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本发明涉及一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置。特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法包括如下步骤：获取样品片的前值和标准片的前值；根据如下公式计算标准片的标准值：OPAL...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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