一种氮化镓薄膜的制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种氮化镓薄膜的制备装置，具体涉及氮化镓薄膜制备技术领域，包括制备仓和蒸发室，所述蒸发室固定连接在制备仓内部的底端，所述蒸发室的内部固定连接有石英坩埚，所述石英坩埚的内部固定连接有电热丝，所述蒸发室的顶端固定连接有离化腔，所述制备仓的外侧壁上设置有保温结构。本发明专利技术通过设置有空腔、外壳、连接杆、螺母、通孔和保温岩棉，在使用时，利用螺母和通孔将外壳固定在制备仓的外部，此时制备仓和外壳之间形成一个空腔，然后在空腔内部填充上保温岩棉，利用保温岩棉的隔热性能，这样可以避免制备仓内部热量流失较快，从而可以使制备仓内部温度保持稳定，提高氮化镓薄膜制备的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化镓薄膜的制备装置
本专利技术涉及氮化镓薄膜制备
，具体为一种氮化镓薄膜的制备装置。
技术介绍
氮化镓薄膜是氮和镓的化合物，是一种直接能隙的半导体材料，离化团簇束沉积薄膜法制备氮化镓薄膜是最简单、最实用的氮化镓薄膜制备方法，但现有的氮化镓薄膜的制备装置存在很多问题和缺陷，因此需要一种新型氮化镓薄膜的制备装置。在实现本专利技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：（1）传统的氮化镓薄膜的制备装置不方便对不同大小的薄膜样品架进行固定，适用性较差；（2）传统的氮化镓薄膜的制备装置保温性能较差，导致内部温度不稳定，降低氮化镓薄膜的制备质量；（3）传统的氮化镓薄膜的制备装置没有防爆的功能，使用时的安全性能较差；（4）传统的氮化镓薄膜的制备装置不能对制备好的氮化镓薄膜进行快速冷却，功能性较差；（5）传统的氮化镓薄膜的制备装置没有对制备仓内部的气体净化的功能，容易产生气体污染。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种氮化镓薄膜的制备装置，以解决上述
技术介绍
中提出不方便对不同大小的薄膜样品架进行固定，适用性较差的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种氮化镓薄膜的制备装置，包括制备仓和蒸发室，所述蒸发室固定连接在制备仓内部的底端，所述蒸发室的内部固定连接有石英坩埚，所述石英坩埚的内部固定连接有电热丝，所述蒸发室的顶端固定连接有离化腔，所述制备仓的外侧壁上设置有保温结构，所述制备仓两侧靠近顶端的位置处设置有防爆结构，所述制备仓内部的一侧固定连接有射频离化枪，所述制备仓顶端的中间位置处固定连接有真空泵，所述制备仓的一侧设置有冷却机构，所述冷却机构的输出端设置有风管，所述风管的输出端与制备仓内部靠近顶端的位置处相连通，所述风管上设置有净化结构，所述制备仓一侧靠近底端的位置处设置有下进气口，所述下进气口的输出端与离化腔的内部相连通，所述制备仓内部的顶端固定连接有碘钨灯，所述制备仓内部靠近顶端的位置处设置有便于固定结构；所述便于固定结构包括丝杆，所述丝杆活动连接在制备仓内部靠近顶端的位置处，所述丝杆的顶端设置有光杆，所述光杆的两侧与制备仓的内侧壁固定连接，所述丝杆外部的两侧设置有螺纹套，所述螺纹套的顶端固定连接有滑套，所述螺纹套的底端固定连接有锁紧块，所述锁紧块一侧的内部设置有插槽，所述插槽至今设置有样品架，所述丝杆的一侧贯穿至制备仓的外部并固定连接有把手。优选的，所述丝杆外部两侧的螺纹方向相反，所述螺纹套的内部设置有与丝杆相互配合的螺纹，所述丝杆与螺纹套之间构成螺纹连接。优选的，所述滑套套接在光杆上，所述滑套与光杆之间构成滑动连接。优选的，所述保温结构由空腔、外壳、连接杆、螺母、通孔和保温岩棉组成，所述外壳设置在制备仓的外部，所述外壳与制备仓之间设置有空腔，所述外壳的内部设置有多组通孔，所述制备仓的外侧壁上固定连接有多组连接杆，所述连接杆的一侧贯穿通孔，所述连接杆外部的一侧设置有螺母，所述空腔的内部填充有保温岩棉。优选的，所述连接杆一侧的外部设置有螺纹，所述连接杆与通孔之间一一对应。优选的，所述防爆结构由通管、活塞、固定杆、拉紧板和弹簧组成，所述通管分别设置在制备仓两侧的内部，所述通管的内部设置有活塞，所述活塞的一侧固定连接有固定杆，所述固定杆的一侧固定连接有拉紧板，所述拉紧板一侧的两端与制备仓之间固定连接有弹簧。优选的，所述冷却机构由冷却液箱、风机、蛇形管和支撑板组成，所述支撑板固定连接在制备仓一侧靠近底端的位置处，所述支撑板的顶端固定连接有冷却液箱，所述冷却液箱的一侧固定连接有风机，所述冷却液箱的内部固定连接有蛇形管。优选的，所述蛇形管的一侧与制备仓的内部相连通，所述蛇形管的另一侧与风机的输入端相连通。优选的，所述净化结构由净化箱、圆形板、过滤网、卡块、卡槽和纳米吸附剂组成，所述净化箱固定连接在风管上，所述净化箱的内部设置有圆形板，所述圆形板的顶端固定连接有过滤网，所述圆形板的两侧和两端分别固定连接有卡块，所述净化箱内部的两侧和两端分别设置有卡槽，所述过滤网的内部嵌入有多组纳米吸附剂。优选的，所述卡块的外径小于卡槽的内径，所述卡块与卡槽之间构成卡合结构。