【技术实现步骤摘要】
交接力测量装置及方法、光刻机
本专利技术涉及一种光刻设备，特别涉及一种掩模或硅片交接过程中交接力测量装置及方法、光刻机。
技术介绍
光刻机工作时，掩模或硅片传输分系统中，需要对掩模版或硅片快速、准确、可靠的从一个工位交接至另一工位。为保证掩模版或硅片的交接精度，要求掩模版或硅片在交接时变形不宜过大，由此需对交接时掩模版或硅片受力情况进行测量分析。目前，在传输过程中，还不存在对传输交接力测量的装置，仅仅依靠对传输结构进行理论速度规划或经验控制等是无法满足需求的。具体的，在掩模传输分系统中，交换版手模块的作用是执行掩模台与取放版机械手上掩模版的交接操作，在吸附掩模版以及交接时存在吸附力和交接冲击力。如图1所示，交换版手1侧升降轴高速由Home位运动到LPA1工位，然后以最低速由LPA1工位运动到LPA2工位，即与掩模台3交接的工位。在与掩模台3交接瞬间，虽然交换版手1带动掩模版2运动速度很小，但交换版手1仍会对掩模台3产生瞬态冲击力。掩模台3稳定时伺服力可表示为正弦波载荷F＝A*sin(ωt)，其中ω为伺服带宽频率，A为...
【技术保护点】
1.一种交接力测量装置，其特征在于，包括：/n工件承载单元，用于承载工件；/n工件传输单元，用于传输工件至所述工件承载单元，实现工件的交接；/n测力单元，设置在所述工件或工件承载单元上，用于测量工件交接过程中工件或工件承载单元的受力并以信号形式输出；/n反馈控制单元，与所述工件承载单元、所述测力单元及所述工件传输单元信号连接，用于接收所述测力单元输出的信号，并将所述信号分析处理后反馈至所述工件承载单元或所述工件传输单元。/n
【技术特征摘要】
1.一种交接力测量装置，其特征在于，包括：
工件承载单元，用于承载工件；
工件传输单元，用于传输工件至所述工件承载单元，实现工件的交接；
测力单元，设置在所述工件或工件承载单元上，用于测量工件交接过程中工件或工件承载单元的受力并以信号形式输出；
反馈控制单元，与所述工件承载单元、所述测力单元及所述工件传输单元信号连接，用于接收所述测力单元输出的信号，并将所述信号分析处理后反馈至所述工件承载单元或所述工件传输单元。
2.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述测力单元包括薄片式压力传感器。
3.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件为掩模版或硅片。
4.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件承载单元为掩模台或具有吸附能力的平台。
5.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件传输单元为交换版手或机械手片叉。
6.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件传输单元上设置有第一控制器以控制工件的传输参数。
7.根据权利要求6所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件传输参数包括工件传输的速度、加速度及加加速度。
8.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于，所述工件承载单元上设置有第二控制器以控制工件的吸附参数。
9.根据权利要求8所述的交接力测量装置，其特征在于，所述吸附参数包括吸附真空的压强。
10.根据权利要求1所述的交接力测量装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘月，张阔峰，陈还，牛增欣，周美君，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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