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本发明公开了一种用于曝光机的曝光光头标定方法，包括以下步骤：步骤1、移动光敏标定板至曝光光头下方，然后所有曝光光头在光敏标定板上曝光出标定图案；步骤2、通过对准相机对光敏标定板上的标定图案进行检测；步骤3、根据步骤2中的检测结果计算所有曝光...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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