一种金属掩膜版清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出的一种金属掩膜版清洗装置，包括线性模组，所述线性模组上方设有多个安装支架，所述线性模组下方配设有滑块，所述滑块下方安装有升降机构，所述升降机构的下端安装有掩膜版夹具，所述线性模组的下方设有掩膜版清洗流水线，本实用新型专利技术通过设置多个单独的溶液清洗槽单独有机溶剂清洗，对不同的有机材料选用不同的有机溶剂，以保证获得最大的溶解度，然后再通过反复抽插浸泡去除残留在掩膜版上的有机材料，本实用新型专利技术可以实现整套流水线式掩膜版清洗系统自动化批量清洗，可以节省大量人力成本，清洗流水线可以根据需要自由配设，可以满足不同类型的掩膜版批量清洗。可以满足不同类型的掩膜版批量清洗。可以满足不同类型的掩膜版批量清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种金属掩膜版清洗装置


[0001]本技术涉及半导体制作
，尤其涉及一种金属掩膜版清洗装置。

技术介绍

[0002]OLED显示装置由于具有自主发光、色彩鲜艳、低功耗、广视角等优点被应用的越来越广泛。目前，制作OLED显示装置时普遍采用蒸镀技术，其中金属掩膜版(Metal Mask，简称Mask)在整个OLED显示装置生产工艺中扮演着极其重要的角色。在蒸镀过程中，蒸镀材料会沉积到Mask上，且随着蒸镀次数和时间的增加，Mask上沉积的蒸镀材料会越来越厚，进而影响金属掩膜版的尺寸精度，导致各种蒸镀不良。因此，当Mask使用一段时间后需要对其进行清洗，从而保证蒸镀效果。

技术实现思路

[0003]基于现有技术存在的技术问题，本技术提出了一种金属掩膜版加工用治具。
[0004]本技术提出的一种金属掩膜版清洗装置，包括线性模组，所述线性模组上方设有多个安装支架，所述线性模组下方配设有滑块，所述滑块下方安装有升降机构，所述升降机构的下端安装有掩膜版夹具，所述线性模组的下方设有掩膜版清洗流水线。
[0005]进一步的，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属掩膜版清洗装置，其特征在于：包括线性模组（1），所述线性模组（1）上方设有多个安装支架（2），所述线性模组（1）下方配设有滑块（3），所述滑块（3）下方安装有升降机构（4），所述升降机构（4）的下端安装有掩膜版夹具（5），所述线性模组（1）的下方设有掩膜版清洗流水线。2.根据权利要求1所述的一种金属掩膜版清洗装置，其特征在于：所述掩膜版清洗流水线包括超声波清洗设备（7）和多个溶液清洗槽（6）。3.根据权利要求1所述的一种金属掩膜版清洗装置，其特征在于：所述升降机构（4）包括与所述滑块（3）连接的两个支撑杆（401），两个所述支撑杆（401）的底端安装有底板（402），所述底板（402）上安装有升降气缸（403），所述升降气缸（403）的活塞端向下与所述掩膜版夹具（5）固定连接。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，余洋，
申请(专利权)人：南京深光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：