一种真空镀膜用集成腔室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜用集成腔室，包括集成腔室本体，所述集成腔室本体的顶部内壁和底部内壁焊接有同一个隔板，且隔板的中部开设有传输口，所述隔板将集成腔室本体分隔为预热室和冷却室，所述集成腔室本体内设有传输机构，且传输机构包括通过螺栓安装在集成腔室本体一侧外壁的伺服电机、与伺服电机输出轴连接的丝杆。本实用新型专利技术第一水泵将水箱中的冷水泵入到U型冷凝槽内，对镀膜板上的工件进行冷却处理，并且第二水泵又将U型冷凝槽内冷却水泵回至水箱内，这样水冷的效果好，而且不会造成水资源的浪费，能够实现水资源的循环利用，由于设置了控制器和抽气泵，能够精准的保证真空环境，工人操作起来简单快捷，提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用集成腔室
本技术涉及真空镀膜设备
，尤其涉及一种真空镀膜用集成腔室。
技术介绍
经检索，中国专利公开号为CN207828407U的专利，公开了一种真空镀膜用集成腔室，包括由腔室顶板、四个腔室侧板和腔室底板组成的一体腔室，所述一体腔室内设有隔板，所述隔板将所述一体腔室分割成预热室和工艺室，所述隔板上设有供工件穿过的开口，所述预热室内设有用以封堵所述开口的密封门。通过将预热室和工艺室集成一体腔室，提高了制造工艺性，装配与维修便捷；密封门结构简单重量小，便于装卸与维护，降低采购成本；摆动隔热板结构简单，占用空间小，减小工艺室的尺寸空间，降低了工艺气体的用量，方便控制压力，两端通过旋转轴连接固定，装卸与维护方便，运行可靠。上述专利存在以下不足：一方面上述专利中，水冷的效果不佳，而且水资源浪费严重，无法实现水资源的循环利用；另一方面工件放置的不够稳定，导致在传输过程中易发生倾倒现象，而且无法精准的保证真空环境。因此，我们提出了一种真空镀膜用集成腔室。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜用集成腔室，包括集成腔室本体(1)，所述集成腔室本体(1)的顶部内壁和底部内壁焊接有同一个隔板(2)，且隔板(2)的中部开设有传输口(3)，所述隔板(2)将集成腔室本体(1)分隔为预热室和冷却室，其特征在于，所述集成腔室本体(1)内设有传输机构，且传输机构包括通过螺栓安装在集成腔室本体(1)一侧外壁的伺服电机(4)、与伺服电机(4)输出轴连接的丝杆(5)、套接在丝杆(5)上的密封螺纹轴承(6)和焊接在密封螺纹轴承(6)下部侧壁的镀膜板(7)，所述镀膜板(7)上设有两个电动夹持机构，且两个电动夹持机构均包括焊接在镀膜板(7)顶部外壁的安装块(8)和通过螺栓安装在安装块(8)侧壁的...

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用集成腔室，包括集成腔室本体(1)，所述集成腔室本体(1)的顶部内壁和底部内壁焊接有同一个隔板(2)，且隔板(2)的中部开设有传输口(3)，所述隔板(2)将集成腔室本体(1)分隔为预热室和冷却室，其特征在于，所述集成腔室本体(1)内设有传输机构，且传输机构包括通过螺栓安装在集成腔室本体(1)一侧外壁的伺服电机(4)、与伺服电机(4)输出轴连接的丝杆(5)、套接在丝杆(5)上的密封螺纹轴承(6)和焊接在密封螺纹轴承(6)下部侧壁的镀膜板(7)，所述镀膜板(7)上设有两个电动夹持机构，且两个电动夹持机构均包括焊接在镀膜板(7)顶部外壁的安装块(8)和通过螺栓安装在安装块(8)侧壁的微型气缸(9)，所述镀膜板(7)的顶部放置有工件(10)，所述镀膜板(7)的顶部留有空腔，且空腔内安装有等距离分布的电热丝(11)，所述集成腔室本体(1)的底部内壁开设有滑槽(13)，且镀膜板(7)的底部外壁焊接有与滑槽(13)相适配的限位滑杆(12)，所述集成腔室本体(1)的另一侧内壁依次通过螺栓安装有第一水泵(14)和第二水泵(15)，且集成腔室本体(1)的另一侧外壁焊接有水箱(16)，所述镀膜板(7)内开设有U型冷凝槽，第一水泵(14)的出水端通过第一螺纹软管与U型冷凝槽的一端连通，且第二水泵(15)的抽水端通过第二螺纹软管与U型冷凝槽的另一端连通，所述集成腔室本体(1)的顶部通过螺栓安装有抽气泵(18)，且集成腔室本体(1)的一侧外壁通过螺栓安装有控制器(17)。


2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用集成...

【专利技术属性】
技术研发人员：康宗海，
申请(专利权)人：深圳市荣凯光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44