一种连续作业的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种连续作业的真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域，包括外壳，所述外壳内部设置有真空镀膜室，且外壳两侧上部皆设置有真空仓，所述真空仓内部转动套接有锁闭环，且锁闭环一侧设置有通口，所述外壳两侧上部皆安装有贯穿真空仓并与锁闭环连接的第一电机，所述外壳靠近第一电机通过开设的滑槽贯穿有机械臂，所述机械臂延伸至真空镀膜室内部的一端底部设置有吸盘。本实用新型专利技术通过设置的蒸发装置、镀膜托盘对基片进行蒸汽镀膜，再结合设置的真空仓、机械臂在真空环境下更换基片从而实现连续作业的功能，且通过设置的电源接口供电，结合密封门及一体门锁快捷的抽出、插入蒸发装置。

【技术实现步骤摘要】
一种连续作业的真空镀膜机
本技术涉及真空镀膜
，具体为一种连续作业的真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机,主要是在真空环境下,通过真空离子蒸发的手段来将靶材表面组分以原子团或是离子的形式蒸发出来,随后通过技术手段将其沉降在基片表面,从而通过成膜过程来形成薄膜。但是目前镀膜机内部的蒸发装置采用螺丝固定的方式来固定夹具,拆卸和安装电热丝时都需要通过螺丝刀进行,每次拆卸清洁操作较为繁琐，并且目前多数真空镀膜机无法连续作业，每块基片镀膜完成后需要手动更换新基片并重新抽真空，效率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于：为了解决现有蒸发装置拆装不方便、无法连续作业的问题，提供一种连续作业的真空镀膜机。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种连续作业的真空镀膜机，包括外壳，所述外壳内部设置有真空镀膜室，且外壳两侧上部皆设置有真空仓，所述真空仓内部转动套接有锁闭环，且锁闭环一侧设置有通口，所述外壳两侧上部皆安装有贯穿真空仓并与锁闭环连接的第一电机，所述外壳靠近第一电机通过开设的滑槽贯穿有机械臂，所述机械臂延伸至真空镀膜室本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种连续作业的真空镀膜机，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)内部设置有真空镀膜室(2)，且外壳(1)两侧上部皆设置有真空仓(3)，所述真空仓(3)内部转动套接有锁闭环(4)，且锁闭环(4)一侧设置有通口(5)，所述外壳(1)两侧上部皆安装有贯穿真空仓(3)并与锁闭环(4)连接的第一电机(16)，所述外壳(1)靠近第一电机(16)通过开设的滑槽贯穿有机械臂(7)，所述机械臂(7)延伸至真空镀膜室(2)内部的一端底部设置有吸盘(8)，所述外壳(1)内部中间远离机械臂(7)的一端设置有镀膜托盘(10)，所述外壳(1)上部靠近真空仓(3)的一端设置有与真空仓(3)连通的真空管(21)，且真...

【技术特征摘要】
1.一种连续作业的真空镀膜机，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)内部设置有真空镀膜室(2)，且外壳(1)两侧上部皆设置有真空仓(3)，所述真空仓(3)内部转动套接有锁闭环(4)，且锁闭环(4)一侧设置有通口(5)，所述外壳(1)两侧上部皆安装有贯穿真空仓(3)并与锁闭环(4)连接的第一电机(16)，所述外壳(1)靠近第一电机(16)通过开设的滑槽贯穿有机械臂(7)，所述机械臂(7)延伸至真空镀膜室(2)内部的一端底部设置有吸盘(8)，所述外壳(1)内部中间远离机械臂(7)的一端设置有镀膜托盘(10)，所述外壳(1)上部靠近真空仓(3)的一端设置有与真空仓(3)连通的真空管(21)，且真空管(21)靠近真空仓(3)的一端安装有单向阀(6)，所述真空仓(3)内部中间靠近单向阀(6)的一端设置有基片托盘(9)，所述外壳(1)靠近隔板(15)的一端设置有底座(20)，且底座(20)顶部安装有第三电机(18)，所述第三电机(18)输出端通过拨片连接有升降杆(19)，且升降杆(19)远离外壳(1)一端上部安装有与机械臂(7)相连的第二电机(17)，所述真空镀膜室(2)内部下部安装有蒸发装置(11)，且蒸发装...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄正龙，
申请(专利权)人：深圳市亨利莱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44