多极透镜及使用了该多极透镜的像差校正器、带电粒子束装置制造方法及图纸

在产生多极场的绕线型的像差校正器中，缓和为了配置电流线所要求的机械位置精度。因此，构成像差校正器的多极透镜具有磁性体芯(150)和多个电流线(101)～(112)，在磁性体芯的内壁设有多个槽(151)～(162)，多个槽的中心(151a)～(162a)相对于磁性体芯的中心轴(150a)轴对称地配置，多个电流线的主线部分别配置于磁性体芯的多个槽的任一个。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多极透镜及使用了该多极透镜的像差校正器、带电粒子束装置
本专利技术涉及带电粒子束应用技术，特别涉及搭载了像差校正器的扫描电子显微镜、透射电子显微镜等带电粒子束装置。
技术介绍
在以扫描电子显微镜(SEM：ScanningElectronMicroscope)、扫描透射电子显微镜(STEM：ScanningTransmissionElectronMicroscope)等为代表的带电粒子束装置中，为了提高分辨率而导入了像差校正器。像差校正器的类型之一中，由设置为多层的多极透镜构成，作为通过产生电场或磁场而使多个多极场合并的多极透镜，去除穿过内部的带电粒子束包含的像差。专利文献1公开了使用来自多个电流线的磁场来产生多极场的绕线型的像差校正器。另外，在专利文献2中公开了，为了减少偏转彗差，在物镜内设置透镜内偏转器，作为该透镜内偏转器，公开了使用在环状的铁氧体磁芯卷绕环形线圈而成的环型的偏转器的例子。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-54581号公报专利文献2：日本特开2013-22本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多极透镜，其特征在于，/n具有：/n磁性体芯；以及/n多个电流线，/n在所述磁性体芯的内壁设置有多个槽，所述多个槽的中心相对于所述磁性体芯的中心轴轴对称地配置，/n所述多个电流线的主线部分别配置于所述磁性体芯的所述多个槽的任一个。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种多极透镜，其特征在于，
具有：
磁性体芯；以及
多个电流线，
在所述磁性体芯的内壁设置有多个槽，所述多个槽的中心相对于所述磁性体芯的中心轴轴对称地配置，
所述多个电流线的主线部分别配置于所述磁性体芯的所述多个槽的任一个。


2.根据权利要求1所述的多极透镜，其特征在于，
所述多个槽分别具有：朝向所述内壁扩展的锥形部；以及配置所述电流线的主线部的内室。


3.根据权利要求1所述的多极透镜，其特征在于，
所述电流线具有连接部，该连接部将所述主线部从所述磁性体芯的外部向所述槽内导入，或者将所述主线部从所述槽内向所述磁性体芯的外部导出，
在所述电流线的连接部与所述磁性体芯之间配置有非磁性间隔件。


4.根据权利要求1所述的多极透镜，其特征在于，
所述电流线具有连接部，该连接部将所述主线部从所述磁性体芯的外部向所述槽内导入，或者将所述主线部从所述槽内向所述磁性体芯的外部导出，
具有在所述磁性体芯的所述槽的长度方向上对置的磁性体盖，
所述电流线的连接部配置于设置于所述磁性体芯与所述磁性体盖之间的贯通孔内。


5.根据权利要求1所述的多极透镜，其特征在于，
所述电流线...

【专利技术属性】
技术研发人员：中野朝则，山泽雄，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP