一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备制造技术

本发明专利技术公开了一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室、固定装置和除尘装置，所述蒸镀腔室的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁固定连接有滑动块，所述滑动块的顶部外壁固定连接有蒸镀源，所述蒸镀腔室的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架。通过按压板向下运动，磁性相吸的第一磁性套和第二磁性套，使第一磁性块与第二磁性块靠近，进而加速两个磁性块的排斥，使按压板与基板紧贴，通过蒸镀源对掩模版和基板进行蒸镀处理，本装置通过按压板、第一磁性块、第二磁性块的装置的联合设置，使按压板与基板进行更好的贴合，方便进行镀膜处理，避免基板与掩模板在加工时的变形。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备
本专利技术属于镀膜设备
，具体涉及一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备。
技术介绍
随着移动通信技术的发展，手机功能有了极大发展，同时智能手机发展趋向于大屏化，而过大的屏幕会影响手机的便携性能，故设计可折叠型智能手机在移动通讯领域引起了极大关注。AMOLED是有源矩阵有机发光二极体面板。相比传统的液晶面板，AMOLED具有反应速度较快、对比度更高、视角较广等特点。掩模版(mask)简称掩模，是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上。掩模的性能直接决定了光刻工艺的质量。现有镀膜设备中，由于金属掩模板和基板比较薄，一般只有几十微米厚，很容易发生形变，因而在实际使用中不可避免的会导致其与待蒸镀基板贴合的不紧，从而使得在蒸镀有机发光材料时，不能形成正确的图案，且现有的镀膜装置不方便对装置表面的灰尘进行清洁，从而影响镀膜效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，以解决上述背景技术中提出现有的一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室(1)、固定装置(12)和除尘装置(13)，其特征在于：所述蒸镀腔室(1)的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆(2)，所述螺纹杆(2)的外壁固定连接有滑动块(3)，所述滑动块(3)的顶部外壁固定连接有蒸镀源(4)，所述蒸镀腔室(1)的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架(5)，所述掩模版支撑架(5)的顶部外壁设置有掩模版(6)，所述蒸镀腔室(1)的两侧内壁且位于掩模版支撑架(5)的上方固定连接有基板支撑架(7)，所述基板支撑架(7)的一侧外壁固定连接有支撑板(8)，所述基板支撑架(7)的一侧外壁且位于支撑板(8)的上方固...

【技术特征摘要】
1.一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室(1)、固定装置(12)和除尘装置(13)，其特征在于：所述蒸镀腔室(1)的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆(2)，所述螺纹杆(2)的外壁固定连接有滑动块(3)，所述滑动块(3)的顶部外壁固定连接有蒸镀源(4)，所述蒸镀腔室(1)的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架(5)，所述掩模版支撑架(5)的顶部外壁设置有掩模版(6)，所述蒸镀腔室(1)的两侧内壁且位于掩模版支撑架(5)的上方固定连接有基板支撑架(7)，所述基板支撑架(7)的一侧外壁固定连接有支撑板(8)，所述基板支撑架(7)的一侧外壁且位于支撑板(8)的上方固定连接有支撑箱(9)，所述支撑箱(9)的内壁设置有基板(10)，所述支撑箱(9)的内壁滑动连接有按压板(11)；
所述固定装置(12)包括第一磁性块(121)与第二磁性块(122)，所述第一磁性块(121)与第二磁性块(122)的外壁之间固定连接有弹簧(123)，所述第一磁性块(121)的底部外壁活动连接有第一活动杆(124)与第二活动杆(125)，所述第一活动杆(124)与第二活动杆(125)交叉活动连接，所述第一活动杆(124)与第二活动杆(125)的外壁均套接有第一磁性套(126)和第二磁性套(127)。


2.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述除尘装置(13)包括除尘箱(131)，所述除尘箱(131)的底部外壁与蒸镀腔室(1)的顶部外壁固定连接，所述除尘箱(131)的底部外壁固定连接有除尘管(132)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，余洋，黄斌，植启东，
申请(专利权)人：南京深光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32