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本实用新型公开的属于薄膜沉积设备技术领域，具体为一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，其包括薄膜沉积设备、加热板、温度传感器和气体浓度传感器，所述薄膜沉积设备包括进气管、气体喷淋头和基座，所述进气管固定安装在薄膜沉积设备内腔的顶部，所述气体喷淋头...
该专利属于广东顺德悦田薄膜有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东顺德悦田薄膜有限公司授权不得商用。

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