一种具有绝缘功能的靶材垫块制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有绝缘功能的靶材垫块，涉及靶材垫块领域，针对现有的靶材在进行加工的过程中对稳定性要求较高，普通的垫块不具备固定功能，且不具备绝缘效果，对靶材溅射成膜具有影响，同时存在安全隐患的问题，现提出如下方案，其包括工作台，所述工作台内部设置有滑杆，所述滑杆的表面安装有强力弹簧，所述工作台内部设置有分隔板，所述强力弹簧的一端安装在工作台内部表面。本实用新型专利技术结构新颖，且垫块配备有第一限位块和第二限位块对靶材进行固定，同时采用强力弹簧等机械结构辅助夹紧，减少事故率，垫块采用绝缘材料制成，保证使用者的安全，且垫块中心处设置有凹槽辅助靶材固定，同时在工作台上设置有多个垫块，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有绝缘功能的靶材垫块
本技术涉及靶材垫块领域，尤其涉及一种具有绝缘功能的靶材垫块。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，现有的靶材主要有金属靶材、陶瓷靶材和合金靶材，靶材在进行加工时，往往对平整性和稳定性有较高的要求，靶材在进行安放时往往需要用到垫块来进行辅助安放，现有的靶材垫块大都不具备固定功能，且绝缘效果不理想，容易存在安全隐患为解决这些问题，我们提出了一种具有绝缘功能的靶材垫块。
技术实现思路
本技术提出的一种具有绝缘功能的靶材垫块，解决了现有的靶材在进行加工的过程中对稳定性要求较高，普通的垫块不具备固定功能，且不具备绝缘效果，对靶材溅射成膜具有影响，同时存在安全隐患的问题。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种具有绝缘功能的靶材垫块，包括工作台，所述工作台内部设置有滑杆，所述滑杆的表面安装有强力弹簧，所述工作台内部设置有分隔板，所述强力弹簧的一端安装在工作台内部表面，所述强力弹簧的另一端安装在分隔板的一侧，所述滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有绝缘功能的靶材垫块，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)内部设置有滑杆(2)，所述滑杆(2)的表面安装有强力弹簧(3)，所述工作台(1)内部设置有分隔板(9)，所述强力弹簧(3)的一端安装在所述工作台(1)内部表面，所述强力弹簧(3)的另一端安装在所述分隔板(9)的一侧，所述滑杆(2)表面滑动安装有滑块(8)，所述滑块(8)的上表面安装有限位板(4)，所述限位板(4)的一侧安装有第一限位块(5)，所述限位板(4)安装有所述第一限位块(5)的一侧安装有垫块(6)，所述限位板(4)安装有所述第一限位块(5)的一侧安装有导杆(10)，所述垫块(6)内部开设有固定槽(7)，所述导...

【技术特征摘要】
1.一种具有绝缘功能的靶材垫块，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)内部设置有滑杆(2)，所述滑杆(2)的表面安装有强力弹簧(3)，所述工作台(1)内部设置有分隔板(9)，所述强力弹簧(3)的一端安装在所述工作台(1)内部表面，所述强力弹簧(3)的另一端安装在所述分隔板(9)的一侧，所述滑杆(2)表面滑动安装有滑块(8)，所述滑块(8)的上表面安装有限位板(4)，所述限位板(4)的一侧安装有第一限位块(5)，所述限位板(4)安装有所述第一限位块(5)的一侧安装有垫块(6)，所述限位板(4)安装有所述第一限位块(5)的一侧安装有导杆(10)，所述垫块(6)内部开设有固定槽(7)，所述导杆(10)远离安装有限位板(4)的一端安装有第二限位块(11)，所述第二限位块(11)位于所述固定槽(7)内部。


2.根据权利要求1所述的一种具有绝缘功能的靶材垫块，其特征在于，所述滑杆(2)在所述限位板(4)底部设置有多根，所述分隔板(9)开设有多个安装孔,所述安装孔的位置与所述滑杆(2)相匹配，所述滑杆(2)从安装孔内穿过，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李献忠，李双江，何洪涛，何聪，
申请(专利权)人：深圳市信亿德科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44