本发明专利技术提供了一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，包括旋转底座、传动底座、旋转框架、固定部、回转电机、两组传送机构和一组导向机构，固定部固定在相应腔室内，回转电机安装在固定部内，且回转电机的电机轴连接旋转底座的中心，旋转底座安装在固定部上，且旋转底座和固定部之间设有轴承，回转电机连接并驱动旋转底座旋转。本发明专利技术基片架上端受到两侧的磁导向的均匀的磁力，基片架上端稳定、无晃动，旋转结构稳定驱动基片架旋转，两者结合使基片架旋转时能稳定、无位移偏差，利于旋转掉头后的镀膜稳定性和均匀性。稳定性和均匀性。稳定性和均匀性。
【技术实现步骤摘要】
一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置
[0001]本专利技术涉及镀膜生产
，具体为一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片。镀膜需要在一条镀膜生产线上完成，镀膜生产线包括多个连续的功能室，经过前期的抽真空等步骤后进入工艺室进行镀膜操作。ARC镀膜需要进行多层镀膜，生产线较长，为了缩短镀膜生产线的长度，提高厂房的空间利用率，常常需要将镀膜生产线折叠，即基片沿着U形通道运行，换句话说，基片需要掉头旋转，转动过程易不平稳、旋转后和生产线配合不严密。
技术实现思路
[0003]针对现有技术存在的上述问题，本专利技术的目的是提供一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，基片架上端受到两侧的磁导向的均匀的磁力，基片架上端稳定、无晃动，旋转结构稳定驱动基片架旋转，两者结合使基片架旋转时能稳定、无位移偏差，利于旋转掉头后的镀膜稳定性和均匀性。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术所采用的技术方案是：
[0005]一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，包括旋转底座、传动底座、旋转框架、固定部、回转电机、两组传送机构和一组导向机构，固定部固定在相应腔室内，回转电机安装在固定部内，且回转电机的电机轴连接旋转底座的中心，旋转底座安装在固定部上，且旋转底座和固定部之间设有轴承，回转电机连接并驱动旋转底座旋转。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进为：
[0007]传动底座通过固定螺栓安装在旋转底座上，传动底座为中空的长筒状的柱体，传动底座的长度方向和旋转底座的平面平行。
[0008]旋转框架安装在传动底座的上表面，旋转框架包括两根支撑竖杆和一根支撑横杆，支撑竖杆和支撑横杆均为直杆状，两根支撑竖杆平行间隔设置，支撑竖杆垂直连接传动底座，支撑横杆的两端各连接在一根支撑竖杆的中部。
[0009]支撑竖杆底部固定设有两个连接翼，连接翼凸出支撑竖杆的表面，连接翼垂直连接支撑竖杆，两个连接翼相对支撑竖杆对称布置，两个连接翼通过固定螺栓连接在传动底座的上表面。
[0010]两组传送机构位于旋转框架的下端，每组传送机构沿着传动底座的长度方向布置，两组传送机构分列于传动底座的长度方向的两侧。
[0011]每组传送机构包括传送电机、同步带、多个同步轮、多个磁流体和多个内传动轮，多个同步轮位于中空的传动底座内，多个同步轮沿着传动底座的长度方向均匀间隔布置，
多个磁流体和多个内传动轮位于中空的传动底座外部，一个传动轮、磁流体和同步轮形成一组传动装置，传动轮、磁流体和同步轮依次连接并传递驱动，传动轮圆周面为内凹的。
[0012]多个同步轮张紧同步带，传送电机一端接触同步带，通过与同步带间的摩擦力连接并驱动同步带转动，同步带带动多个同步轮转动。
[0013]导向机构包括一个平衡板、一个导向安装板和多个磁导向，导向安装板位于旋转框架的顶端，导向安装板为长矩形的板状，导向安装板和支撑竖杆垂直连接，支撑竖杆连接导向安装板的中部，平衡板连接在导向安装板上部的中部。
[0014]多个磁导向分成两组，每组的多个磁导向沿着导向安装板的长度方向均匀间隔布置，且多个磁导向相对支撑竖杆对称布置。
[0015]基片架的下端位于传动轮的内凹圆周面内，基片架的上端位于磁导向之间，基片架的上端为磁性结构。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：基片架上端受到两侧的磁导向的均匀的磁力，两边磁力平衡，受力均匀稳定，基片架上端稳定、无晃动，旋转结构稳定驱动基片架旋转，两者结合使基片架旋转时能稳定、无位移偏差，利于旋转掉头后的镀膜稳定性和均匀性。
附图说明
[0017]图1为本专利技术一个实施例的主视结构示意图；
[0018]图2为本专利技术一个实施例的侧视结构示意图；
[0019]图3为本专利技术一个实施例的俯视结构示意图；
[0020]图4为图2下端放大示意图；
[0021]图5为图2上端放大示意图。
具体实施方式
