一种氮化镓单晶生长装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种氮化镓单晶生长装置，具体涉及单晶生长设备技术领域，包括底座、壳体、加热阻丝和塞盖，底座的顶端固定连接有壳体，所述壳体内部的顶端固定连接有筒体，且筒体内部与壳体顶端之间的两侧分别设置有升降结构，所述壳体顶端的一侧设置有排气结构，所述加热台的顶端固定连接有坩埚，且坩埚与壳体的一侧之间分别设置有进料结构。本发明专利技术通过在筒体与壳体之间的两侧分别设置有遮挡结构，以升降结构将网框抬升至筒体的内部后，轻旋空心筒内部的活动杆便可以限位块将在弹簧轴作用下朝外翻转的挡板压入筒体的内部，而后再以卡块对活动杆的顶部进行限位即可对网框内部的晶粒进行保存，其冷却效率亦得到一定程度的提升。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化镓单晶生长装置
本专利技术涉及单晶生长设备
，具体为一种氮化镓单晶生长装置。
技术介绍
氮化镓是一种新型的半导体材料，可在某些激光器的作用下发出紫光，因其具有导热效果好、耐高电压等等特性，而被广泛应用于光电设备当中，在加工过程中多以钠熔融法实现氮化镓单晶的生长，其步骤简单、制备物饱和度强，时现今生产该物品的不二之选，本实用则就其制备装置作为详细阐述。在实现本专利技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：（1）传统的氮化镓单晶生长装置在进行金属钠与镓的热熔时，因缺少搅拌装置而未对坩埚内部物件进行搅拌，融液中氮原子的分散较为不均；（2）传统的氮化镓单晶生长装置内部的放置筒体处缺少遮挡物件，导致冷却降温耗时较多；（3）传统的氮化镓单晶生长装置难以及时地将内部储存的籽晶放入或抽离金属热融液，其运行稳定性亦无法得到保障；（4）传统的氮化镓单晶生长装置未对内部加热所产生的蒸汽进行过滤排放，且一般的阀门缺少警示标志，易酿成事故；（5）传统的氮化镓单晶生长装置的金属材料放置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氮化镓单晶生长装置，包括底座（1）、壳体（2）、加热阻丝（4）和塞盖（7），其特征在于：底座（1）的顶端固定连接有壳体（2），且壳体（2）外侧的内部设置有加热阻丝（4），所述壳体（2）内部的顶端固定连接有筒体（5），且筒体（5）内部与壳体（2）顶端之间的两侧分别设置有升降结构（6），所述筒体（5）与壳体（2）之间的两侧分别设置有遮挡结构（3），所述壳体（2）顶端的内部活动连接有塞盖（7），所述壳体（2）顶端的一侧设置有排气结构（8），所述壳体（2）与筒体（5）一侧之间的顶端固定连接有进水管（9），所述壳体（2）与筒体（5）一侧之间的底端固定连接有出水管（11），且出水管（11）与进水管...

【技术特征摘要】
1.一种氮化镓单晶生长装置，包括底座（1）、壳体（2）、加热阻丝（4）和塞盖（7），其特征在于：底座（1）的顶端固定连接有壳体（2），且壳体（2）外侧的内部设置有加热阻丝（4），所述壳体（2）内部的顶端固定连接有筒体（5），且筒体（5）内部与壳体（2）顶端之间的两侧分别设置有升降结构（6），所述筒体（5）与壳体（2）之间的两侧分别设置有遮挡结构（3），所述壳体（2）顶端的内部活动连接有塞盖（7），所述壳体（2）顶端的一侧设置有排气结构（8），所述壳体（2）与筒体（5）一侧之间的顶端固定连接有进水管（9），所述壳体（2）与筒体（5）一侧之间的底端固定连接有出水管（11），且出水管（11）与进水管（9）之间穿过筒体（5）的内壁固定连接有螺旋盘管（10），所述壳体（2）底端的四个拐角处分别固定连接有支柱（15），所述壳体（2）内部的底端活动连接有加热台（16），且加热台（16）的底端穿过壳体（2）的内壁与底座（1）固定连接有伺服电机（17），所述加热台（16）的顶端固定连接有坩埚（14），且坩埚（14）与壳体（2）的一侧之间分别设置有进料结构（12），所述壳体（2）与坩埚（14）内部的一端之间分别设置有搅拌结构；
所述搅拌结构包括固定块（13），所述固定块（13）分别固定连接在壳体（2）内侧两端的底部，所述固定块（13）一端的底部活动连接有转杆（19），且转杆（19）的内部设置有多组滚动腔室（20），所述滚动腔室（20）的内部活动连接有刷杆（21），所述坩埚（14）内部的底端活动连接有扫杆（18）。


2.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶生长装置，其特征在于：所述遮挡结构（3）由空心筒（301）、卡块（302）、活动杆（303）、限位块（304）、弹簧轴（305）和挡板（306）组成，所述空心筒（301）分别固定连接在壳体（2）内部顶端中间位置处的两侧，所述空心筒（301）的内部穿过壳体（2）的内壁活动连接有活动杆（303），且活动杆（303）的底端固定连接有限位块（304），所述卡块（302）分别固定连接在塞盖（7）的两侧，所述挡板（306）底端的两侧分别设置有挡板（306），且挡板（306）与筒体（5）的一端之间活动连接有弹簧轴（305）。


3.根据权利要求2所述的一种氮化镓单晶生长装置，其特征在于：所述活动杆（303）嵌在空心筒（301）的内部，所述活动杆（303）与空心筒（301）呈同心圆排列。


4.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶生长装置，其特征在于：所述升降结构（6）由收卷盘（601）、定位板（602）、拨块（603）、绳索（604）、导向轮（605）、摇杆（606）和网框（607）组成，所述网框（607）活动连接在筒体（5）的内部，所述收卷盘（601）分别固定连接在壳体（2）外部顶端的两侧，所述收卷盘（601）两端之间的顶部固定连接有定位板（602），且定位板（602）的一端活动连接有拨块（603），所述收卷盘（601）的一端固定连接有摇杆（606），所述导向轮（605）分别固定连接在壳体（2）外部顶端中间位置处的两侧，所述收卷盘（601）与网框（607）之间穿过导向轮（605）固定连接有绳索（604）。


5.根据权利要求4所述的一种氮化镓单晶生长装置，其特征在于：所述收卷盘（601）、导...

【专利技术属性】
技术研发人员：马君健，黄金荣，周德金，徐宏，钟磊，韩婷婷，刘宗伟，
申请(专利权)人：无锡英诺赛思科技有限公司，清华大学无锡应用技术研究院，
类型：发明
国别省市：江苏;32