一种微孔光学元件输入增强膜镀膜工装制造技术

本发明专利技术公开了一种微孔光学元件输入增强膜镀膜工装，包括微孔光学元件固定装置和设备连接装置，装置的特征在于：按照定位标记装配微孔光学元件以保证孔方向与蒸发源平行，采用定位环将微孔光学元件固定于底座凹槽中，随后用螺栓贯穿镀膜盖、定位环、微孔光学元件和底座等四个部分，在底座下方加上一层底板，最后用螺帽固定并完成微孔光学元件固定装置的装配。将装配完成的微孔光学元件固定装置放置于座上，然后将该装置通过挂环固定在镀膜设备上。设备连接装置使得微孔光学元件固定装置能够适用于常规镀膜设备。在常规工艺条件下，采用该装置保证了镀膜均匀性，以及批次间、批次内的膜层一致性，从而保证了微孔光学元件功能的一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种微孔光学元件输入增强膜镀膜工装
本专利技术涉及微孔光学元件镀膜
，特别是涉及一种微孔光学元件输入增强膜镀膜工装。
技术介绍
微孔光学元件指由数百万甚至千万以上的微米级通道阵列组成的薄片，包括有微通道板、毛细管透镜、聚焦元件、准直元件等，可应用于微光夜视、核爆诊断、X射线天文学、脉冲星导航、医疗、安检等各领域。在系统或产品中，微孔光学元件一般是作为功能件，即需要具备满足要求的光学性能，因此，对于微孔光学元件而言除了结构符合设计要求外，还需要对其表面进行特殊处理，表面处理手段主要分为镀膜和抛光两大类。以微通道板为例，在微光夜视系统中要求其具有电子倍增的功能。微通道板通过自身特有结构能够实现电子倍增功能，其原理是输入的电子在极间电场的作用下按照特定轨迹运动，进入微通道中实现电子倍增。但并不是所有的输入电子都能顺利进行微通道中，部分电子会被非开口区电极层材料吸收变成无效电子，导致微通道板的电子倍增效率降低，此时我们就需要在微通道板输入端制作一层增强膜，该膜的二次电子发射系数高，输入电子轰击在非开口区增强膜上产生二次电子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微孔光学元件输入增强膜镀膜工装，其特征在于：/n该工装包括微孔光学元件固定装置和设备连接装置；/n所述微孔光学元件固定装置位于设备连接装置内，所述设备连接装置位于镀膜机顶部的夹具内。/n所述微孔光学元件固定装置包括镀膜盖(1)、定位环(2)、微孔光学元件(3)、底座(4)、底板(5)及定位标记(9)；所述定位标记(9)用于装夹并标记微孔光学元件(3)的摆放位置并将微孔光学元件(3)固定于底座(4)上；所述定位环(2)安装在微孔光学元件(3)的上方，在其上表面安装有镀膜盖(1)；所述底座(4)的下方安装一层底板(5)；所述镀膜盖(1)、定位环(2)、微孔光学元件(3)、底座(4)和底板(...

【技术特征摘要】
1.一种微孔光学元件输入增强膜镀膜工装，其特征在于：
该工装包括微孔光学元件固定装置和设备连接装置；
所述微孔光学元件固定装置位于设备连接装置内，所述设备连接装置位于镀膜机顶部的夹具内。
所述微孔光学元件固定装置包括镀膜盖(1)、定位环(2)、微孔光学元件(3)、底座(4)、底板(5)及定位标记(9)；所述定位标记(9)用于装夹并标记微孔光学元件(3)的摆放位置并将微孔光学元件(3)固定于底座(4)上；所述定位环(2)安装在微孔光学元件(3)的上方，在其上表面安装有镀膜盖(1)；所述底座(4)的下方安装一层底板(5)；所述镀膜盖(1)、定位环(2)、微孔光学元件(3)、底座(4)和底板(5)五个部分固定连接为一个整体；
所述设备连接装置包括盘体(10)、座(11)、支撑杆(12)及挂环(13)；将装配完成的微孔光学元件固定装置放置于座(11)上并进行固定，将固定好的座(11)按照支撑杆方位安装到盘体(10)上，在盘体(10)上安装挂环(13)。


2.根据权利要求1所述的微孔光学元件输入增强膜镀膜工装，其特征在于：
所述底座(4)包括上、下表面，与微孔光学元件接触面为上表面，另一面为下表面；其上、下表面非平行，上表面外低内高，上、下表面的夹角等于微孔光学元件的斜切角。


3.根据权利要求1所述的微孔光学元件输入增强膜镀膜工装，其特征在于：
所述底座(4)和定位环(2)的表面粗糙度Ra需达到1.6μm以上；
所述定位环(2)设置在底座(4)上表面互为120°夹角的三个放置微孔光学元件圆形台阶外的圆形凹槽上。


4.根据权利要求1所述的微孔光学元件输入增强膜镀膜工装，其特征在于：
还包括位于底座(4)上R32.5mm处，且与两个圆孔互为60°夹角的定位钉(7)及位于镀膜盖(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓峰，龚燕妮，常乐，曾进能，潘治云，丛晓庆，张俊，周善堃，赵恒，
申请(专利权)人：北方夜视技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：云南;53