一种光学元件调整装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及曝光设备技术领域，尤其涉及一种光学元件调整装置。该光学元件调整装置包括镜座和第一调节组件，镜座包括从内至外依次设置的镜座内环、镜座外环和镜座本体，镜座内环被配置为固定安装光学元件，镜座内环与镜座外环通过第一柔性铰链连接，以使镜座内环能够相对于镜座外环沿X向移动，镜座外环与镜座本体通过第二柔性铰链连接，以使镜座外环能够相对于镜座本体沿Y向移动以带动镜座内环沿Y向移动，第一调节组件能够沿水平方向移动以驱动镜座内环沿X向、Y向移动，通过镜座内环和镜座外环的配合将X向调整和Y向调整分离开，能够减小X向运动和Y向运动之间的串扰，提高调整精度，且结构简单，成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种光学元件调整装置
本专利技术涉及曝光设备
，尤其涉及一种光学元件调整装置。
技术介绍
曝光设备是指通过光刻工艺实现集成电路制作的设备，由于镜片的制造和装配误差，容易使得物镜的成像像质变差，因此，通常需要采用调整装置调整镜片的位置以提高镜片的对准精度。常见的调整装置分为手动调整、半自动调整和全自动调整。目前的手动调整装置大都仅能实现镜片的X向、Y向的移动以及绕Z向的转动三个自由度的调整，该装置对X/Y/Rz三个自由度位置的调整并不解耦，且存在运动奇异性，其调整精度低；半自动调整装置是通过电动轴根据CCD相机定位进行调整，其调整精度依赖于CCD相机的检测精度以及电动轴的驱动精度，结构复杂，且成本高昂；全自动调整装置是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，若调整装置处于离线状态，则无法进行自动调整。因此，亟待需要一种调整精度高，结构简单，能够适用于离线状态的光学元件调整装置以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光学元件调整装置，以解决现有技术中存在的技术问题，该光学元件调本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学元件调整装置，其特征在于，包括：/n镜座(1)，包括从内至外依次设置的镜座内环(11)、镜座外环(12)和镜座本体(13)，所述镜座内环(11)被配置为固定安装光学元件(100)，所述镜座内环(11)与所述镜座外环(12)通过第一柔性铰链(4)连接，以使所述镜座内环(11)能够相对于所述镜座外环(12)沿X向移动，所述镜座外环(12)与所述镜座本体(13)通过第二柔性铰链(5)连接，以使所述镜座外环(12)能够相对于所述镜座本体(13)沿Y向移动以带动所述镜座内环(11)沿Y向移动；/n第一调节组件，能够驱动所述镜座内环(11)沿X向和/或Y向移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种光学元件调整装置，其特征在于，包括：
镜座(1)，包括从内至外依次设置的镜座内环(11)、镜座外环(12)和镜座本体(13)，所述镜座内环(11)被配置为固定安装光学元件(100)，所述镜座内环(11)与所述镜座外环(12)通过第一柔性铰链(4)连接，以使所述镜座内环(11)能够相对于所述镜座外环(12)沿X向移动，所述镜座外环(12)与所述镜座本体(13)通过第二柔性铰链(5)连接，以使所述镜座外环(12)能够相对于所述镜座本体(13)沿Y向移动以带动所述镜座内环(11)沿Y向移动；
第一调节组件，能够驱动所述镜座内环(11)沿X向和/或Y向移动。


2.根据权利要求1所述的光学元件调整装置，其特征在于，所述第一调节组件包括水平调节杆(2)，所述水平调节杆(2)沿水平方向延伸，所述水平调节杆(2)依次穿过所述镜座本体(13)和所述镜座外环(12)并能够与所述镜座内环(11)相抵接，且所述水平调节杆(2)与所述镜座本体(13)螺纹连接，并与所述镜座外环(12)滑动连接，通过旋拧所述水平调节杆(2)使所述镜座内环(11)沿X向和/或Y向移动。


3.根据权利要求2所述的光学元件调整装置，其特征在于，两个所述水平调节杆(2)对称设置在所述第一柔性铰链(4)的两侧。


4.根据权利要求3所述的光学元件调整装置，其特征在于，两个所述水平调节杆(2)的延伸线均通过所述镜座内环(11)的中心点。


5.根据权利要求4所述的光学元件调整装置，其特征在于，两个所述水平调节杆(2)相互垂直设置，两个所述水平调节杆(2)中的一个沿X向延伸，另一个沿Y向延伸。


6.根据权利要求2所述的光学元件调整装置，其特征在于，所述水平调节杆(2)与所述镜座内环(11)相抵接的一端为球状。


7.根据权利要求6所述的光学元件调整装置，其特征在于，所述镜座内环(11)上设置有凹槽，所述水平调节杆(2)能够与所述凹槽的底部相抵接。


8.根据权利要求7所述的光学元件调整装置，其特征在于，所述凹槽为球状，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：马汝坤，彭云平，黄清清，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31