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该氮化镓薄膜的制备装置不仅实现了方便对不同大小的薄膜样品架进行固定，适用性较强，实现了保温性能较好，内部温度稳定，提高氮化镓薄膜的制备质量，实现了具有防爆的功能，使用时的安全性能较好，实现了能对制备好的氮化镓薄膜进行快速冷却，功能性较强，而且实现了具有对制备仓内部的气体净化的功能，不容易产生气体污染；（1）通过设置有便于固定结构，便于固定结构包括丝杆，丝杆活动连接在制备仓内部靠近顶端的位置处，丝杆的顶端设置有光杆，光杆的两侧与制备仓的内侧壁固定连接，丝杆外部的两侧设置有螺纹套，螺纹套的顶端固定连接有滑套，螺纹套的底端固定连接有锁紧块，锁紧块一侧的内部设置有插槽，插槽至今设置有样品架，丝杆的一侧贯穿至制备仓的外部并固定连接有把手，在使用时，转动把手，把手带动丝杆转动，丝杆驱动螺纹套对向或者反向运动，这样就能调节锁紧块之间的距离，从而可以使插槽对不同规格的样品架进行固定，从而可以使该装置适用于不同规格的样品，大大提高了该装置的适用性；（2）通过设置有空腔、外壳、连接杆、螺母、通孔和保温岩棉，在使用时，利用螺母和通孔将外壳固定在制备仓的外部，此时制备仓和外壳之间形成一个空腔，然后在空腔内部填充上保温岩棉，利用保温岩棉的隔热性能，这样可以避免制备仓内部热量流失较快，从而可以使制备仓内部温度保持稳定，提高氮化镓薄膜制备的质量；（3）通过设置有通管、活塞、固定杆、拉紧板和弹簧，在使用时，若制备仓内部的压强过大，这样在较大的压力下活塞会被向外顶出，此时固定杆会向外顶动拉紧板，使拉紧板带动弹簧拉伸，直至活塞被从通管内部顶出，从而可以通过通管释放制备仓内部的压力，避免由于操作不当导致发生爆炸的危险，提高该装置使用时的安全性能；（4）通过设置有冷却液箱、风机、蛇形管和支撑板，在使用时，氮化镓薄膜制备完成之后，启动风机，风机通过蛇形管将制备仓内部的热气体抽出，然后冷却液箱内部的冷却液会对经过蛇形管内部的热气体冷却，然后再通过风管排入制备仓的内部，这样可以加快制备仓氮化镓薄膜表面的气体流动，从而可以使氮化镓薄膜快速冷却，简化操作步骤，功能性较强；（5）通过设置有净化箱、圆形板、过滤网、卡块、卡槽和纳米吸附剂，在使用时，制备仓内部的气体被抽出并冷却之后，在经过风管排入制备仓内部的过程中，会先经过净化箱，此时过滤网内部的纳米吸附剂会对气体中的有毒物质进行吸附净化，逐渐去除制备仓内部气体中的有毒物质，从而可以避免在打开制备仓时，制备仓内部气体中的有毒物质扩散至气体中，保护大气环境。附图说明图1为本专利技术的正视剖面结构示意图；图2为本专利技术的净化结构正视剖面放大结构示意图；图3为本专利技术的防爆结构正视局部剖面放大结构示意图；图4为本专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氮化镓薄膜的制备装置，包括制备仓（1）和蒸发室（2），其特征在于：所述蒸发室（2）固定连接在制备仓（1）内部的底端，所述蒸发室（2）的内部固定连接有石英坩埚（3），所述石英坩埚（3）的内部固定连接有电热丝（4），所述蒸发室（2）的顶端固定连接有离化腔（5），所述制备仓（1）的外侧壁上设置有保温结构（6），所述制备仓（1）两侧靠近顶端的位置处设置有防爆结构（7），所述制备仓（1）内部的一侧固定连接有射频离化枪（8），所述制备仓（1）顶端的中间位置处固定连接有真空泵（12），所述制备仓（1）的一侧设置有冷却机构（15），所述冷却机构（15）的输出端设置有风管（22），所述风管（22）的输出端与制备仓（1）内部靠近顶端的位置处相连通，所述风管（22）上设置有净化结构（16），所述制备仓（1）一侧靠近底端的位置处设置有下进气口（17），所述下进气口（17）的输出端与离化腔（5）的内部相连通，所述制备仓（1）内部的顶端固定连接有碘钨灯（11），所述制备仓（1）内部靠近顶端的位置处设置有便于固定结构；/n所述便于固定结构包括丝杆（9），所述丝杆（9）活动连接在制备仓（1）内部靠近顶端的位置处，所述丝杆（9）的顶端设置有光杆（10），所述光杆（10）的两侧与制备仓（1）的内侧壁固定连接，所述丝杆（9）外部的两侧设置有螺纹套（18），所述螺纹套（18）的顶端固定连接有滑套（19），所述螺纹套（18）的底端固定连接有锁紧块（20），所述锁紧块（20）一侧的内部设置有插槽（21），所述插槽（21）至今设置有样品架（13），所述丝杆（9）的一侧贯穿至制备仓（1）的外部并固定连接有把手（14）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种氮化镓薄膜的制备装置，包括制备仓（1）和蒸发室（2），其特征在于：所述蒸发室（2）固定连接在制备仓（1）内部的底端，所述蒸发室（2）的内部固定连接有石英坩埚（3），所述石英坩埚（3）的内部固定连接有电热丝（4），所述蒸发室（2）的顶端固定连接有离化腔（5），所述制备仓（1）的外侧壁上设置有保温结构（6），所述制备仓（1）两侧靠近顶端的位置处设置有防爆结构（7），所述制备仓（1）内部的一侧固定连接有射频离化枪（8），所述制备仓（1）顶端的中间位置处固定连接有真空泵（12），所述制备仓（1）的一侧设置有冷却机构（15），所述冷却机构（15）的输出端设置有风管（22），所述风管（22）的输出端与制备仓（1）内部靠近顶端的位置处相连通，所述风管（22）上设置有净化结构（16），所述制备仓（1）一侧靠近底端的位置处设置有下进气口（17），所述下进气口（17）的输出端与离化腔（5）的内部相连通，所述制备仓（1）内部的顶端固定连接有碘钨灯（11），所述制备仓（1）内部靠近顶端的位置处设置有便于固定结构；
所述便于固定结构包括丝杆（9），所述丝杆（9）活动连接在制备仓（1）内部靠近顶端的位置处，所述丝杆（9）的顶端设置有光杆（10），所述光杆（10）的两侧与制备仓（1）的内侧壁固定连接，所述丝杆（9）外部的两侧设置有螺纹套（18），所述螺纹套（18）的顶端固定连接有滑套（19），所述螺纹套（18）的底端固定连接有锁紧块（20），所述锁紧块（20）一侧的内部设置有插槽（21），所述插槽（21）至今设置有样品架（13），所述丝杆（9）的一侧贯穿至制备仓（1）的外部并固定连接有把手（14）。


