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本实用新型公开了一种用于镀膜腔室的防尘机构，包括支撑板、防尘挡板和位移驱动机构；支撑板水平布置在镀膜腔室的内部，且位于镀膜基板和镀膜源的上方；防尘挡板由多块防尘单元板在水平面内可拆卸拼接组成；防尘挡板可拆卸连接在支撑板的底面上；位移驱动机构...
该专利属于晋能光伏技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过晋能光伏技术有限责任公司授权不得商用。

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