一种用于曝光机的曝光光头标定方法及标定装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于曝光机的曝光光头标定方法，包括以下步骤：步骤1、移动光敏标定板至曝光光头下方，然后所有曝光光头在光敏标定板上曝光出标定图案；步骤2、通过对准相机对光敏标定板上的标定图案进行检测；步骤3、根据步骤2中的检测结果计算所有曝光光头的相对位置，进而完成一次曝光光头的位置标定，本申请通过在吸盘上设置有光敏标定板，曝光光头在标定时保持位置不动，所有光头一次性同时在光敏标定板上面爆光出标定图案，然后利用对准相机抓取上述曝光光头在光敏标定板上面爆光的标定图案，以此来计算标定各个曝光光头的相对位置关系，因而避免了曝光光头由于质量很重在移动过程中不可避免的较大运动误差。

【技术实现步骤摘要】
一种用于曝光机的曝光光头标定方法及标定装置
本专利技术涉及曝光机
，具体是一种用于曝光机的曝光光头标定方法及标定装置。
技术介绍
在激光直写曝光机
，光头位置标定是激光直写曝光机设备曝光的重要工序。设备运行一段时间后，光头位置关系偏差会发生图形拼接不上等问题，导致产品曝光不良报废，因此，每隔一段时间就要对光头位置关系进行标定。此外，PCB板需要多次曝光，每次曝光时都要对其进行对准确定其准确位置。但光头的标定和PCB板的对准都需要曝光光头和对准相机在其运动轴上运动，并且曝光光头的质量很重，在移动过程中则不可避免的产生较大的运动误差，而曝光过程中需要两者的数据共同对机台提供参考，由此就产生了由于运动轴的误差所导致的曝光机台系统误差。甚至影响曝光产品的精度和生产成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于曝光机的曝光光头标定方法及标定装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于曝光机的曝光光头标定方法，包括以下步骤：步骤1、移动光敏标定板至本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于曝光机的曝光光头标定方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤1、移动光敏标定板(7)至曝光光头(1)下方，然后所有曝光光头(1)在光敏标定板(7)上曝光出标定图案；/n步骤2、步骤1中的光敏标定板(7)移动至对准相机(2)下方，通过对准相机(2)对光敏标定板(7)上的标定图案进行检测；/n步骤3、根据步骤2中的检测结果计算所有曝光光头(1)的相对位置，进而完成一次曝光光头(1)的位置标定。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于曝光机的曝光光头标定方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、移动光敏标定板(7)至曝光光头(1)下方，然后所有曝光光头(1)在光敏标定板(7)上曝光出标定图案；
步骤2、步骤1中的光敏标定板(7)移动至对准相机(2)下方，通过对准相机(2)对光敏标定板(7)上的标定图案进行检测；
步骤3、根据步骤2中的检测结果计算所有曝光光头(1)的相对位置，进而完成一次曝光光头(1)的位置标定。


2.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的曝光光头标定方法，其特征在于，所述步骤(1)中所有曝光光头(1)同时在光敏标定板(7)上曝光出标定图案。


3.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的曝光光头标定方法，其特征在于，所述步骤(2)中通过对准相机(2)在光敏标定板(7)上方水平移动来抓取曝光光头(1)在光敏标定板(7)上曝光的标定图案。


4.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的曝光光头标定方法，其特征在于，所述步骤(1)中光敏标定板(7)移动至曝光光头(1)下方时，所述曝光光头(1)在光敏标定板(7)上的投影位置位于所述光敏标定板(7)上未曝光标定图案的区域。


5.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的曝光光头标定方法，其特征在于，所述光敏标定板(7)上设有至少一个光敏标定区，所述光敏标定区的数量不小于所述曝光光头的数量。


6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：程刚，陈东，项宗齐，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34