物台,所述支架底部通过转轴和电机相连,所述支架一侧设有加热装置,所述加热装置包括加热支架,所述加热支架上从上到下依次设有加热器,所述支架的另一侧设有抽气口。
2.根据权利要求1所述的高质量氧化铝真空镀膜装置,其特征在于:所述电机位于固定架内,所述固定架和转轴接触的部分设有轴承。
3.根据权利要求1所述的高质量氧化铝真空镀膜装置,其特征在于:所...
【专利技术属性】
技术研发人员:周兴,
申请(专利权)人:启东申通电子机械配件有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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