[0022]下面结合实施例对本专利技术提供的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置作进一步详细、完整地说明。下面描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0023]一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，如图1～图5所示，包括旋转底座1、传动底座2、旋转框架3、固定部4、回转电机5、两组传送机构和一组导向机构。
[0024]固定部4固定在相应腔室内，回转电机5安装在固定部4内，且回转电机5的电机轴连接旋转底座1的中心，旋转底座1安装在固定部4上，且旋转底座1和固定部4之间设有轴承。即，回转电机5连接并驱动旋转底座1旋转。
[0025]传动底座2安装在旋转底座1上，具体的，传动底座2通过固定螺栓安装在旋转底座1上。传动底座2为中空的长筒状的柱体，传动底座2的长度方向和旋转底座1的平面平行，即传动底座2的中空的中心轴和旋转底座1的平面平行。
[0026]旋转框架3用于支撑基片架11，旋转框架3安装在传动底座2的上表面。旋转框架3包括两根支撑竖杆31和一根支撑横杆32。支撑竖杆31和支撑横杆32均为直杆状，两根支撑竖杆31平行间隔设置。支撑竖杆31垂直连接传动底座2，具体的，支撑竖杆31底部固定设有两个连接翼12，连接翼12凸出支撑竖杆31的表面，连接翼12垂直连接支撑竖杆31，两个连接
翼12相对支撑竖杆31对称布置。两个连接翼12通过固定螺栓连接在传动底座2的上表面。支撑横杆32的两端各连接在一根支撑竖杆31的中部，即两根支撑竖杆31和一根支撑横杆32连接形成H形。
[0027]两组传送机构位于旋转框架3的下端，每组传送机构沿着传动底座2的长度方向布置，两组传送机构分列于传动底座2的长度方向的两侧。每组传送机构包括传送电机6、同步带7、多个同步轮8、多个磁流体9和多个内传动轮10。具体的，多个同步轮8位于中空的传动底座2内，多个同步轮8沿着传动底座2的长度方向均匀间隔布置。多个磁流体9和多个内传动轮10位于中空的传动底座2外部，一个传动轮10、磁流体9和同步轮8形成一组传动装置，传动轮10、磁流体9和同步轮8依次连接并传递驱动。传动轮10圆周面为内凹的，具体的，沿着传动轮10的径向，其圆周面两边高、中间低。多个同步轮8张紧同步带7，即多个同步轮8位于同步带7的内侧，且多个同步轮8通过同步带7传递运动。传送电机6一端接触同步带7，通过与同步带7间的摩擦力连接并驱动同步带7转动，同步带7带动多个同步轮8转动。
[0028]导向机构包括一个平衡板14、一个导向安装板15和多个磁导向13。导向安装板15位于旋转框架3的顶端，导向安装板15为长矩形的板状，导向安装板15和支撑竖杆31垂直本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于，包括旋转底座(1)、传动底座(2)、旋转框架(3)、固定部(4)、回转电机(5)、两组传送机构和一组导向机构，固定部(4)固定在相应腔室内，回转电机(5)安装在固定部(4)内，且回转电机(5)的电机轴连接旋转底座(1)的中心，旋转底座(1)安装在固定部(4)上，且旋转底座(1)和固定部(4)之间设有轴承，回转电机(5)连接并驱动旋转底座(1)旋转。2.根据权利要求1所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：传动底座(2)通过固定螺栓安装在旋转底座(1)上，传动底座(2)为中空的长筒状的柱体，传动底座(2)的长度方向和旋转底座(1)的平面平行。3.根据权利要求2所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：旋转框架(3)安装在传动底座(2)的上表面，旋转框架(3)包括两根支撑竖杆(31)和一根支撑横杆(32)，支撑竖杆(31)和支撑横杆(32)均为直杆状，两根支撑竖杆(31)平行间隔设置，支撑竖杆(31)垂直连接传动底座(2)，支撑横杆(32)的两端各连接在一根支撑竖杆(31)的中部。4.根据权利要求3所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：支撑竖杆(31)底部固定设有两个连接翼(12)，连接翼(12)凸出支撑竖杆(31)的表面，连接翼(12)垂直连接支撑竖杆(31)，两个连接翼(12)相对支撑竖杆(31)对称布置，两个连接翼(12)通过固定螺栓连接在传动底座(2)的上表面。5.根据权利要求3所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：两组传送机构位于旋转框架(3)的下端，每组传送机构沿着传动底座(2)的长度方向布置，两组传送机构分列于传动底座(2)的长度方向的两侧。6.根据权利要求5所述的AR...
【专利技术属性】
技术研发人员：祝海生，陈立，薛闯，金诚明，凌云，孙桂红，梁红，黄国兴，黄乐，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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