2.根据权利要求1所述的一种氮化镓薄膜的制备装置，其特征在于：所述丝杆（9）外部两侧的螺纹方向相反，所述螺纹套（18）的内部设置有与丝杆（9）相互配合的螺纹，所述丝杆（9）与螺纹套（18）之间构成螺纹连接。


3.根据权利要求1所述的一种氮化镓薄膜的制备装置，其特征在于：所述滑套（19）套接在光杆（10）上，所述滑套（19）与光杆（10）之间构成滑动连接。


4.根据权利要求1所述的一种氮化镓薄膜的制备装置，其特征在于：所述保温结构（6）由空腔（601）、外壳（602）、连接杆（603）、螺母（604）、通孔（605）和保温岩棉（606）组成，所述外壳（602）设置在制备仓（1）的外部，所述外壳（602）与制备仓（1）之间设置有空腔（601），所述外壳（602）的内部设置有多组通孔（605），所述制备仓（1）的外侧壁上固定连接有多组连接杆（603），所述连接杆（603）的一侧贯穿通孔（605），所述连接杆（603）外部的一侧设置有螺母（604），所述空腔（601）的内部填充有保温岩棉（606）。


5.根据权利要求4所述的一种氮化镓薄膜的制备装置，其特征在于：所述连接杆（603）一侧的外部设置有螺纹，所述连接杆（603）与通孔（605）之间一一对应。


6.根据权利要求1所述的一种氮化镓薄膜的制备装置，其特征在于：所述防爆结构（7）由通管（701）、活塞（702）、固定杆（703）、拉紧板（704）和弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏，马君健，闫大为，黄金荣，周德金，王晓莹，于理科，
申请(专利权)人：无锡英诺赛思科技有限公司，清华大学无锡应用技术研究院，
类型：发明
国别省市：江苏;32