【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用的夹紧装置
[0001]本技术涉及真空镀膜
,尤其涉及一种真空镀膜用的夹紧装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺,简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。
[0003]经检索,中国专利申请号为201921607583.9,公开号为CN211079320U的专利,公开了一种真空镀膜用的夹紧装置,该装置通过拉伸弹簧拉动套块进行滑动,使套块将基板进行夹持,通过拉伸弹簧进行调节,方便进行夹持不同大小的基板,可以使基板表面均匀的镀膜,但是上述装置存在明显的固定不稳定问题,由于弹簧具有弹性,在张力作用下,使得在对基板进行夹持时无法保证基板不会晃动,导致基板表面镀膜不均匀,同时,上述装置无法适应不同规格的真空镀膜机内腔,导致装置适用范围较低。r/>
技术实现思路
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用的夹紧装置,包括底部四角均焊接有支撑座的“U”形结构的底座(1),其特征在于,所述底座(1)顶部内壁上焊接有“U”形结构的支撑架(2),且支撑架(2)顶部外壁上通过轴承连接有传动杆(3),所述传动杆(3)顶端外壁上套接有第一斜齿轮(6),所述底座(1)顶端外壁上焊接有顶板(7),所述顶板(7)两侧外壁上均开有滑槽,且滑槽内滑动安装有滑板(8),所述滑板(8)一侧外壁上焊接有第一连接板(9),所述滑槽的一端内壁上焊接有限位框(10),所述顶板(7)底部两端外壁上均焊接有固定块(11),两个所述固定块(11)相对一侧外壁上通过轴承连接有第一双向螺杆(12),且第一双向螺杆(12)两端分别延伸到两个固定块(11)相互远离的一侧外壁上,所述第一双向螺杆(12)中部外壁上套接有第二斜齿轮(13),且第一斜齿轮(6)与第二斜齿轮(13)相互啮合形成传动配合,所述第一双向螺杆(12)两端外壁上均螺接有安装板(15),且两个安装板(15)一侧外壁上焊接有“U”形结构的连接架(16),两个所述连接架(16)一侧外壁上均焊接有第二连接板(17),两个所述第二连接板(17)一侧外壁上均焊接有支撑板(18),且两个支撑板(18)分别焊接于两个第一连接板(9)底部外壁上,两个所述第一连接板(9)顶部一端外壁上均焊接有夹紧机构,所述夹紧机构包括侧板(19),所述侧板(19)一侧外壁上焊接有支撑块(20),且支撑块(20)一侧外壁上焊接有安装块(21),所述安装块(21)一侧外壁上开有T型槽,...
【专利技术属性】
技术研发人员:康宗海,
申请(专利权)人:深圳市荣凯光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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