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多极透镜及使用了该多极透镜的像差校正器、带电粒子束装置制造方法及图纸
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下载多极透镜及使用了该多极透镜的像差校正器、带电粒子束装置的技术资料
文档序号:26734766
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在产生多极场的绕线型的像差校正器中,缓和为了配置电流线所要求的机械位置精度。因此,构成像差校正器的多极透镜具有磁性体芯(150)和多个电流线(101)~(112),在磁性体芯的内壁设有多个槽(151)~(162),多个槽的中心(151a)~...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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