金属蒸发源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种金属蒸发源，包括：蒸发舟，包括用于存放金属的蒸发腔、与所述蒸发腔相连接的两个电极；位于所述蒸发腔内以辅助金属在液态时分布于所述蒸发腔的不同区域的辅助结构。本实用新型专利技术通过设置辅助结构，辅助金属在液态时分布于所述蒸发腔的不同区域，增加金属的蒸发面积，可以避免金属原子速率过大导致器件短路，提高蒸镀效率及蒸镀稳定性；本设计可以提升良率，节约成本提升效益。

【技术实现步骤摘要】
金属蒸发源
本技术涉及半导体器件的制备
，特别是一种在提升金属的蒸发速率时不会造成器件短路的金属蒸发源。
技术介绍
目前OLED等半导体器件中，经常需要通过真空蒸镀的方式蒸镀金属。目前经常用到的蒸发源包括如下几种：自由蒸发源：蒸发速率取决于物质的平衡蒸汽压,蒸发物质的实际分压；克努森蒸发源(KnudsenCell)：该类型蒸发源特点是蒸发面积小、蒸发速率低、蒸发束流方向性好,且温度、蒸发速率等可以准确控制；坩埚蒸发源：该类型蒸发速率可控性介于上面两种蒸发源之间，一般小型实验室会采用该类型的蒸发源。然而银等金属作为蒸发材料制作电极器件的电极常常会出现短路现象，造成产品良率低，金属电极蒸镀的短路问题一直困扰着OLED产业。有鉴于此，有必要提供一种改进的金属蒸发源，以解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的一个目的是提供一种在提升金属的蒸发速率时不会造成器件短路的金属蒸发源。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种金属蒸发源，包括蒸发舟，所述蒸发舟包括用于存放金属的蒸发腔、与所述蒸发腔相连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属蒸发源，包括：/n蒸发舟，所述蒸发舟包括用于存放金属的蒸发腔、与所述蒸发腔相连接的两个电极；/n其特征在于，所述金属蒸发源还包括位于所述蒸发腔内以辅助金属在液态时分布于所述蒸发腔的不同区域的辅助结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种金属蒸发源，包括：
蒸发舟，所述蒸发舟包括用于存放金属的蒸发腔、与所述蒸发腔相连接的两个电极；
其特征在于，所述金属蒸发源还包括位于所述蒸发腔内以辅助金属在液态时分布于所述蒸发腔的不同区域的辅助结构。


2.根据权利要求1所述的金属蒸发源，其特征在于，所述辅助结构为用以将金属限定在不同区域的限定结构。


3.根据权利要求2所述的金属蒸发源，其特征在于，所述限定结构为网格架。


4.根据权利要求3所述的金属蒸发源，其特征在于，所述网格架的高度是蒸发腔的高度的三分之一～三分之二。


5.根据权利要求2所述的金属蒸发源，其特征在于，所述限定结构包括位于所述蒸发腔底部的基板、位于所述基板上的限定件；所述限定件为开设于所述基板上的若干凹槽，或所述限定件为位于所述基板背离所述蒸发腔的底部的一侧的若干凸起。


6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐蒙蒙，王江南，张川，史晓波，冯敏强，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32