特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置。特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法包括如下步骤：获取样品片的前值和标准片的前值；根据如下公式计算标准片的标准值：OPAL

【技术实现步骤摘要】
特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置
本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置。
技术介绍
CDSEM(CriticalDimensionScanningElectronMicroscope，特征尺寸扫描电子显微镜)机台是在半导体制程过程中用于测量形成在晶圆上的图案的特征尺寸的仪器。为了确保CDSEM的精度，从而保证晶圆上图案的特征尺寸测量结果的准确度，需要对CDSEM机台进行周期性的维护、保养，例如至少维持月度的维护、保养，以满足机台最佳的性能。对CDSEM机台进行维护、保养的过程中，CDSEM机台的精度校准是至关重要的一个步骤。当前对CDSEM机台的校准时间约为6.5h，相比于其他量测设备，较长的校准时间会导致CDSEM机台的利用率大大降低，从而限制了半导体制程效率的提高。因此，如何提高CDSEM机台的校准效率，节省校准时间，从而提高半导体制程效率，是当前亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，包括如下步骤：/n获取样品片的前值和标准片的前值；/n根据如下公式计算标准片的标准值：/nOPAL

【技术特征摘要】
1.一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，包括如下步骤：
获取样品片的前值和标准片的前值；
根据如下公式计算标准片的标准值：
OPALtarget＝QCtarget×OPALactual/QCactual
式中，OPALtarget表示标准片的标准值，QCactual表示样品片的前值，QCtarget表示样品片的目标值，OPALactual表示标准片的前值；
根据所述标准片的标准值自动校准特征尺寸扫描电子显微镜机台；
采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片的测试值；
判断所述样品片的测试值与所述样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认所述特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。


2.根据权利要求1所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，获取样品片前值和标准片的前值的具体步骤包括：
采用校准前的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取样品片中的样品图案的特征尺寸，作为所述样品片的前值；
采用校准前的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取标准片中的标准图案的特征尺寸，作为所述标准片的前值。


3.根据权利要求2所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，根据所述标准片的标准值自动校准特征尺寸扫描电子显微镜机台的具体步骤包括：
将所述标准片的标准值输入机台自动校准程序中，并采用所述标准片执行所述自动校准程序，进行特征尺寸扫描电子显微镜机台的自动校准。


4.根据权利要求3所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片的测试值的具体步骤包括：
采用经所述机台自动校准程序校准后的所述特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片中的所述样品图案的特征尺寸，作为所述样品片的测试值。


5.根据权利要求3所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片的测试值之前，还包括如下步骤：
检测所述样品片上是否存在静电荷，若是，则释放所述静电荷。


6.根据权利要求1所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，在确认所述样品片的测试值与所述样品片的目标值之间的差值超出所述预设范围之后，还包括如下步骤：
检测所述样品片上是否存在静电荷，若是，则释放所述静电荷；
采用校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取释放所述静电荷之后的所述样品片的测试值；
判断释放所述静电荷之后的所述样品片的测试值与所述样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认所述特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。


7.根据权利要求6所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，若确认释放所述静电荷之后的所述样品片的测试值与所述样品片的目标值之间的差值仍超出所述预设范围，则执行如下步骤：
以校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取的所述样品片的测试值作为所述样品片的前值、以校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取的所述标准片的测试值作为所述标准片的前值，根据如下公式计算新的标准片的标准值：
OPALtarget＝QCtarget×OPALactual/QCactual
式中，OPALtarget表示标准片的标准值，QCactual表示样品片的前值，QCtarget表示样品片的目标值，OPALactual表示标准片的前值；
根据所述标准片的标准值再次自动校准特征尺寸扫描电子显微镜机台；
采用再次自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片新的测试值；
判断所述样品片新的测试值与所述样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认所述特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。


8.一种特征尺寸扫描电子显微...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗振斌，彭超，芈健，蒋鹏，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42