一种用于镀膜腔室的防尘机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于镀膜腔室的防尘机构，包括支撑板、防尘挡板和位移驱动机构；支撑板水平布置在镀膜腔室的内部，且位于镀膜基板和镀膜源的上方；防尘挡板由多块防尘单元板在水平面内可拆卸拼接组成；防尘挡板可拆卸连接在支撑板的底面上；位移驱动机构用于驱动支撑板实现水平移动。本实用新型专利技术通过防尘挡板吸附颗粒粉尘，防尘挡板由至少两个防尘单元板组成，通过位移驱动机构带动防尘挡板水平移动，可以快速更换防尘单元板，避免吸附在遮挡面上的杂质掉落镀膜基板上，还能避免杂质散落在镀膜腔体中而污染腔体；能有效延长设备维护周期，提高设备稼动率，降低设备运行成本，提升产品良率，还有利于挡板上镀膜材料的回收利用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于镀膜腔室的防尘机构
本技术涉及太阳能电池制造
，更具体的说是涉及一种用于镀膜腔室的防尘机构，可大幅度提高设备的PM周期，提升设备的稼动率，提高材料和设备的利用率，还能更方便的回收被浪费掉的蒸镀材料。
技术介绍
随着太阳能电池技术的发展，高效电池的开发越来越受重视。其中用非晶硅本征层(a-Si:H(i))钝化的硅基异质结太阳电池(HJT电池)是重点的研究方向之一。HJT电池中非晶硅的导电性不佳，可在其表面覆盖导电薄膜来达到导电的目的，而TCO材料(透明导电氧化物薄膜)因同时兼具导电、透光、减反等性能而被广泛应用。在现目前的TCO镀膜技术路线中，PVD法(物理气相沉积)和RPD法(反应等离子体沉积)是两种最常用的技术手段。与PVD技术相比，RPD技术在电性能方面能保持0.1-0.4％(Abs.)的绝对优势。由于PVD机台经过半导体、面板行业的广泛使用和不断改进，在设备单价、机台稳定性方面优于RPD。RPD技术在设备单价上的劣势可通过国产化、产业化等方面弥补差距，在机台稳定性方面则需要进行机构上的优化，粉尘污染就是影响RPD稳定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于镀膜腔室的防尘机构，其特征在于，包括：支撑板(1)、防尘挡板(2)和位移驱动机构；/n所述支撑板(1)水平布置在镀膜腔室的内部，且位于镀膜基板(3)和镀膜源(4)的上方；/n所述防尘挡板(2)由多块防尘单元板(21)在水平面内可拆卸拼接组成；所述防尘挡板(2)可拆卸连接在所述支撑板(1)的底面上；/n所述位移驱动机构安装在所述镀膜腔室内部，且与所述支撑板(1)的一端连接，用于驱动所述支撑板(1)实现在水平面内的平移运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜腔室的防尘机构，其特征在于，包括：支撑板(1)、防尘挡板(2)和位移驱动机构；
所述支撑板(1)水平布置在镀膜腔室的内部，且位于镀膜基板(3)和镀膜源(4)的上方；
所述防尘挡板(2)由多块防尘单元板(21)在水平面内可拆卸拼接组成；所述防尘挡板(2)可拆卸连接在所述支撑板(1)的底面上；
所述位移驱动机构安装在所述镀膜腔室内部，且与所述支撑板(1)的一端连接，用于驱动所述支撑板(1)实现在水平面内的平移运动。


2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜腔室的防尘机构，其特征在于，两块所述防尘单元板(21)的对接面开设有搭接的槽口，且搭接后通过第一螺栓(5)连接。


3.根据权利要求1所述的一种用于镀膜腔室的防尘机构，其特征在于，所述支撑板(1)和防尘挡板(2)上均开设有多组对应的螺纹孔，且通过第二螺栓(6)连接。


4.根据权利要求1所述的一种用于镀膜腔室的防尘机构，其特征在于，所述位移驱动机构包括滑动槽(7)、滑动块(8)、传动杆(9)、电机和水平循环传动链组；所述滑动槽(7)水平固定在所述镀膜腔室内部，且位于所述支撑板(1)的一侧；所述滑动块(8)滑动连接在所述滑动槽(7)内，且顶端与所述支撑板(1)一侧的底面固定连接；所述传动杆(9)竖直布置，且顶端穿过所述滑动槽(...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍少娟，王继磊，李永乐，黄金，杨立友，贾慧君，
申请(专利权)人：晋能光伏技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山西;14