温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种具有绝缘功能的靶材垫块，涉及靶材垫块领域，针对现有的靶材在进行加工的过程中对稳定性要求较高，普通的垫块不具备固定功能，且不具备绝缘效果，对靶材溅射成膜具有影响，同时存在安全隐患的问题，现提出如下方案，其包括工作台，所述工...
该专利属于深圳市信亿德科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市信亿德科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。