一种具有加热媒介的薄膜沉积设备制造技术

技术编号:28575115 阅读:30 留言:0更新日期:2021-05-25 18:22
本实用新型专利技术公开的属于薄膜沉积设备技术领域,具体为一种具有加热媒介的薄膜沉积设备,其包括薄膜沉积设备、加热板、温度传感器和气体浓度传感器,所述薄膜沉积设备包括进气管、气体喷淋头和基座,所述进气管固定安装在薄膜沉积设备内腔的顶部,所述气体喷淋头固定安装在进气管的底部,所述基座固定安装在薄膜沉积设备内腔的底部,所述加热板固定安装在基座内腔的顶部,本申请文件中,能够通过本文件,便于对基座的温度进行控制,使薄膜成型的效果更好,更加的均匀,通过气体浓度检测,便于了解膜沉积设备内的气体浓度,方便操作记录,提高了装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有加热媒介的薄膜沉积设备
本技术涉及薄膜沉积设备
,具体为一种具有加热媒介的薄膜沉积设备。
技术介绍
农用薄膜是应用于农业生产的塑料薄膜的总称,对于播种时期的保湿、保温起非常重要的作用,薄膜由原子、分子或离子沉积在基座表面形成的2维材料,现有的技术中,薄膜在沉积的过程中,不便对基板的温度进行操作,导致薄膜成型的厚度不够均匀,影响薄膜的沉积效果,且薄膜沉积设备内会产生沉积蒸汽,现有的装置不便对气体的浓度进行检测,不便了解,降低了装置的实用性。
技术实现思路
本部分的目的在于概述本技术的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊,而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。鉴于上述和/或现有薄膜沉积设备中存在的问题,提出了本技术。因此,本技术的目的是提供一种具有加热媒介的薄膜沉积设备,能够通过本文件,便于对基座的温度进行控制,使薄膜成型的效果更好,更加的均匀,通过气体浓度检测,便于了解膜沉积设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有加热媒介的薄膜沉积设备,其特征在于:包括薄膜沉积设备(100)、加热板(200)、温度传感器(300)和气体浓度传感器(400),所述薄膜沉积设备(100)包括进气管(110)、气体喷淋头(120)和基座(130),所述进气管(110)固定安装在薄膜沉积设备(100)内腔的顶部,所述气体喷淋头(120)固定安装在进气管(110)的底部,所述基座(130)固定安装在薄膜沉积设备(100)内腔的底部,所述加热板(200)固定安装在基座(130)内腔的顶部,两个所述加热板(200)内设置有加热丝(210),所述温度传感器(300)固定安装在加热板(200)的底部,所述薄膜沉积设备(100...

【技术特征摘要】
1.一种具有加热媒介的薄膜沉积设备,其特征在于:包括薄膜沉积设备(100)、加热板(200)、温度传感器(300)和气体浓度传感器(400),所述薄膜沉积设备(100)包括进气管(110)、气体喷淋头(120)和基座(130),所述进气管(110)固定安装在薄膜沉积设备(100)内腔的顶部,所述气体喷淋头(120)固定安装在进气管(110)的底部,所述基座(130)固定安装在薄膜沉积设备(100)内腔的底部,所述加热板(200)固定安装在基座(130)内腔的顶部,两个所述加热板(200)内设置有加热丝(210),所述温度传感器(300)固定安装在加热板(200)的底部,所述薄膜沉积设备(100)的底部固定安装有控制器(310),所述薄膜沉积设备(100)的前侧壁固定安装有显示屏(320),所述气体浓度传感器(400)固定安装在薄膜沉积设备(100)内腔的右侧壁。


2.根据权利要求1所述的一种具有加热媒介的薄膜沉积设备,其特征在于:所述进气管(110)内腔的侧壁嵌入安装有控制...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨世强蒋焕明李海兵
申请(专利权)人:广东顺德悦田薄膜有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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